CTI Cryo-Torr CT-100 크라이오펌프 15k 어레이 키트
유지보수 키트만 해당
이는 Edwards CTI Cryo-Torr CT-100 크라이오 펌프용 교체용 15k 어레이입니다. 여기에는 상단 플레이트 및 인듐 개스킷을 포함하여 CTI Cryo-Torr CT-100 Cryo 펌프의 목탄 어레이를 교체하는 데 필요한 모든 구성 요소가 포함되어 있습니다.
Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 펌프는 Cryo-Torr 펌핑 시스템을 구성하는 두 가지 주요 구성 요소 중 하나입니다. 두 번째 구성 요소는 Compressor입니다(이 웹 사이트에서도 판매됨). Cryo-Torr CT-100Cryopump는 10-3 ~ 10-9 Torr 범위의 모든 가스를 빠르고 깨끗하게 펌핑합니다. 표준 응용 분야에는 반도체, 항공우주 및 진공 코팅, R&D가 포함됩니다. 크라이오 펌프는 가스가 극도로 낮은 증기압에서 응축 및 유지되어 높은 속도와 처리량을 달성할 수 있다는 원리로 작동합니다. 이 펌프는 최소한의 서비스만 필요로 하는 신뢰성이 높고 견고한 장치입니다. 크라이오 펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 배압 펌프를 진공 상태에 노출시키지 않기 때문에 크라이오 펌프 자체로 인한 시스템 또는 프로세스 오염 가능성이 제거됩니다. 설명, 설치, 재생 및 유지 관리 절차는 아래에서 다운로드할 수 있는 Cryo Torr 펌프 설치, 작동 및 유지 관리 지침 .pdf에서 전체적으로 다루고 있습니다.