Ebara ESR20N 다단계 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45 ~ 70 CFM(1300 ~ 2000 l/m), 세척 ~ 중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200 ~ 220V, 60Hz. Ebara 부품 번호: 202093. Ebara ESR 시리즈(에너지 절약 루트)는 청정 공정에서 중간 작업 공정에 이르는 응용 분야에 맞게 설계된 다단계 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 1.5mTorr의 낮은 최종 압력으로 45~706CFM의 넓은 펌핑 속도를 처리합니다. 이 목록은 Ebara ESR20N 다단계 건식 진공 펌프, 120cfm 2000l/m, 세척에서 중간 부하 공정, 수냉식, 200-220V/3Ph, PN: 202093의 판매용입니다. 응용 분야 스퍼터링 PVD 로드 록 및 트랜스퍼 애싱 이온 주입기 에칭 청정 가스 및 공정 Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점 및 특징. 낮은 소유 비용 [전력, N2, 물, 발자국, 부피, 무게] 청정 응용 분야에서 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않음 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도 고성능 브러시리스 DC 모터 최첨단 제어 및 모니터링 장치 유휴 유틸리티 절감 증대를 위해 모드를 채택할 수 있음 SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득

Ebara ESR20N S2 다단계 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45 ~ 70 CFM(1300 ~ 2000 l/m), KF-40, 청정 ~ 중부하 공정, 수냉식, 3상, 200 ~ 220V, 60Hz. Ebara 부품 번호: 202093. Ebara ESR 시리즈(에너지 절약 루트)는 청정 공정에서 중간 작업 공정에 이르는 응용 분야에 맞게 설계된 다단계 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 1.5mTorr의 낮은 최종 압력으로 45~706CFM의 넓은 펌핑 속도 범위를 포괄합니다. 이 목록은 Ebara ESR20N S2 다단계 건식 진공 펌프, 세척에서 중간 부하 공정, 수냉식, 200-220V/3Ph, Ebara 부품 번호: 202093의 판매용입니다. 응용 분야 스퍼터링 PVD 로드 잠금 및 이송 애싱 이온 주입기 에칭 청정 가스 및 Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 공정 이점 및 특징. 낮은 소유 비용 [전력, S2, 물, 설치 공간, 부피, 무게] 청정 응용 분야에서 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않음 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도 고성능 브러시리스 DC 모터 최첨단 제어 및 모니터링 장치 유휴 유틸리티 절감 증대를 위해 모드를 채택할 수 있음 SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득

Ebara ESR20N-HT 다단계 건식 진공 펌프, 펌핑 속도 45 ~ 70 CFM(1300 ~ 2000 l/m), 가열 소음기 포함, 세척 ~ 중간 부하 공정, 수냉식, 3상, 200 ~ 220V, 60Hz. Ebara 부품 번호: 203537. Ebara ESR 시리즈(에너지 절약 루트)는 청정 프로세스에서 중간 작업 프로세스에 이르는 응용 분야에 맞게 설계된 다단계 건식 진공 펌프입니다. Ebara ESR 시리즈는 1mTorr만큼 낮은 최종 압력으로 35~1,625CFM의 넓은 펌핑 속도 범위를 포괄합니다. 이 목록은 Ebara ESR20N-HT 다단식 건식 진공 펌프, 120cfm 2000l/m, 가열 소음기 포함, 청정~중부하 공정, 수냉식, 200-220V / 3Ph, PN: 203537의 판매용입니다. 응용 분야 스퍼터링 PVD 로드 록 및 Transfer Ashing Ion Implanter Etch Clean Gas 및 공정 Ebara EV-A 시리즈 건식 로터리 로브 펌프의 장점 및 특징. 낮은 소유 비용 [전력, N2, 물, 발자국, 부피, 무게] 청정 응용 분야에서 ESR20N에 질소 퍼지가 필요하지 않음 응용 분야 요구 사항에 맞는 가변 펌핑 속도 고성능 브러시리스 DC 모터 최첨단 제어 및 모니터링 장치 유휴 유틸리티 절감 증대를 위해 모드를 채택할 수 있음 SEMI S2 평가, NRTL 등록, CE 마크 획득