Edwards SPI Micro TIM 모듈D37360310SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards MCM Micro TIM 모듈D37360320MCM MicroTIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards MCM 도구 인터페이스를 제공합니다. MCM Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 GXS 시리즈(MCM 버전만) CXS 시리즈(MCM 버전만) 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 GXS 및 CXS 시리즈 펌프와 AUC 호환됩니다. iH iTIM D37422000 - MCM과 동일합니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards TEL Micro TIM 모듈D37360330TEL Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards TEL 도구 인터페이스를 제공합니다. TEL Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Semi E73 Micro TIM 모듈D37360340Semi E73 Micro TIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Semi E73 호환 도구 인터페이스를 제공합니다. Semi E73 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Semi E73 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards LAM Alliance Micro TIM 모듈D37360350LAM Alliance MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 LAM Alliance 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. LAM Alliance Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. LAM Alliance Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Novellus C3 Micro TIM 모듈D37360360Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Novellus C3 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Hitachi Micro TIM 모듈D37360370Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

iH 펌프용 Edwards iTIM E73 & Al & T1 & 게이트 밸브 제어. PN: D37420000. iTIM은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 프로세스 도구로 IH 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. iTIM에는 다양한 고급 기능이 있습니다. • 각 iTIM에서 최대 3가지 다른 유형의 도구 인터페이스를 위한 디지털 연결.• 펌프 후면에 편리하게 장착, 신속한 2점 고정.• AUC 기능을 쉽게 사용자 정의할 수 있도록 구성 가능한 연결.• 게이트 밸브 제어가 포함됨 이 모듈은 표준입니다.• iTIM에는 특정 공정이나 레시피와 관련된 펌프 설정점을 저장할 수 있는 설정점 저장소가 있습니다. 이러한 설정값은 전원을 켤 때 펌프에 자동으로 로드되며, 펌프 교체 시 새 펌프도 포함됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. 그러나 iTIM은 iM 모듈에 비해 향상된 성능을 제공합니다. 예를 들어 전체 AUC 기능은 iTIM을 통해서만 사용할 수 있습니다. iTIM은 모든 신규 설치에 권장됩니다. 자세한 지침은 505-872-0037로 전화해 주세요.

iH 펌프 및 기타 시리즈 Edwards 펌프용 Edwards iTIM MCM 및 L1 게이트 밸브 제어. PN D37422000iTIM은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 iH 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. iTIM에는 다양한 고급 기능이 있습니다. • 각 iTIM에서 최대 3가지 다른 유형의 도구 인터페이스를 위한 디지털 연결.• 펌프 후면에 편리하게 장착, 신속한 2점 고정.• AUC 기능을 쉽게 사용자 정의할 수 있도록 구성 가능한 연결.• 게이트 밸브 제어가 포함됨 이 모듈은 표준입니다.• iTIM에는 특정 공정이나 레시피와 관련된 펌프 설정점을 저장할 수 있는 설정점 저장소가 있습니다. 이러한 설정값은 전원을 켤 때 펌프에 자동으로 로드되며, 펌프 교체 시 새 펌프도 포함됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. 그러나 iTIM은 iM 모듈에 비해 향상된 성능을 제공합니다. 예를 들어 전체 AUC 기능은 iTIM을 통해서만 사용할 수 있습니다. iTIM은 모든 신규 설치에 권장됩니다. 자세한 지침은 505-872-0037로 전화해 주세요.