설명
Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 가스 모듈 질량 유량계 3810 - 60L/MIN 교체.
Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 건식 반도체 진공 펌프에는 진공 펌프에 질소 유량을 제공하는 시리즈 II 가스 모듈이 있습니다. 이러한 질소 흐름은 펌프 섹션을 퍼지하고 건식 샤프트 씰을 냉각시키는 데 필요합니다. 이러한 펌프가 노후화됨에 따라 가스 모듈 내부의 질량 유량 컨트롤러에 결함이 생길 수 있습니다. 교체용 질량 유량 컨트롤러 3810은 새롭게 보정된 교체 부품을 드롭하도록 설계되었습니다. 이는 가스 모듈을 재생하여 진공 펌프에 올바른 흐름을 제공합니다.
이상적인 진공은 모든 송풍기 조합이 가능한 모든 Edwards iQDP-40 및 iQDP-80 건식 반도체 펌프에 대한 재구축 서비스를 제공합니다. iQDP 펌프 또는 iQDP 가스 모듈 재구축 서비스에 대해서는 505-872-0037로 문의해 주세요.