Edwards iXL120N 건식 진공 펌프, 200-460VAC, 질소 퍼지 연결, 맞춤형, 3/8 QC 신속 분리 워터 피팅 추가. Edwards 부품 번호: A54114010. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120N 특징 및 장점: 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소 단 0.55kW1의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 단일 변형으로 공급 전압 범위 200-460V, 50 /60Hz 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움

Edwards iXL120 E 200-460VAC 건식 진공 펌프, 3/8 QC 물 피팅. 컴팩트하고 작고 가볍습니다. Edwards 부품 번호 A54113010. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC 건식 1/4 QC 물 피팅. 컴팩트하고 작고 가볍습니다. Edwards 부품 번호 A54113020. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 물 피팅. 컴팩트하고 작고 가볍습니다. Edwards 부품 번호 A54113610. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 물 피팅. 컴팩트하고 작고 가볍습니다. Edwards 부품 번호 A54113710. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC 물 피팅(유량 제어 밸브 포함). Edwards 부품 번호 A54113011. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC 물 피팅(유량 제어 밸브 포함). Edwards 부품 번호 A54113221. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC 물 피팅(유량 제어 밸브 포함). Edwards 부품 번호 A54113611. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards 건식 진공 펌프 iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC 물 피팅(유량 제어 밸브 포함). Edwards 부품 번호 A54113711. XL120은 웨이퍼 처리 및 기타 청정 작업 응용 분야를 위한 소형 저에너지 110m3h-1 건식 펌프입니다. 이는 매우 낮은 에너지 소비로 로드록 챔버의 빠른 펌프다운을 제공합니다. iXL120은 로드 잠금 및 청정 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 가벼운 펌프 중 하나입니다. 진동이 적고 소음 수준이 낮아 도구에 장착하거나 공장의 와플 바닥에 장착하는 데 이상적이며 귀중한 공장 바닥 공간을 절약하는 데 도움이 됩니다. 그린 모드를 사용하면 유휴 기간 동안 유틸리티 사용량을 줄여 유틸리티 비용을 낮추고 환경을 보호하는 데 도움이 됩니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT) 감소 단 0.55kW의 전력 소비로 고객 소유 비용 최소화 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄입니다. 최대 35oC의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항을 줄이는 데 도움이 됩니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 공장 공간 절약에 도움 오일 윤활 정밀 베어링은 일상적인 유지 관리 없이 부드럽고 낮은 진동 작동을 보장합니다. 고유한 이중 입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 옵션이 가능합니다. 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치가 절약됩니다. Edwards iXL120 기능 및 이점: 제로 질소 퍼지 옵션으로 질소 공급이 필요 없어 설치 및 운영 비용이 절감됩니다. 오일 윤활 정밀 베어링으로 일상적인 유지 관리 없이 원활하고 진동이 적은 작동이 보장됩니다. 고유한 이중 흡입구 배열로 효율적인 포어라인 라우팅 및 위치 지정이 가능합니다. 옵션 그린 모드는 유휴 기간 동안 전력 소비를 최대 92%까지 줄일 수 있습니다. 동급 최고의 챔버 펌프 다운 시간으로 총 평균 주기 시간(TACT)이 단축됩니다. 최대 35°C의 물 공급으로 시설 냉각수 요구 사항 감소에 도움이 됩니다. 0.55kW1의 전력 소비만으로 고객 최소화에 도움이 됩니다. 소유 비용 단일 변형으로 200-460V, 50/60Hz의 공급 전압 범위를 포괄합니다. 매우 작고 가벼워 귀중한 제조 공간 절약에 도움이 됩니다.

Edwards iXL600N 건식 진공 펌프. 200-460V 50/60Hz 3상 공급. 600m3h-1 최고 펌핑 속도. 포함 사항: 3/8 Quick Connect 물 피팅.Edwards PN: A54134010 iXL600N은 건식 펌프와 부스터 시스템이 결합된 시스템입니다. 이 시스템은 경량 응용 분야에 사용되며 N 변형에는 펌프 메커니즘 영역에 질소 퍼지 가스를 공급하는 가스 모듈이 장착되어 있습니다. 고정자, 모터 및 인버터 드라이브는 수냉식입니다. 펌핑 시스템은 전면 패널, PDT 액세서리 또는 MicroTIM을 통한 도구로 제어할 수 있습니다. 건식 펌프 시스템은 로드록 및 경량 용도에 사용하도록 고안되었습니다. 일반적인 응용 분야에는 로드 잠금, 전송, 계측, 리소그래피, PVD 공정 및 PVD 사전 세척이 포함됩니다.

Edwards GX, iGX, iXH, iXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널, 5Way, XLR 플러그, 휴대용 키패드 디스플레이 모듈. Edwards 부품 번호: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM 및 iXL 펌프 디스플레이 터미널 5방향 XLR 플러그. 5방향 XLR 연결이 가능한 Edwards GX, iGX 및 iXL120 시리즈 건식 펌프 시스템용 휴대용 디스플레이. Edwards 진공 부품 번호 D37280700.

Edwards SPI Micro TIM 모듈D37360310SPI Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards SPI 도구 인터페이스를 제공합니다. SPI Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. SPI Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards MCM Micro TIM 모듈D37360320MCM MicroTIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards MCM 도구 인터페이스를 제공합니다. MCM Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 GXS 시리즈(MCM 버전만) CXS 시리즈(MCM 버전만) 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. MCM Micro TIM은 GXS 및 CXS 시리즈 펌프와 AUC 호환됩니다. iH iTIM D37422000 - MCM과 동일합니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards TEL Micro TIM 모듈D37360330TEL Micro TIM 모듈은 Micro TIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Edwards TEL 도구 인터페이스를 제공합니다. TEL Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. TEL Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Semi E73 Micro TIM 모듈D37360340Semi E73 Micro TIM 모듈은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Semi E73 호환 도구 인터페이스를 제공합니다. Semi E73 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Semi E73 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards LAM Alliance Micro TIM 모듈D37360350LAM Alliance MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 LAM Alliance 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. LAM Alliance Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. LAM Alliance Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Novellus C3 Micro TIM 모듈D37360360Novellus C3 Micro TIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Novellus C3 플랫폼에 도구 인터페이스를 제공합니다. Novellus C3 Micro TIM 모듈은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. Novellus C3 Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

Edwards Hitachi Micro TIM 모듈D37360370Hitachi MicroTIM은 MicroTIM 슬롯이 있는 건식 펌프용 Hitachi 도구 인터페이스를 제공합니다. Hitachi Micro TIM 모듈을 사용하면 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 다양한 Edwards 펌프를 제어하고 모니터링할 수 있습니다. Hitachi Micro TIM은 다음 Edwards 펌프와 호환됩니다. EPX 시리즈 iGX 시리즈 GX 시리즈 iXH 시리즈 iXL 시리즈 시스템 컨트롤러가 있는 다중 펌프 시스템에도 사용됩니다. 이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 병렬 연결 입력 및 호환성 정보는 왼쪽 다운로드 섹션에서 Micro TIM 또는 iTIM manuals.pdf를 확인하세요.

iXL 시리즈 진공 펌프용 전원 케이블을 만드는 데 사용되는 Edwards iXL 건식 반도체 펌프 플러그. 이는 Edwards iXL 시리즈 반도체 진공 펌프용 입력 주 전원 케이블을 만드는 Edwards iXL 건식 반도체 펌프 플러그 키트입니다. iXL120 및 기타 모델에서 작동합니다.

기존의 구식 iH 시리즈 펌프가 있는 도구에 새로운 스타일의 iXL 또는 iXH 시리즈 건식 반도체 펌프를 설치하기 위한 Edwards EMO 케이블. Ideal Vacuum은 기존 스타일의 iH 시리즈 펌프를 IXL120N, iXH100 또는 iXH610 스타일로 교체할 수 있는 자체 인터페이스 케이블을 제공합니다. 이 EMO 케이블링은 반도체 도구의 하위 팹에 여러 개의 기존 스타일 iH 펌프가 부착되어 있는 응용 분야에 유용합니다. 이 인터페이스 모듈 케이블은 기존 스타일의 나머지 iH 펌프와 새로운 스타일의 iXL120N 교체 펌프를 통해 EMO 회로를 계속합니다. 연결 및 다양한 인터페이스 모듈은 아래에 자세히 설명되어 있습니다. 이 케이블은 일반적으로 왼쪽 iH에 있는 iTIM의 P2(출력)에서 iXL120N의 비상 정지(EMS) 커넥터, 오른쪽 iH 펌프에 있는 iTIM의 J1(입력)에 연결됩니다(자세한 내용은 PDF 형식의 애플리케이션 노트 참조). . 문제는 Edwards iH 시리즈 펌프가 이제 단종되어 더 이상 사용할 수 없다는 것입니다. Ideal Vacuum은 교체용 펌프, 로드록용 iXL120N, iXH100(iH80 대체), iXH610(iH600 대체) 등을 보유하고 있습니다. 새로운 iXL120N 펌프에는 기존 IH 펌프처럼 전면에 EMO 버튼이 없습니다(자세한 내용은 애플리케이션 노트 참조). Edwards iTIM은 하위 공장의 단일 반도체 도구에 여러 펌프가 연결된 구형 Edwards iH 시리즈 건식 반도체 진공 펌프로 구성되는 경우가 많습니다. EMO 케이블링은 iH 시리즈 펌프 중 하나에서 EMO를 누르면 도구를 종료하도록 설정되어 있으며 일반적으로 데이지 체인 구성으로 직렬로 케이블링되어 있습니다.