APG100-XM 활성 피라니 진공 게이지 DN16CF용 Edwards 교체 센서, Conflat CF 1.33인치, 플랜지 10-3 토르. Edwards 부품 번호 NRD711000
Edwards APG100-XM 교체 게이지 튜브 센서(표준 텅스텐/레늄 필라멘트)에는 DN16CF(ConFlat CF 1.33인치) 진공 플랜지가 있으며 APG100-XLC Active Pirani Electronics 하우징에 맞도록 설계되었습니다. 비용 효과적인 수리 솔루션입니다. 새로운 Edwards 게이지는 모든 Edwards TIC, ADC, TAG 기기 컨트롤러 및 기타 활성 게이지 컨트롤러 및 디스플레이와 호환됩니다. APG100은 두 가지 버전으로 제공됩니다. 'M' 버전(표준 텅스텐/레늄 필라멘트 포함)은 10-3 Tor까지 압력을 측정할 수 있으며 일반 응용 분야에 적합합니다. 'LC' 버전(부식성 백금/이리듐 필라멘트 포함)은 10-4 Torr까지 압력을 측정할 수 있으며 부식성 응용 분야에도 사용하기에 적합합니다.
APG100은 어떤 방향으로도 장착할 수 있지만 게이지 튜브는 수직 상태에서 질소로 공장에서 개별적으로 보정됩니다. 선택한 게이지 방향에서 정확한 압력 표시를 위해 게이지를 대기압에서 재보정해야 합니다. Edwards는 게이지 내 공정 미립자 및 응축성 증기의 축적을 최소화하기 위해 게이지 튜브를 수직으로 장착할 것을 권장합니다. APG100은 질소에 사용하도록 보정되었으며 건조한 공기, 산소 및 일산화탄소에서도 올바르게 판독됩니다. 다른 가스 유형의 경우 올바른 압력 판독값, 일반 가스(질소, 아르곤, 이산화탄소, 헬륨, 크립톤 및 네온)를 얻으려면 변환이 필요합니다.
또한 CSA, C/US 승인을 받았으며 무연 구조로 인해 RoHS를 완벽하게 준수합니다. 압력 범위는 10
-3 Torr까지입니다. 신호 케이블과 진공 게이지 컨트롤러는 별도로 판매됩니다. Edwards APG100 시리즈 게이지의 사용 설명서는 아래 PDF 형식으로 제공됩니다. 이러한 Edwards APG100-XM Active Pirani 진공 게이지 교체 센서에는 DN16CF(ConFlat CF 1.33인치) 진공 플랜지와 Edwards 부품 번호 NRD711000이 있습니다.
기능은 다음과 같습니다:- 소형 인클로저로 신호 케이블에 쉽게 접근 가능
- 센서는 150°C(300°F)까지 구울 수 있으며 센서는 사용자가 교체할 수 있습니다.
- 간단한 프로세스 제어 및 연동을 위한 조정 가능한 설정값
- 원격 교정 가능
- 압력 범위 10 -3 Torr
피라니 및 대류 강화 피라니 게이지에 대한 배경 피라니 진공 게이지는 가열된 와이어의 저항을 측정하여 진공 압력을 결정하는 열전대 게이지와 매우 유사한 열전도율 게이지로 분류될 수 있습니다. 피라니 게이지는 가열된 필라멘트가 휘트스톤 브리지 회로의 암 중 하나를 형성하는 저항 불균형을 측정하도록 설계되었습니다. 진공 압력이 증가함에 따라 가스 분자는 필라멘트에서 열을 멀리 운반하고 압력 센서의 저항은 회로의 불균형을 초래하는 더 낮은 값으로 이동합니다. 따라서 진공 압력은 휘트스톤 브리지 회로의 압력 유발 불균형으로부터 계산됩니다. 열전대 게이지와 마찬가지로 분자 충돌에 의한 열전도도는 0.001~1 Torr 압력 범위 이상의 압력에 따라 선형적으로 증가합니다. 그러나 가스-가스 충돌이 가열된 와이어를 향해 분자의 방향을 다시 바꿀 수 있는 점성 흐름 영역으로 압력이 더욱 증가함에 따라 열 제거는 비선형이 됩니다. 분자는 센서 외부 본체(열 싱크)에 도달하기 전에 여러 번 충돌해야 합니다. 대류 강화 피라니 게이지는 센서 내부의 일반 전류를 활용하여 압력 측정 범위를 대기압까지 확장합니다.
Pirani 게이지는 측정된 판독값이 가스 유형에 따라 달라지는 간접 압력 측정 센서입니다. 무거운 가스는 열 전달 속도가 낮고 표준 관례에 따라 강화된 피라니 게이지는 N2에 대해 보정되어 있다는 사실(기본적으로 공기와 동일한 보정)에 주의해야 합니다. 이는 아르곤과 같은 더 무거운 가스로 진공 시스템을 다시 채울 때 위험한 과압 상태로 이어질 수 있습니다. 진공 시스템 작업자가 올바른 가스 유형에 대한 게이지 표시 판독값을 수정하지 않으면 위험이 발생합니다. 예를 들어 N2에 대해 보정된 표준 게이지는 챔버가 760Torr의 아르곤에 있을 때 24Torr를 표시합니다. 작업자는 챔버가 여전히 진공 상태에 있다고 생각하여 시스템을 심각한 과압 상태로 계속 증가시킬 수 있습니다. 대류 강화 피라니 게이지가 올바르게 장착되지 않으면 또 다른 오류 원인이 발생할 수 있습니다. 대부분의 상업용 센서는 지면과 평행하게 장착되어야 합니다. 이를 통해 센서 내부의 전류가 설계된 방향으로 흐르도록 합니다. (기존의 피라니 센서를 수평으로 장착하지 않을 경우 20% 이상의 오차가 발생하기 쉽습니다.)
이러한 대류 강화 Pirani 센서를 신속하게 대피시키면 몇 초의 짧은 기간 동안 심각한 측정 오류가 발생합니다. 빠르게 펌핑된 가스가 팽창함에 따라 압력 센서 필라멘트에서 열을 제거하는 것은 일반적인 대류가 아니라 강제 대류에 의해 이루어집니다. 진공 압력이 급격히 떨어지는 동안 가스는 팽창하고 냉각되며 이는 뜨거운 센서 와이어에서 열을 제거하기 위한 2차 경로를 제공합니다. 대류 강화 피라니 게이지는 시스템 대피 중에 최대 1000Torr의 높은 압력을 잘못 표시할 수 있습니다. 가스 흐름이 중단되면 압력 판독값이 다시 실제 측정값으로 안정화됩니다. 이러한 이유로 대류 강화 피라니 게이지는 동적 펌핑 조건에서 압력 변화를 측정하는 데 적합하지 않습니다. 전반적으로 대류 강화 Pirani는 대기에서 1x10-4 Torr까지 측정할 수 있으며 1 Torr 미만의 측정이 가장 정확한 인기 있는 비용 효과적인 저진공 압력 게이지입니다.
