Edwards 모델 250 수냉식 배기 트랩. Edwards 부품 번호: A53114000. Edwards 모델 250 수냉식 배기 트랩은 펌프에서 나오는 배기 가스를 냉각시켜 미립자가 트랩에 모이게 합니다. 이는 배기 시스템에 미립자가 쌓이는 것을 방지합니다. 배기 트랩은 디클로로실란 또는 헥사클로로디실란과 암모니아를 사용하는 LPCVD 질화물 공정에 사용되는 펌프에 연결되도록 설계되었습니다. 배기 트랩은 다른 공정에 사용되는 펌프에 연결하는 데 적합하지 않습니다. Edwards 모델 250 트랩은 BOC Edwards CDP 및 QDP 건식 펌프와 Drystar MKI, MKII 및 QMKII 건식 펌핑 시스템에 적합하도록 설계되었습니다. 시스템에는 배기 시스템이 막힐 경우 펌프를 차단하기 위한 압력 스위치가 통합되어 있어야 합니다. 배기 트랩에는 베이스 프레임에 장착된 주요 외부 몸체가 있습니다. 트랩 본체 높이는 트랩을 다른 펌프에 맞게 기본 프레임에서 조정할 수 있습니다. 베이스프레임에는 쉽게 이동할 수 있도록 바퀴가 있고, 작동 위치에 안전하게 고정될 수 있도록 수평 조절 다리가 있습니다. 모델 250 수냉식 배기 트랩에는 Edwards 부품 번호 A53114000이 있습니다. Edwards 모델 250 수냉식 배기 트랩 사양: Edwards 건식 펌프에 적합: CDP 및 QDP 건식 펌프와 Drystar MKI, MKII 및 QMKII 건식 펌핑 시스템 재질: 트랩 본체는 AIS 304L 스테인리스 스틸이고 수냉식 코일은 구리입니다. 라이너 교체 부품 번호 A53115020입니다. 전체 사양을 보려면 사용 설명서를 다운로드하세요.

모델 250 수냉식 배기 트랩용 새 Edwards 일회용 라이너(Edwards PN A53115020) 이 일회용 라이너는 모델 250 수냉식 배기 트랩에 맞도록 설계되었습니다. 배기 트랩은 펌프의 배기 가스를 냉각시켜 미립자가 트랩의 라이너에 모이게 합니다. 이는 배기 시스템의 미립자 수집을 최소화합니다. 미립자는 막힘을 유발하여 펌핑 시스템의 가동 중지 시간을 초래할 수 있습니다. 완전히 코팅되면 라이너를 트랩에서 쉽게 제거하고 새 라이너로 교체할 수 있습니다. 수냉식 배기 트랩과 일회용 라이너는 Edwards QDP 건식 펌프와 같이 LPCVD 질화물 공정에 사용되는 펌프와 함께 사용하기에 특히 적합합니다. 전체 사양을 보려면 사용 설명서를 다운로드하세요(아래 다운로드 가능 항목 참조). Edwards 모델 250 일회용 트랩 라이너 사양: Edwards 수냉식 배기 트랩 모델에 적합: 250 재질: 아연 코팅 연강