Ideal Vacuum 3위치 UHV 공압 작동 게이트 밸브, 조절식 3위치, 솔레노이드 및 리드 센서 포함, 24VDC, CF 10.0인치(DN CF200) 플랜지, 비톤 O-링 표준 씰, SUS304 본체

이 Ideal Vacuum 3-Position Throttle Gate Valve는 Conflat CF 10.0인치(DN CF200) 플랜지로 공압으로 작동됩니다. 부분적으로 열리도록 설정할 수 있는 3번째 위치가 있습니다. 초고진공(UHV)에 적합하며 게이트용 표준 Viton O-링 씰과 공압 제어 솔레노이드 밸브가 있는 보닛용 Viton O-링 또는 OFHC 구리 개스킷이 함께 제공됩니다. 밸브는 서비스가 필요하기 전에 일반적으로 50,000사이클의 수명을 가지고 있습니다. 내식성 304 스테인리스 스틸 게이트와 밸브 바디로 제작되었습니다. 이 3-위치 제어는 다양한 진공 증착 공정, 특히 박막 증착 공정 챔버 시스템에 최적의 조건을 유지하는 데 있어 유연성과 정밀성을 제공합니다.

물리 기상 증착 코팅 챔버에서의 응용
이 3위치 게이트 밸브는 신뢰할 수 있는 고진공 및 초고진공(UHV) 응용 분야를 위해 설계되었으며, 종종 크라이오, 터보 및 이온 고진공 펌프와 함께 사용됩니다. PVD 마그네트론 스퍼터링 증착과 같은 조절식 진공 공정에서 사용이 증가했습니다. 스퍼터링 시스템과 같은 PVD 코팅 챔버에서 3위치 게이트 밸브는 종종 터보 분자 펌프와 주 공정 챔버 간의 연결을 제어하는 데 사용됩니다. 이러한 게이트 밸브는 진공 시스템을 정밀하게 제어하고 펌프를 분리하고 챔버를 보호하며 펌핑 속도를 조정할 수 있습니다. 일반적인 3위치 게이트 밸브의 세 가지 위치는 다음과 같습니다.

1. 완전히 열린 위치:
최대 전도도, 전체 터보 펌핑 속도, 초기 배기 또는 증착 중 고진공을 유지할 때 사용됩니다.

2. 부분적으로 열림(스로틀 위치):
목적: 부분적으로 열린 위치에서 게이트 밸브는 부분적으로만 열려 챔버와 터보 펌프 사이의 전도도를 조절합니다. 반응성 가스(예: 반응성 스퍼터링의 산소나 질소)로 작업하거나 최적의 필름 성장을 위해 압력을 미세 조정해야 할 때 조절이 중요합니다.

이 부분적으로 열린 위치는 설치 중 한 번 수동으로 설정하고 조정할 수 있으며, 다른 프로세스 조건을 실행하기 위해 언제든지 변경할 수 있습니다.

3. 완전히 닫힌 위치:
목적: 완전히 닫힌 위치에서 게이트 밸브는 터보 펌프를 메인 챔버에서 완전히 분리합니다. 사용 사례: 이 위치는 챔버 환기, 로드-락 챔버 샘플 로딩 또는 챔버가 대기압에 노출될 때와 같은 프로세스 중에 터보 펌프를 보호하는 데 사용됩니다. 오염 물질이나 대기 공기가 터보 펌프에 유입되어 펌프가 손상되는 것을 방지합니다.

명세서:
사양 및 기능:

• 재료
• 몸
• SUS304
• 마차
• 연결형식 - SUS304
• 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304
• 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - SUS304, A6061-T6
• 문
• 연결형식 - SUS304
• 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304
• 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - A6061-T6
• 풀무
• AM350
• 라이프 사이클
• HV :DN200 - 300,000 사이클
• UHV :DN200 - 50,000 사이클
• 1atm 차이에서의 헬륨 누출율
• <2× ^10-9 mbar·l /초(O-링의 경우)
• 가스킷 씰의 경우 <5× ^10-10 mbar·l /sec
• 굽기 온도
• 개방형 - 200°C Viton 보닛 씰
• 닫힘 - 150 °C 비톤 보닛 씰
• 압력 범위(mbar)
• 고전압 : ^1x10-8 ~ 1000
• 초고진공: ^1x10-10 ~1000
• 최대 델타 P(mbar)
• < 30일 전 개봉
• 표준 씰
• 게이트 - 비톤 오링
• 보닛 - 비톤 오링 또는 OFHC 구리 개스킷
• 액추에이터 - 공압
• 압축 공기 공급
• 튜브 연결 - 6mm
• 압력 범위 - 4-6 Kg/cm2(과압)
• 표면 처리 - 스카치 광택
• 옵션
• 위치 표시기
• 공압 제어 솔레노이드 밸브
• 러핑 포트
• 기타 소재 게이트 오링 씰

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