이 목록은 다음 구성 요소가 포함된 Ideal Vacuum AnalyzaVAC 잔류 가스 분석기를 판매하기 위한 것입니다.

• Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA
• 1-300 AMU 스캔 범위.
• 패러데이 컵 검출기.
• 대략적인 진공 측정을 위한 피라니 게이지가 내장되어 있습니다.
• 고진공 측정을 위한 열음극 이온 게이지가 내장되어 있습니다.
• Conflat (CF) 2.75” 장착 플랜지.

다음도 포함됩니다:
• 24 VDC 범용 전원 공급 장치(120/240 VAC 입력) 및 6' 케이블.
• USB - DB-9 수 RS-232 직렬 통신 케이블, 길이 1'.
• DB-9 수-암 RS-232 직렬 확장 케이블, 길이 25'.
• CF 2.75” 구리 개스킷 및 볼트 키트.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ 기본 버전 소프트웨어.

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA는 진공 챔버 내부의 잔류 가스의 정체성과 농도를 결정하는 데 도움이 되는 소형 질량 분석기입니다. 누출 감지, 가스 방출 분석, 코팅 및 에칭 응용 분야의 공급 가스 품질 관리, 프로세스 문제 해결 등에 사용할 수 있습니다. AnalyzaVAC RGA 프로브에는 내장된 Pirani 게이지와 Bayard Alpert 핫 캐소드 게이지가 있어 부적절하게 높은 압력에서 작동하지 않도록 보호하여 시스템 복잡성을 줄이고 비용이 많이 드는 유지 관리를 방지합니다. 각 시스템에는 사중극 프로브, 제어 및 통신 장치(CCU), Microsoft Windows® 10용 AutoZ ⁺ Basic 소프트웨어, 전원 및 통신에 필요한 모든 케이블이 함께 제공됩니다.

AnalyzaVAC는 이중 필드 교체형 토륨 이리듐 필라멘트에서 열이온으로 방출된 전자를 사용하여 프로브 팁에 있는 가스를 이온화하여 작동합니다. 생성된 양이온은 다양한 무선 주파수와 사중극자 필터에 적용된 DC 전압의 조합을 사용하여 질량 대 전하 비율로 분리됩니다. 양전하 이온은 사중극자 중앙을 따라 이동하며 전자 증배기로 증폭되거나 프로브 끝에 있는 패러데이 컵 검출기로 직접 감지됩니다. 각 가스는 원소의 자연적 동위 원소 풍부도와 RGA의 고에너지 전자 이온화로 인한 분자 파편화가 결합된 고유한 스펙트럼 지문을 생성합니다.

RGA는 1× ^10-6 Torr 이하의 총 압력에서 연속 작동하도록 설계되었으며, 최적은 2× ^10-7 Torr입니다. RGA를 더 높은 압력에서 작동시키면 이온화기, 필라멘트 및 사중극자 수명이 크게 줄어듭니다. 내장된 압력 게이지는 내부적으로 그리고 AutoZ ⁺ 소프트웨어에서 모두 사용되어 RGA(대부분의 경우)에 치명적인 손상을 방지합니다.

RGA 프로브를 고진공 챔버에 직접 장착할 수 있지만, 튜브 길이와 격리 밸브를 사용하여 RGA를 챔버에서 분리하는 것이 가장 좋습니다. 이렇게 하면 챔버가 환기되거나 새로운 샘플이나 장비가 도입될 때 오염이나 우발적 손상을 방지할 수 있습니다. RGA를 사용하여 거친 진공 챔버에서 가스를 측정하는 경우 RGA는 누출 밸브를 통해 주 챔버에 연결된 자체 고진공 펌핑 시스템이 있는 작은 별도 챔버에 보관해야 합니다. Ideal Vacuum은 최대 1000토르의 압력에서 가스를 안전하게 측정하는 데 필요한 모든 장비가 포함된 RGA 키트를 제공합니다.

모든 AnalyzaVAC 프로브에는 반복 가능하고 정량적이며 고도로 선형적인 검출을 제공하는 패러데이 컵 검출기가 함께 제공되며, 1.5× ^10-12 Torr ^* 까지 가능합니다. 옵션 전자 증배기는 정성적 측정을 위해 감도를 무려 6× ^10-15 Torr ^* 까지 높입니다. 표준 및 전자 증배기 장착 검출기는 모두 적절하게 보정된 경우 10% 피크 높이(또는 그 이상)에서 0.5 AMU 분해능을 제공합니다.

Ideal Vacuum의 만료되지 않는 기본 AutoZ ⁺ 소프트웨어는 Windows 10 애플리케이션으로, 데스크톱이나 랩톱 컴퓨터에서 모든 AnalyzaVAC RGA 시스템을 제어할 수 있습니다. AutoZ ⁺ 는 운영자에게 모든 수집 매개변수를 제어할 수 있는 권한을 제공합니다. AutoZ ^+는 실시간 데이터 스트리밍을 제공하고 사용자가 수집된 데이터를 아날로그 스펙트럼, 질량 히스토그램 및 시간 경과에 따른 추세로 볼 수 있도록 합니다. 원치 않는 피크와 스펙트럼 기여를 제거하기 위해 사용자는 이전에 수집된 스펙트럼을 사용하여 데이터를 기준으로 삼을 수 있습니다.

Ideal Vacuum의 옵션 프리미엄 AutoZ ⁺ 소프트웨어 업그레이드에는 기본 소프트웨어의 모든 기능이 포함되어 있으며 고급 데이터 로깅, 평균화, Ideal Vacuum의 물질 라이브러리에 대한 액세스가 가능한 스펙트럼 피팅, 라이브러리에 추가 화합물을 추가하는 기능이 추가되었습니다. 프리미엄 AutoZ ^+는 강력한 최소 제곱 알고리즘을 사용하여 일반적인 잔류 가스의 분압을 계산하고 현재 표시된 스펙트럼에 대한 기여도를 식별하며 알려지지 않은 피크를 분리합니다. 프리미엄 소프트웨어는 매년 갱신해야 하며 그렇지 않으면 기본 버전으로 돌아갑니다.

일부 RGA 응용 프로그램:
• 누출 테스트
• 프로세스 모니터링
• 펌프다운 및 베이크아웃 모니터링
• 진공 진단
• 공급 가스 품질 관리
• 가스 및 오염 물질 식별

AnalyzaVAC 프로브는 섬세한 장비이므로 원래 포장에서 꺼낸 후에는 보증이 제공되지 않습니다.

* 질소 가스로 측정, 5초 체류 시간, 1 amu 전체 피크 폭, 10% 높이, 70 eV 전자 에너지, 6 eV 이온 에너지, 2 mA 전자 방출, 기준선 노이즈로부터 3표준편차 계산.