설명

이것은 우리의 기본 수준 ExploraVAC 표준 TVAC 열 진공 테스트 챔버 시스템으로, 엔트리 레벨 진공 공정에 적합하며 저비용과 사용 편의성에 최적화되어 있습니다. 이것은 20인치 큐브 용접 스테인리스 스틸 진공 챔버, 뷰포트가 있는 힌지 스테인리스 스틸 도어, 4.6입방 피트의 용량을 갖춘 완전 통합 턴키 방식의 거친 진공 시스템입니다. 이 시스템에는 Edwards nXDS20i 건식 스크롤 거친 진공 펌프와 챔버 진공 압력 측정을 제공하는 통합 Convectron 게이지 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 이 기본 ExploraVAC 시스템은 최대 20mTorr의 최대 압력에 도달할 수 있으며, 무게는 824파운드이고 단상, 208-240VAC, 50/60Hz, 17암페어가 필요합니다.

거친 진공 챔버는 많은 과학 및 산업 공정에 사용됩니다. 많은 민감한 샘플이나 제품은 열화를 방지하기 위해 진공 상태에서 보관해야 합니다. 많은 과학 계측은 공기나 다른 가스 입자의 간섭과 흡수를 피하기 위해 진공 상태에서 수행됩니다. 진공 스퍼터링, 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD)과 같은 진공 코팅 공정은 부품이나 기판에 매우 얇은 기능적, 보호적 또는 장식적 코팅을 적용하는 데 사용됩니다. 거친 진공은 동결 건조 및 플라스틱 또는 에폭시 경화와 같이 샘플, 전구체 또는 고순도 부품에서 물이나 기타 잔류 증기를 제거하는 데에도 사용할 수 있습니다. 거친 진공은 열처리 공정 중에 불순물 제거를 강화하고 고온에서 산소로 인한 기판 손상을 방지하기 위해 사용됩니다.

ExploraVAC 기본 레벨 시스템 구성:

20인치 큐브 용접 스테인리스 스틸 챔버
뷰포트가 있는 스테인리스 스틸 전면 챔버 도어
Edwards nXDS20i 건식 스크롤 진공 펌프
QTY2 LF-200 측면 포트(챔버 양쪽에서 다양한 피드스루 추가 가능)

TVAC 열 진공 챔버 공정 및 테스트 장비의 ExploraVAC 시리즈는 작업자가 내부 챔버 압력과 온도를 완벽하게 제어할 수 있는 정밀한 환경을 조성합니다. 이 장비는 혁신을 염두에 두고 제작되었습니다. 이 장비는 제품 연구 및 개발 단계에서 진공 상태에서 프로토타입 장치를 탐색하고 소규모 배치 처리에서 정밀한 공정 제어를 가능하게 합니다. 이 열 진공 테스트 챔버 장비는 제품이 진공 및 온도의 극한 스트레스 요인에 노출됨에 따라 사용자가 실험을 신속하게 조정하여 제품 분석 및 진단 데이터를 수집할 수 있도록 설계되었습니다.

ExploraVAC TVAC 열 진공 테스트 챔버는 다양한 시스템 옵션으로 완벽하게 구성 가능합니다(위의 제품 구성기 참조).

ExploraVAC 시스템 구성 옵션:

러핑 펌프(건식 스크롤 또는 건식 다단계 루트, 다양한 속도)
고진공(다양한 속도)
완전 진공 압력 제어
가열 및 냉각 플래튼
챔버 벽난방
통합 챔버 조명
폐쇄 루프 냉장 또는 LN ₂ 극저온 냉각 시스템
자동화된 소프트웨어 제어
원격 제어 작동
퍼지 포트, 챔버 셸빙 및 기타 여러 기능

ExploraVAC 에는 다양한 진공 챔버가 제공됩니다. 여기에는 (내부) 입방 크기(12, 16, 20 또는 24인치)의 용접 스테인리스 스틸 챔버 또는 (내부) 입방 크기(9, 12 또는 24인치)의 Ideal Vacuum Cube™ 모듈식 챔버가 포함됩니다. 챔버는 뷰포트가 있거나 없는 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 도어로 구성할 수 있습니다.

ExploraVAC Standard TVAC 시스템 캐비닛에는 모든 챔버 기능을 제어하는 컬러 LED 푸시버튼 인터페이스가 있는 편리한 각도의 전면 패널 제어 표면이 있습니다. PID 컨트롤러와 게이지는 사용자가 선택한 옵션에 따라 필요에 따라 설치됩니다. PLC는 효율적인 펌프 다운 사이클을 위한 펌프 및 밸브 시퀀싱과 장비 손상을 방지하기 위한 안전 인터록을 포함한 시스템 기능을 관리합니다. 전면에 접근 가능한 내장형 NEMA 스타일 인클로저에는 시스템 작동에 필요한 전자 장치가 들어 있습니다.

사용자가 선택하거나 설계한 액세서리(예: 장치 모니터링 또는 충격 테스트를 위한 전자 피드스루, 복사열 또는 온도 차이 테스트를 위한 적외선 램프 어레이, 이온화 방사선 테스트를 위한 자외선 램프 어레이)에 사용할 수 있는 넓은 LF-200 측면 포트가 있습니다. 이 시스템은 캐비닛 외부에 장착된 추가 진공 펌프를 추가하여 원하는 상승 속도를 얻도록 사용자 정의할 수 있습니다.

캐비닛 뒷면에는 챔버 환기, 펌프 배출 및 퍼지 가스 옵션을 위한 벌크헤드 피드스루 패널이 있습니다. 디지털 피드스루 후면 패널에는 Microsoft Windows10 또는 11을 실행하는 워크스테이션이나 노트북에서 Auto Explor ™ 소프트웨어로 시스템을 원격으로 실행하기 위한 DB9 커넥터를 포함한 여러 포트가 있습니다.

(만료되지 않는) AutoExplor 기본 버전(P1012102)을 사용하면 사용자가 시스템을 보호하면서 장치를 수동으로 제어할 수 있습니다. AutoExplor는 펌프를 적절하게 시퀀싱하고 주어진 요청에 대해 올바른 밸브를 자동으로 작동합니다. 사용자는 압력 및 온도 설정점, 램프 속도, 침지 시간 및 환기(시스템에 해당 하드웨어 옵션이 장착된 경우)를 프로그래밍할 수 있습니다. 소프트웨어는 실시간 그래픽 데이터 스트리밍을 제공하므로 사용자는 시스템 동작을 시각화할 수 있습니다. AutoExplor는 내부 예방 유지 관리 일정을 유지하고 시스템 서비스가 필요할 때 사용자에게 알립니다. 예를 들어, 스크롤 펌프 팁 씰 교체가 필요할 때와 센서 교정이 필요할 때 알립니다. 이를 통해 시스템을 최상의 작동 성능으로 유지하는 데 도움이 됩니다. 또한 장치 장애가 발생할 경우 특정 문제 해결 정보와 함께 오류 및 오류 메시지를 제공하므로 가능한 한 빨리 문제를 해결할 수 있습니다.

AutoExplor 의 프리미엄 버전(P1012100)에는 기본 소프트웨어 패키지(위)의 모든 기능이 포함되어 있으며 자동화된 레시피 제어, 데이터 로깅 및 로그 내보내기 기능이 추가되었습니다. 복잡한 테스트 레시피는 단계별 프로세스로 만들 수 있으며, 각 단계에서 여러 장치의 켜짐/꺼짐 상태, 설정점 및 램프 속도를 제어할 수 있습니다. 각 레시피 단계에 대한 하나 이상의 최종 조건은 논리 연산자를 사용하여 설정할 수 있습니다. 프리미엄 버전을 사용하면 사용자가 레시피 데이터 로그 파일에서 환경 TVAC 테스트 보고서를 빠르게 생성할 수 있습니다. 로그를 검토하여 대상 프로세스 매개변수가 달성되었는지 확인할 수 있습니다. 프리미엄 버전에는 또한 소프트웨어를 여러 외부 네트워크 클라이언트를 관리할 수 있는 호스트로 사용할 수 있는 기능을 제공하는 AutoExplor IP Client 와 과학자나 프로그래머가 AutoExplor의 소프트웨어 인터페이스를 사용하지 않고도 ExploraVac 계측기를 기존 소프트웨어 테스트 모음에 통합할 수 있는 AutoExplor API (애플리케이션 프로그래밍 인터페이스)가 포함되어 있습니다. 프리미엄 버전은 매년 갱신해야 하며 그렇지 않으면 기본 버전으로 돌아갑니다.

ExploraVAC 시리즈 TVAC 압력 및 온도 제어 테스트 챔버는 다양한 제품 테스트 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션입니다.

샘플 애플리케이션