물리 기상 증착 펠릿, 구리 펠릿 - Cu, 99.999% 순도, 원자량 63.546 amu, 녹는점 1,083 °C, 6 x 6 mm 펠릿, 250그램 병
아이디얼 진공 제품, 유한회사. 공정에 적합한 고품질 PVD 증발 소재를 찾고 있다면 올바른 곳에 오셨습니다. 검색은 여기서 끝납니다. 이 제품은 6 x 6mm 크기의 고순도 구리(Cu) 펠릿(99.999%) 250g 병으로 PET 플라스틱 또는 유리 병에 담겨 배송됩니다. 이 펠릿은 밀도가 8.92g/cc이고, 녹는점은 1083°C이며, 증기압은 1,017°C에서 10-4Torr입니다. 열팽창 계수는 16.5 x 10-6/K이며, 박막 증착의 맥락에서 Z 비율은 0.437입니다.
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구리
구리는 기호 Cu와 원자 번호 29를 가진 화학 원소입니다. 전기와 열의 전도성이 높은 붉은 금색 금속입니다. 밀도는 8.92 g/cc, 녹는점은 1083°C, 증기압은 1,017°C에서 10-4 Torr입니다. 열팽창 계수는 16.5 x 10-6/K이고 박막 증착의 맥락에서 Z 비율은 0.437입니다.
구리는 우수한 전기 전도성, 열적 특성 및 접착 특성으로 인해 박막 산업에서 널리 사용됩니다. 도가니, 증발 보트 및 와이어 바스켓에서 E-빔 증발 또는 저항 가열을 사용하여 용융 및 증발될 수 있습니다. 구리 박막이 활용되는 몇 가지 예는 다음과 같습니다.
구리의 박막 응용 분야- 마이크로전자공학의 상호 연결: 구리 박막은 낮은 전기 저항으로 인해 구성 요소 간에 효율적인 전기 경로를 만드는 데 집적 회로 및 반도체 장치에 사용됩니다.
- 코팅 및 도금: 구리 박막은 다양한 전자 장치에서 전도성 층으로 사용되어 추가적인 증착 또는 전기 도금을 위한 안정적이고 효율적인 전도성 표면을 제공합니다.
- 반사 코팅: 구리는 반사율이 높아 광학 코팅과 거울에 사용하기에 적합하며, 빛 반사에 의존하는 장치의 효율성을 높여줍니다.
- 장벽층: 다층 박막 구조에서 구리는 확산 장벽 역할을 하여 서로 다른 재료가 섞이는 것을 방지하고 층의 무결성과 성능을 유지합니다.
- 센서 및 촉매: 구리 박막은 반응성 표면 특성으로 인해 가스 센서와 화학 반응의 촉매로 사용됩니다.
- 타겟 백킹 플레이트: 진공 코팅 기계의 스퍼터링 타겟은 전통적으로 구리 백킹 플레이트에 접합됩니다.
전반적으로 구리는 다재다능하고 물리적, 화학적 특성이 좋기 때문에 다양한 첨단 기술 응용 분야에서 박막을 생산하는 데 귀중한 재료입니다.
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