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MBraun 열 증발기, MB Evap S/A, 박막 공증착 시스템, 스테인리스 스틸 벨자 챔버, 13 x 17인치, 4개의 열 소스 및 2개의 Inficon QCM 두께 모니터, 새로운 Pfeiffer HiPace 300 터보 펌프, 재생품

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MBraun 열 증발기, MB Evap S/A, 박막 공증착 시스템, 스테인리스 스틸 벨자 챔버, 13 x 17인치, 4개의 열 소스 및 2개의 Inficon QCM 두께 모니터, 새로운 Pfeiffer HiPace 300 터보 펌프, 재생품

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부품 번호:

P1013688

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~에 판매: ₩72,521,500.00

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설명

MBraun 열 증발기 - MB Evap S/A, 박막 공증착 시스템, 스테인리스 스틸 벨자 챔버 - 13 x 17인치, 4개의 열 소스와 2개의 Inficon QCM 두께 모니터, 새로운 Pfeiffer HiPace 300 Turbo, 재생품.

이 재생 Mbraun Evap S/A 진공 코팅 챔버(2012년 제조)에는 완전히 새로운 HiPace 300 터보 펌프와 완전히 새로운 Edwards 12 회전 러핑 펌프가 장착되어 있습니다. 이 도구는 우수한 작동 상태입니다. 챔버 내부는 이전 사용으로 인한 모든 오염 물질을 제거하기 위해 그릿 블라스팅되었습니다. 이 도구는 금, 티타늄 및 산화물과 같은 고융점 금속 및 유전체의 열 증발에 적합합니다. 직경 13인치 x 높이 17인치의 스테인리스 스틸 벨자 챔버가 있습니다. 기판 홀더 회전 시 최대 증발 투사 거리는 10인치이며 기판 회전 어셈블리 없이 12인치까지 늘릴 수 있어 리프트오프 금속 증착에 적합합니다. 기판 홀더는 증착 중 회전 시 최대 4인치 x 4인치 샘플 크기 또는 회전 없이 6인치 x 6인치 샘플을 취할 수 있습니다. 챔버에는 각각 약 1cc의 적재 용량을 가진 4개의 열 증발 소스가 있습니다.

이 MBraun Thermal Evaporator에는 새로운 맞춤형 4인치 회전 기판 홀더를 포함한 많은 기능이 장착되어 있습니다. Inficon QCM 센서 2개와 새로운 석영 크리스털 2개가 설치되어 있으며, 수동 및 자동 프로세스 모드가 있는 Inficon SQC-310C 공증착 컨트롤러가 있습니다. 증착 프로세스는 순차적이거나 공증착될 수 있습니다. 기타 기능으로는 코팅 진행 상황을 관찰할 수 있는 6인치 뷰포트, 공압 소스 및 기판 셔터, 고장 안전 메커니즘, 광학 안전 커튼, 알람 형태의 시각 및 청각 상태 표시기가 있습니다.

이 MBraun 증발기는 2012년에 제조되었으며 다음과 같은 특징과 성능을 가지고 있습니다.

스테인리스 스틸 벨자 챔버(직경 13인치 x 높이 17인치)
도구 치수는 48"L x 32"W x 80"H입니다.
4인치 회전 기판 홀더(24VDC 전원 공급 장치 포함되지 않음)
4개의 저항 가열 포켓
10인치 증발 투사 거리
모터화된 벨자 챔버 호이스트
Inficon의 2개 QCM 필름 두께 센서와 SQC-310C 공동 증착 컨트롤러
공압 소스 및 기판 셔터
6인치 뷰포트
터치스크린 GUI 화면
파이퍼 하이페이스 300 터보 펌프
선택 사양인 겉보기 보트 전력 측정 및 디스플레이(포함되지 않음)
선택 사항인 보트 온도 열전대 및 판독 장치(멀티미터는 포함되지 않음)
안전장치, 증착 속도, 전원, 도어, 진공 안전 인터록
시각적 및 청각적 실행 상태 표시기

전기 공급 시스템 - 3 x 208V AC, 60Hz(3Ph/N/PE)
총 부하 - 16A
4개의 보트 전원 공급원 - 2kW, 30 - 1800°C 보트 온도
기본 압력 5x10-7 Torr, Pfeiffer 콜드 캐소드 진공 게이지를 교체해야 할 수도 있습니다.
최대 작동 압력 - 사용자 설정, 5x10-3 Torr
기판 재료, 모양 및 크기 - 최대 4인치 Si 웨이퍼
기판 회전 속도 - 사용자 설정
증발 보트/막대 크기 - 길이 1 - 4", 하중 용량 1cc
100개의 레시피 저장, 대부분의 금속 필름 증착 레시피가 이미 설치되어 있음
수동 및 자동 작동 모드
보트 재료 - 모든 재료, W, Moly, Ta, Crucibles
1년 한정 보증

MBraun 증발코팅 시스템

다운로드

사용자 매뉴얼 보충 A -MB Evap Evaporator rev001.pdf

4.40 MB, PDF