MKS 626D 0.1 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 Conflat CF 1.33인치 플랜지, 626D.1TCE MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전용량 압력계는 최신 아날로그 정전용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 반응(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다.
이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 626D.1TCE.
호환 컨트롤러 및 케이블:
제품 특징:
- 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력
- 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정
- 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성
- 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다.
- 높은 과압 제한으로 시스템 사고 시 신뢰성 보장
- 최고의 정확성과 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됨