MKS 그랜빌 필립스 355 마이크로 이온 ATM 모듈식 진공 압력 변환기, 디지털 디스플레이 토르 판독, DeviceNet, 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75 CF 입구.
1x10-9 Torr의 압력 측정 MKS 부품 번호: 355620-2-YG-T. MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM 모듈은 검증된 Micro-Ion 이온화 게이지 기술과 소형 Conductron 열 손실 센서를 결합하여 고진공에서 대기압까지 정확하고 지속적인 압력 측정을 제공합니다. 이 제품은 다이어프램 센서를 사용하여 대기압까지 정확한 절대 압력을 제공하고 주변 압력과의 진공 챔버 차압을 정밀하게 표시할 수 있습니다. 고유한 센서 설계는 고압에서 열 손실 센서의 성능에 영향을 줄 수 있는 열 효과를 제거합니다. 이 작은 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 모두 컴팩트한 모듈식 설계로 결합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 필요한 공간을 최소화합니다. 전체 범위 압력 측정은 DeviceNet 디지털 인터페이스로 출력 신호입니다. 이것은 프로세스 제어를 위해 구성할 수 있는 설정점을 가진 DeviceNet 버전으로, 진공 압력 범위 전체의 모든 압력에서 릴레이를 할당하거나 특정 차압 값에 할당할 수 있습니다.
혜택에는 다음이 포함됩니다.
•1 x 10-9 고진공에서 대기압까지 연속적인 압력 측정.
• 대기압에서의 정밀한 차압 측정.
• 별도의 대기 스위치가 필요 없습니다.
• 3개의 별도 센서가 필요 없습니다.
• 이온화 게이지 이트리아 코팅 이리듐, 필라멘트는 장비 가동 시간을 늘려줍니다.
• 이온화 게이지 활성화 및 비활성화 자동화.
• 프로세스 제어를 위한 설정점 릴레이.
• 현장에서 교체 가능한 게이지 어셈블리.
• DeviceNet 출력.
모듈식 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이와 컨트롤이 필요 없는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이러한 소형, 편리하고, 안정적이며, 비용 절감형 모듈은 컨트롤 전자 장치를 게이지에 직접 장착합니다. 모든 금속 패키지는 견고한 인클로저와 높은 수준의 전기적 노이즈 내성을 제공합니다. Mini-Convectron 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 Granville-Phillips®Convectron® 게이지를 작동합니다. Convectron 게이지는 산업 표준이 되었습니다. 압력 측정이 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 하는 열 전도도 게이지의 고유한 변형입니다. 전도성 열 손실만 사용하는 기존의 열전대 및 피라니 게이지와 달리 Convectron 게이지는 고압에서 대류로 인한 열 손실을 활용합니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 측정 범위가 대기로 확장됩니다.