MKS Granville Phillips 355 마이크로 이온 ATM 모듈형 진공 압력 변환기, 디지털 디스플레이, DeviceNet, 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트, 2.75 CF

MKS Granville-Phillips 355 마이크로 이온 ATM 모듈은 입증된 마이크로 이온 이온화 게이지 기술과 소형 전도체 열 손실 센서를 결합하여 고진공에서 대기까지 정확하고 지속적인 압력 측정을 제공합니다. 다이어프램 센서를 사용하여 이 제품은 주변과의 진공 챔버 차압을 정밀하게 표시하고 대기까지 정확한 절대 압력을 제공할 수 있습니다. 고유한 센서 설계는 더 높은 압력에서 열 손실 센서의 성능에 영향을 미칠 수 있는 열 효과를 제거합니다. 이 소형 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 모두 컴팩트한 모듈형 설계로 결합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 필요한 공간을 최소화합니다. 전체 범위 압력 측정은 DeviceNet 디지털 인터페이스를 통한 출력 신호입니다. 이는 프로세스 제어를 위해 구성할 수 있는 설정점이 있는 DeviceNet 버전으로, 진공 압력 범위 전체의 모든 압력 또는 특정 차압 값에 릴레이를 할당할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다.

혜택은 다음과 같습니다:
• 1 x 10-9 고진공부터 대기까지 연속적인 압력 측정.
• 대기에서의 정밀한 차압 측정.
• 별도의 대기 스위치가 필요하지 않습니다.
• 세 개의 별도 센서가 필요하지 않습니다.
• 이온화 게이지 이트리아 코팅 이리듐, 필라멘트는 장비 가동 시간을 늘립니다.
• 이온화 게이지 활성화 및 비활성화 자동화.
• 프로세스 제어를 위한 설정점 릴레이.
• 현장 교체 가능한 게이지 어셈블리.
• DeviceNet 출력.


모듈식 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이 및 컨트롤이 필요하지 않은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 작고 편리하며 안정적이고 비용이 절감되는 모듈에는 제어 전자 장치가 게이지에 직접 장착되어 있습니다. 전체가 금속으로 이루어진 패키지는 견고한 인클로저와 높은 수준의 전기적 노이즈 내성을 제공합니다. 미니-컨벡트론 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 Granville-Phillips®Convectron®Gauge를 작동합니다. Convectron Gauge는 업계 표준이 되었습니다. 압력 측정이 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 하는 열전도율 게이지의 독특한 변형입니다. 전도성 열 손실만 사용하는 기존 열전대 및 피라니 게이지와 달리 대류 게이지는 더 높은 압력에서의 대류로 인한 열 손실을 활용합니다. 이는 정확하고 반복 가능한 측정 범위를 대기까지 확장합니다.