MKS Granville Phillips 390 GP 830, 835 VQM용 마이크로 이온 게이지 ATM 모듈. 2개의 설정점, 디스플레이 포함, CF 2.75인치, 390802-2-YG-T

이 390802 총 압력 마이크로 이온 모듈은 MKS Granville Phillips 진공 품질 모니터 시스템(VQM) 830 또는 835 전력 질량 분석계 게이지와 함께 작동합니다. VQM.

MKS Granville-Phillips 마이크로 이온 ATM 모듈은 입증된 마이크로 이온 이온화 게이지 기술과 소형 전도체 열 손실 센서 및 2개의 피에조 저항 센서를 결합하여 고진공에서 대기까지 정확하고 지속적인 압력 측정을 제공합니다. 다이어프램 센서를 사용하여 이 제품은 주변과의 진공 챔버 차압을 정밀하게 표시하고 대기까지 정확한 절대 압력을 제공할 수 있습니다. 고유한 센서 설계는 더 높은 압력에서 열 손실 센서의 성능에 영향을 미칠 수 있는 열 효과를 제거합니다. 이 소형 모듈은 4개의 센서와 제어 전자 장치를 모두 컴팩트한 모듈형 설계로 결합하여 챔버에 필요한 게이지 수를 줄이고 필요한 공간을 최소화합니다. 전체 범위 압력 측정은 단일 아날로그 신호로 출력되거나 옵션 직렬 RS-485 또는 DeviceNet 디지털 인터페이스를 통해 사용할 수 있습니다. RS-485 및 DeviceNet 버전에는 프로세스 제어를 위해 최대 3개의 옵션 설정점 릴레이를 구성할 수 있으며 진공 압력 범위 전체의 모든 압력 또는 특정 차압 값에 릴레이를 할당할 수 있습니다.

혜택은 다음과 같습니다:
• 1 x 10-9 고진공부터 대기까지 연속적인 압력 측정.
• 대기에서의 정밀한 차압 측정.
• 별도의 대기 스위치가 필요하지 않습니다.
• 세 개의 별도 센서가 필요하지 않습니다.
• 이중 이온화 게이지 필라멘트로 장비 가동 시간이 늘어납니다.
• 이온화 게이지 활성화 및 비활성화 자동화.
• 프로세스 제어를 위한 옵션 설정점 릴레이.
• 현장 교체 가능한 게이지 어셈블리.
• 아날로그, RS-485 또는 DeviceNet 출력이 가능합니다.
• 옵션 그래픽 LCD 디스플레이.

모듈식 진공 게이지는 전면 패널 디스플레이 및 컨트롤이 필요하지 않은 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 작고 편리하며 안정적이고 비용이 절감되는 모듈에는 제어 전자 장치가 게이지에 직접 장착되어 있습니다. 전체가 금속으로 이루어진 패키지는 견고한 인클로저와 높은 수준의 전기적 노이즈 내성을 제공합니다. 미니-컨벡트론 모듈은 최신 전자 기술을 사용하여 MKS Granville-Phillips®Convectron®Gauge를 작동합니다. Convectron Gauge는 업계 표준이 되었습니다. 압력 측정이 센서 와이어의 열 손실률을 기반으로 하는 열전도율 게이지의 독특한 변형입니다. 전도성 열 손실만 사용하는 기존 열전대 및 피라니 게이지와 달리 대류 게이지는 더 높은 압력에서의 대류로 인한 열 손실을 활용합니다. 이는 정확하고 반복 가능한 측정 범위를 대기까지 확장합니다.