MKS HPS® 시리즈 999 Quattro™ 다중 센서 열음극 변환기, KF-40, RS232. MKS 부품 번호 999-51 MKS HPS® 시리즈 999 Quattro™는 대기 전환 기능과 결합하여 10 -10 Torr에서 대기까지의 압력 측정을 제공하는 최고의 변환기 솔루션입니다. Quattro는 HPS의 세 가지 핵심 기술을 통합 게이지 솔루션에 결합하고 하나의 컴팩트 패키지에 4개의 센서 기능을 갖추고 있습니다. Quattro에는 소형 열음극 이온화 센서, MEMS 기반 MicroPirani™ 센서 및 고유한 압전 센서가 포함되어 있어 차동 및 절대 센서 기능을 모두 제공합니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 999를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 다운로드 섹션을 참조하세요.