MKS R 시리즈 게이트 밸브 ISO-F 100, DN100, 공압식, 24 VDC 솔레노이드, 이중 위치 표시기 스위치(N/O), 4인치 ID, Viton 씰,
볼트로 고정된 플랜지(M8 x 1.25), 스테인리스 스틸 본체. 이러한 MKS R 시리즈 게이트 밸브는 반도체 및 일반 진공 응용 분야 모두에서 러핑 펌프 및 러핑 라인을 격리하는 데 최적화되어 있습니다. 이 R 시리즈 게이트 밸브는 1x10
-7 Torr까지의 고진공(HV) 응용 분야에 매우 적합하며 공압 및 위치 표시기를 포함한 옵션을 갖추고 있습니다. R 시리즈는 액추에이터 씰에 엘라스토머 샤프트 씰을 사용하여 황삭 진공 응용 분야를 위한 비용 효율적이고 가치가 높은 패키지로 고성능을 구현합니다. 이 목록은 24 VDC 솔레노이드 밸브 및 이중 위치 표시기 스위치(상시 열림)를 포함하는 공압식 공기 구동기가 있는 ISO-100 볼트다운 진공 플랜지 버전용입니다.
제품 특징:
- 탁월한 온도 균일성으로 내부 표면에 콜드 스팟이 생기지 않습니다.
- DN80 및 DN100 > 200,000주기
- DN160 > 100,000사이클
- DN80, DN100 및 DN160mm 크기 사용 가능
제품 구성:
- 밸브 보어/플랜지 크기: DN100
- 재료: 스테인레스 스틸
- 절단: 공압식
- 씰 재질: Viton/FKM
- 리미트 스위치: 두 스위치 모두 평상시 열림(N/O)
- 자기 리드 스위치: 정격 전류 < 80mA
- 솔레노이드: 24VDC
- 난방 옵션: 105°C까지 가열 가능
- 압력 범위(고진공 HV): 1x10-7 ~ 1200 Torr(1.3* 10-10 - 1.6 bar)
- 공압: 5.4 ±1.3 atm(80 ±20 psig)
- 액추에이터 씰: 엘라스토머 샤프트 씰 - Viton
- 좌우 누출률: 1x10-9 atm*cc/sec
- 외부 누출률: 1x10-9 atm*cc/sec
- 최대 델타 압력 - 작동: 22.5 Torr(30mbar) 챔버 측면 높이
- 최대 델타 압력 - 닫힘: 1.6atm, 양방향