Ideal Vacuum 3-Position UHV 공압 작동 게이트 밸브, 조절식 3위치, 솔레노이드 및 리드 센서 포함, 24VDC, CF 10.0인치(DN CF200) 플랜지, 비톤 오링 표준 씰, 1x10-10mbar, SUS304 본체, 50,000사이클 CF 10.0인치 볼트 다운 플랜지, 5/16-24 UNF 나사산 이 Ideal Vacuum 3-Position 조절식 게이트 밸브는 Conflat CF 10.0인치(DN CF200) 플랜지로 공압으로 작동됩니다. 부분적으로 열리도록 설정할 수 있는 3위치가 있습니다. 초고진공(UHV)에 적합하며 게이트용 표준 비톤 오링 씰과 공압 제어 솔레노이드 밸브가 있는 보닛용 비톤 오링 또는 OFHC 구리 개스킷이 함께 제공됩니다. 밸브는 서비스가 필요하기 전까지 일반적으로 50,000회의 사이클을 거칩니다. 이 밸브는 내식성 304 스테인리스 스틸 게이트와 밸브 바디로 제작됩니다. 이 3위치 제어는 다양한 진공 증착 공정, 특히 박막 증착 공정 챔버 시스템에 최적의 조건을 유지하는 데 있어 유연성과 정밀성을 제공합니다. 물리 기상 증착 코팅 챔버에서의 응용 이 3위치 게이트 밸브는 신뢰할 수 있는 고진공 및 초고진공(UHV) 응용 분야를 위해 설계되었으며 종종 크라이오, 터보 및 이온 고진공 펌프와 함께 사용됩니다. PVD 마그네트론 스퍼터링 증착과 같은 조절식 진공 공정에서 사용이 증가했습니다. 스퍼터링 시스템과 같은 PVD 코팅 챔버에서 3위치 게이트 밸브는 종종 터보 분자 펌프와 주 공정 챔버 간의 연결을 제어하는 데 사용됩니다. 이 게이트 밸브는 진공 시스템을 정밀하게 제어할 수 있으며 펌프를 분리하고, 챔버를 보호하고, 펌핑 속도를 조정할 수 있습니다. 일반적인 3위치 게이트 밸브의 세 가지 위치는 다음과 같습니다.1. 완전 개방 위치: 최대 컨덕턴스, 완전 터보 펌핑 속도, 초기 배기 또는 증착 중 고진공을 유지할 때 사용됨.2. 부분 개방(스로틀링 위치): 목적: 부분 개방 위치에서 게이트 밸브는 부분적으로만 열려 챔버와 터보 펌프 사이의 컨덕턴스를 조절합니다.스로틀링은 반응성 가스(예: 반응성 스퍼터링의 산소 또는 질소)로 작업하거나 최적의 필름 성장을 위해 압력을 미세 조정해야 할 때 중요합니다.이 부분 개방 위치는 설치 중에 한 번 수동으로 설정하고 조정하며 언제든지 다른 프로세스 조건을 실행하도록 변경할 수 있습니다.3. 완전 폐쇄 위치: 목적: 완전 폐쇄 위치에서 게이트 밸브는 터보 펌프를 메인 챔버에서 완전히 분리합니다.사용 사례: 이 위치는 챔버 환기, 로드-록 챔버 샘플 로딩 또는 챔버가 대기압에 노출될 때와 같은 프로세스 중에 터보 펌프를 보호하는 데 사용됩니다.오염 물질이나 대기 공기가 터보 펌프에 유입되어 펌프가 손상되는 것을 방지합니다. 사양: 사양 및 기능: 재질 본체 SUS304 캐리지 연결 유형 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - SUS304, A6061-T6 게이트 연결 유형 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - A6061-T6 벨로우즈 AM350 수명 주기 HV :DN200 - 300,000사이클 UHV :DN200 - 50,000사이클 1기압 차이에서의 헬륨 누출률 <2×10-9 mbar·l/초 O-링의 경우 <5×10-10 mbar·l/초 개스킷 씰의 경우 베이크 온도 열림 - 200°C 비톤 보닛 씰 닫힘 - 150°C 비톤 보닛 씰 압력 범위(mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 최대 델타 P(mbar) < 30 (개방 전) 표준 씰 게이트 - 비톤 오링 보닛 - 비톤 오링 또는 OFHC 구리 개스킷 액추에이터 - 공압 압축 공기 공급 튜브 연결 - 6mm 압력 범위 - 4-6 Kg/cm2(과압) 표면 처리 - 스카치 광택 옵션 위치 표시기 공압 제어 솔레노이드 밸브 러핑 포트 기타 소재 게이트 오링 씰 이 게이트 밸브 및 기타 관련 밸브 구성에 대한 자세한 내용은 다운로드를 참조하세요.

Ideal Vacuum 3-Position HV 공압 작동 게이트 밸브, 조절식 3위치, 솔레노이드 및 리드 센서 포함, 24VDC, ISO-F 200(DN 200) 플랜지, 비톤 오링 표준 씰, 1x10-8 Torr, SUS304 본체, 300,000 사이클 이 Ideal Vacuum 3-Position 스로틀 게이트 밸브는 ISO-F 200(DN CF200) 플랜지로 공압으로 작동됩니다. 부분적으로 열리도록 설정할 수 있는 3위치가 있습니다. 고진공(HV)에 적합하며 게이트용 표준 비톤 오링 씰과 공압 제어 솔레노이드 밸브가 있는 보닛용 비톤 오링 또는 OFHC 구리 개스킷이 함께 제공됩니다. 이 ISO-F 플랜지 게이트 밸브는 벨로우즈와 보닛 플레이트 씰에 비톤 O-링을 사용하므로 궁극 압력이 1x10-8 Torr까지 낮아진 고진공(HV) 애플리케이션으로 제한됩니다. 이 밸브는 서비스가 필요하기 전에 일반적으로 300,000회의 사이클 수명을 갖습니다. 이 밸브는 내식성 304 스테인리스 스틸 게이트와 밸브 바디로 제작되었습니다. 이 3위치 제어는 다양한 진공 증착 공정, 특히 박막 증착 공정 챔버 시스템에 대한 최적의 조건을 유지하는 데 있어 유연성과 정밀성을 제공합니다. 물리 기상 증착 코팅 챔버에서의 응용 이 3위치 게이트 밸브는 신뢰할 수 있는 고진공 애플리케이션을 위해 설계되었으며 종종 크라이오, 터보 및 이온 고진공 펌프와 함께 사용됩니다. PVD 마그네트론 스퍼터링 증착과 같은 조절식 진공 공정에서 사용이 증가했습니다. 스퍼터링 시스템과 같은 PVD 코팅 챔버에서 3위치 게이트 밸브는 종종 터보 분자 펌프와 주 공정 챔버 간의 연결을 제어하는 데 사용됩니다. 이 게이트 밸브는 진공 시스템을 정밀하게 제어할 수 있으며 펌프를 분리하고, 챔버를 보호하고, 펌핑 속도를 조절할 수 있습니다. 일반적인 3위치 게이트 밸브의 세 가지 위치는 다음과 같습니다. 1. 완전 개방 위치: 최대 컨덕턴스, 전체 터보 펌핑 속도, 초기 배출 또는 증착 중 고진공을 유지할 때 사용됩니다. 2. 부분 개방(스로틀 위치): 목적: 부분 개방 위치에서 게이트 밸브는 부분적으로만 열려 챔버와 터보 펌프 사이의 컨덕턴스를 조절합니다. 스로틀링은 반응성 가스(예: 반응성 스퍼터링의 산소 또는 질소)로 작업하거나 최적의 필름 성장을 위해 압력을 미세 조정해야 할 때 중요합니다. 이 부분 개방 위치는 설치 중에 한 번 수동으로 설정하고 조정하며 언제든지 다른 공정 조건을 실행하도록 변경할 수 있습니다. 3. 완전 폐쇄 위치: 목적: 완전 폐쇄 위치에서 게이트 밸브는 터보 펌프를 주 챔버에서 완전히 분리합니다. 사용 사례: 이 위치는 챔버 환기, 로드-락 챔버 샘플 로딩 또는 챔버가 대기압에 노출될 때와 같은 프로세스 중에 터보 펌프를 보호하는 데 사용됩니다. 터보 펌프에 오염 물질이나 대기 공기가 유입되어 펌프가 손상되는 것을 방지합니다. 사양: 사양 및 기능: 재질 본체 SUS304 캐리지 연결 유형 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - SUS304, A6061-T6 게이트 연결 유형 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 미만 - SUS304 볼 유형 크기 10인치 이상 포함 - A6061-T6 벨로우즈 AM350 수명 주기 HV :DN200 - 300,000사이클 UHV :DN200 - 50,000사이클 1기압 차이에서의 헬륨 누출률 <2×10-9 mbar·l/초 O-링의 경우 <5×10-10 mbar·l/초 개스킷 씰의 경우 베이크 온도 열림 - 200°C 비톤 보닛 씰 닫힘 - 150°C 비톤 보닛 씰 압력 범위(mbar) HV: 1x10-8 ~ 1000 UHV: 1x10-10 ~1000 최대 델타 P(mbar) < 30 (개방 전) 표준 씰 게이트 - 비톤 오링 보닛 - 비톤 오링 또는 OFHC 구리 개스킷 액추에이터 - 공압 압축 공기 공급 튜브 연결 - 6mm 압력 범위 - 4-6 Kg/cm2(과압) 표면 처리 - 스카치 광택 옵션 위치 표시기 공압 제어 솔레노이드 밸브 러핑 포트 기타 소재 게이트 오링 씰 이 게이트 밸브 및 기타 관련 밸브 구성에 대한 자세한 내용은 다운로드를 참조하세요.