Agilent Varian TwisTorr 74-FS KF-40 주입구, 44 L/S 펌핑 속도를 갖춘 경제적이고 안정적인 터보분자 진공 펌프. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-64171. 이러한 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보분자 진공 펌프에는 KF-40 흡입 플랜지, 44 L/S 펌핑 속도, 그리고 특허 받은 TwisTorr 드래그 단계를 갖춘 Agilent 플로팅 서스펜션이 있습니다. 74 FS 모델은 신뢰할 수 있는 소형 터보 펌프로, 1167Hz 구동 주파수로 베어링 수명이 길어지고 고진공 응용 분야에 경제적으로 신뢰할 수 있는 펌프입니다. 새로 설계된 미로 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 최적화된 열 설계 매핑과 함께 AFS(Agilent Floating Suspension)를 포함하여 성능이 향상되었습니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 AFS(플로팅 서스펜션 시스템)는 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 필요로 하지 않으며 어떤 방향에서도 펌프 작동이 가능합니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. 이러한 Agilent Varian 74 FS 터보분자 고진공 펌프에는 KF-40 흡입 플랜지, 1x10-8 Torr의 최종 압력(흡입 KF 센터링 링에 있는 고무 O-링 씰의 가스 방출로 제한됨)이 있으며 Agilent Varian 부품 번호 X3502-64171. 모든 금속으로 밀봉된 구성 흡기 개스킷이 포함된 ConFlat 버전은 올바르게 사용할 경우 최대 압력이 3.75x10-10Torr만큼 낮은 진정한 초고진공 펌프입니다. 이러한 TwisTorr 74-FS 터보 펌프에는 외부 원격 랙 장착형 또는 온보드 펌프측 장착형 컨트롤러가 필요합니다. 팬 강제 공기 냉각 또는 수냉식 중 필요한 터보 펌프 냉각 키트는 별도로 판매됩니다. 이러한 Agilent Varian TwistTorr 74 FS 터보 펌프에는 NW40 흡입 플랜지, 질소 펌핑 속도 44l/s, KF-16 포어라인 플랜지, 주변 작동 온도 5°C ~ +35°C가 있습니다. 이 74 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고 회전 속도가 70,000rpm이며 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 날개(DS-40M 또는 DS)의 포어라인 러핑 펌프를 권장합니다. -102). 강제 공기 냉각을 위한 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C이거나 수냉식의 경우 45~75psi에서 15~25°C 사이에서 최소 유량 0.30gpm입니다. 새로운 Agilent Twistorr 74 FS는 광범위한 응용 분야에 적합한 성능과 기능의 조화를 제공합니다. 이는 매우 다용도가 높은 터보 펌프이며 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 질량 분석법 가스 크로마토그래피 질량 분석법(GC/MS) 액체 크로마토그래피 질량 분석법(LC/MS) 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP) -MS) TOF(Time-of-Flight 질량 분석기) 연구 및 개발의 진공: 고에너지 물리학 융합 기술 일반 UHV 연구 싱크로트론 광원 입자 가속기 나노기술 기기: 전자 현미경 주사 전자 현미경(SEM) 투과 전자 현미경(TEM) 초점 이온빔 시스템(FIB) 표면 분석 반도체 제조 산업용 진공 처리: 박막 증착: 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이) 박막 태양전지 생산(광발전) 광학 데이터 매체(CD, DVD, 광자기 디스크) 자기 저장 매체 표면 처리 광학 코팅(안과용, 정밀 광전자공학) 필름 또는 호일의 롤/웹 코팅 장치 가공: TV 및 모니터 브라운관 제조 램프 배출(고속도로 조명, 비머) X선관 및 전자 장치 일반 공정: 진공로 야금

Agilent Varian TwisTorr 74-FS Confat CF 2.75인치 흡입구, 50L/S 펌핑 속도를 갖춘 경제적이고 신뢰할 수 있는 터보분자 진공 펌프. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-64173. 이러한 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보분자 진공 펌프에는 50 L/S 펌핑 속도의 ConfFlat CF 2.75인치 흡입 플랜지가 있으며 특허 받은 TwisTorr 드래그 단계를 갖춘 Agilent Floating Suspension이 있습니다. 74 FS 모델은 신뢰할 수 있는 소형 터보 펌프로, 1167Hz 구동 주파수로 베어링 수명이 길어지고 고진공 응용 분야에 경제적으로 신뢰할 수 있는 펌프입니다. 새로 설계된 미로 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 최적화된 열 설계 매핑과 함께 AFS(Agilent Floating Suspension)를 포함하여 성능이 향상되었습니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 AFS(플로팅 서스펜션 시스템)는 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 필요로 하지 않으며 어떤 방향에서도 펌프 작동이 가능합니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보 펌프(conflat 흡입구 포함)는 올바르게 사용할 경우 최종 압력이 3.75x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어 이러한 펌프의 Conflat 버전은 다음을 허용합니다. 흡입 플랜지는 섭씨 120도까지 구워집니다. 이러한 TwisTorr 74-FS 터보 펌프에는 외부 원격 랙 장착형 또는 온보드 펌프측 장착형 컨트롤러가 필요합니다. 팬 강제 공기 냉각 또는 수냉식 중 필요한 터보 펌프 냉각 키트는 별도로 판매됩니다. 이 Agilent Varian TwistTorr 74 FS 터보 펌프에는 Conflat CF 2.75인치 흡입 플랜지가 있고, 질소 펌핑 속도는 60l/s, KF-16 포어라인 플랜지, 주변 작동 온도는 5°C ~ +35°C입니다. 이 74 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고 회전 속도가 70,000rpm이며 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 날개(DS-40M 또는 DS)의 포어라인 러핑 펌프를 권장합니다. -102). 강제 공기 냉각을 위한 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C이거나 수냉식의 경우 45~75psi에서 15~25°C 사이에서 최소 유량 0.30gpm입니다. 새로운 Agilent Twistorr 74 FS는 광범위한 응용 분야에 적합한 성능과 기능의 조화를 제공합니다. 이는 매우 다양한 용도의 터보 펌프이며 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 질량 분석법 가스 크로마토그래피 질량 분석법(GC/MS) 액체 크로마토그래피 질량 분석법(LC/MS) 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP) -MS) TOF(Time-of-Flight 질량 분석기) 연구 및 개발의 진공: 고에너지 물리학 융합 기술 일반 UHV 연구 싱크로트론 광원 입자 가속기 나노기술 기기: 전자 현미경 주사 전자 현미경(SEM) 투과 전자 현미경(TEM) 초점 이온빔 시스템(FIB) 표면 분석 반도체 제조 산업용 진공 처리: 박막 증착: 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이) 박막 태양전지 생산(광발전) 광학 데이터 매체(CD, DVD, 광자기 디스크) 자기 저장 매체 표면 처리 광학 코팅(안과용, 정밀 광전자공학) 필름 또는 호일의 롤/웹 코팅 장치 가공: TV 및 모니터 브라운관 제조 램프 배출(고속도로 조명, 비머) X선관 및 전자 장치 일반 공정: 진공로 야금

Agilent Varian TwisTorr 74-FS ISO-63 주입구, 60 L/S 펌핑 속도를 갖춘 경제적이고 안정적인 터보분자 진공 펌프. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-64170. 이러한 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보분자 진공 펌프에는 ISO-63 흡입 플랜지, 60 L/S 펌핑 속도, 그리고 특허 받은 TwisTorr 드래그 단계를 갖춘 Agilent Floating Suspension이 있습니다. 74 FS 모델은 신뢰할 수 있는 소형 터보 펌프로, 1167Hz 구동 주파수로 베어링 수명이 길어지고 고진공 응용 분야에 경제적으로 신뢰할 수 있는 펌프입니다. 새로 설계된 미로 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 최적화된 열 설계 매핑과 함께 AFS(Agilent Floating Suspension)를 포함하여 성능이 향상되었습니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 AFS(플로팅 서스펜션 시스템)는 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 필요로 하지 않으며 어떤 방향에서도 펌프 작동이 가능합니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. 이러한 Agilent Varian 74 FS 터보분자 고진공 펌프에는 ISO-63K 흡입 플랜지, 1x10-8 Torr의 최종 압력(흡입 ISO 센터링 링에 있는 고무 O-링 씰의 가스 방출로 제한됨)이 있으며 Agilent Varian 부품 번호 X3502-64170. 모든 금속으로 밀봉된 구성 흡기 개스킷이 포함된 ConFlat 버전은 올바르게 사용할 경우 최대 압력이 3.75x10-10Torr만큼 낮은 진정한 초고진공 펌프입니다. 이러한 TwisTorr 74-FS 터보 펌프에는 외부 원격 랙 장착형 또는 온보드 펌프측 장착형 컨트롤러가 필요합니다. 팬 강제 공기 냉각 또는 수냉식 등 필요한 터보 펌프 냉각 키트는 별도로 판매됩니다. 이러한 Agilent Varian TwistTorr 74 FS 터보 펌프에는 ISO-63K 흡입 플랜지, 질소 펌핑 속도 60l/s, KF-16 포어라인 플랜지, 주변 작동 온도 5°C ~ +35°C가 있습니다. 이 74 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고 회전 속도가 70,000rpm이며 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 날개(DS-40M 또는 DS)의 포어라인 러핑 펌프를 권장합니다. -102). 강제 공기 냉각을 위한 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C이거나 수냉식의 경우 45~75psi에서 15~25°C 사이에서 최소 유량 0.30gpm입니다. 새로운 Agilent Twistorr 74 FS는 광범위한 응용 분야에 적합한 성능과 기능의 조화를 제공합니다. 이는 매우 다양한 용도의 터보 펌프이며 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 질량 분석법 가스 크로마토그래피 질량 분석법(GC/MS) 액체 크로마토그래피 질량 분석법(LC/MS) 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP) -MS) TOF(Time-of-Flight 질량 분석기) 연구 및 개발의 진공: 고에너지 물리학 융합 기술 일반 UHV 연구 싱크로트론 광원 입자 가속기 나노기술 기기: 전자 현미경 주사 전자 현미경(SEM) 투과 전자 현미경(TEM) 초점 이온빔 시스템(FIB) 표면 분석 반도체 제조 산업용 진공 처리: 박막 증착: 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이) 박막 태양전지 생산(광발전) 광학 데이터 매체(CD, DVD, 광자기 디스크) 자기 저장 매체 표면 처리 광학 코팅(안과용, 정밀 광전자공학) 필름 또는 호일의 롤/웹 코팅 장치 가공: TV 및 모니터 브라운관 제조 램프 배출(고속도로 조명, 비머) X선관 및 전자 장치 일반 공정: 진공로 야금

Agilent Varian TwisTorr 74-FS Confat CF 4.5인치 흡입구, 60 L/S 펌핑 속도를 갖춘 경제적이고 신뢰할 수 있는 터보분자 진공 펌프. 냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-64172. 이러한 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보분자 진공 펌프에는 60 L/S 펌핑 속도의 ConfFlat CF 4.5인치 흡입 플랜지가 있으며 특허 받은 TwisTorr 드래그 단계를 갖춘 Agilent Floating Suspension이 있습니다. 74 FS 모델은 신뢰할 수 있는 소형 터보 펌프로, 1167Hz 구동 주파수로 베어링 수명이 길어지고 고진공 응용 분야에 경제적으로 신뢰할 수 있는 펌프입니다. 새로 설계된 미로 Twistorr 드래그 스테이지 기술과 최적화된 열 설계 매핑과 함께 AFS(Agilent Floating Suspension)를 포함하여 성능이 향상되었습니다. 이 기술을 통해 에너지 효율적이고 낮은 작동 온도를 유지하는 컴팩트한 로터 설계가 가능해졌습니다. 애질런트 AFS(플로팅 서스펜션 시스템)는 소음과 진동을 줄이고 최적의 베어링 작동 조건을 보장하여 수명을 연장하고 시스템 가동 중지 시간을 최소화하며 장기간 안정적인 펌핑 성능을 보장합니다. 영구 윤활 기능이 있는 독특한 세라믹 볼 베어링은 오일과 유지 관리를 필요로 하지 않으며 어떤 방향에서도 펌프 작동이 가능합니다. TwisTorr 드래그 스테이지는 수소 및 헬륨과 같은 가벼운 가스에 대해 높은 압축비를 생성하여 높은 처리량과 포라인 압력에 대한 높은 내성을 제공함으로써 더 작고 경제적인 배압 펌프를 사용할 수 있도록 합니다. Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보 펌프(conflat 흡입구 포함)는 올바르게 사용할 경우 최종 압력이 3.75x10-10 Torr만큼 낮은 진정한 초고진공(UHV) 펌프입니다. 예를 들어 이러한 펌프의 Conflat 버전은 다음을 허용합니다. 흡입 플랜지는 섭씨 120도까지 구워집니다. 이러한 TwisTorr 74-FS 터보 펌프에는 외부 원격 랙 장착형 또는 온보드 펌프측 장착형 컨트롤러가 필요합니다. 팬 강제 공기 냉각 또는 수냉식 중 필요한 터보 펌프 냉각 키트는 별도로 판매됩니다. 이 Agilent Varian TwistTorr 74 FS 터보 펌프에는 ConFlat CF 4.5인치 흡입구 흡입 플랜지가 있고, 질소 펌핑 속도는 60l/s, KF-16 포어라인 플랜지, 주변 작동 온도는 5°C ~ +35°C입니다. . 이 74 FS 터보 펌프는 시동 시간이 2분 미만이고 회전 속도가 70,000rpm이며 건식 스크롤(IDP-3 또는 IDP7) 또는 오일 밀봉 회전 날개(DS-40M 또는 DS)의 포어라인 러핑 펌프를 권장합니다. -102). 강제 공기 냉각을 위한 냉각 요구 사항은 주변 공기 온도가 5~35°C이거나 수냉식의 경우 45~75psi에서 15~25°C 사이에서 최소 유량 0.30gpm입니다. 새로운 Agilent Twistorr 74 FS는 광범위한 응용 분야에 적합한 성능과 기능의 조화를 제공합니다. 이는 매우 다양한 용도의 터보 펌프이며 다양한 분야에서 사용할 수 있습니다. 일반적인 터보 펌프 응용 분야는 다음과 같습니다. 질량 분석법 가스 크로마토그래피 질량 분석법(GC/MS) 액체 크로마토그래피 질량 분석법(LC/MS) 유도 결합 플라즈마 질량 분석법(ICP) -MS) TOF(Time-of-Flight 질량 분석기) 연구 및 개발의 진공: 고에너지 물리학 융합 기술 일반 UHV 연구 싱크로트론 광원 입자 가속기 나노기술 기기: 전자 현미경 주사 전자 현미경(SEM) 투과 전자 현미경(TEM) 초점 이온빔 시스템(FIB) 표면 분석 반도체 제조 산업용 진공 처리: 박막 증착: 유리 코팅 장비(건축 및 자동차 유리, 평판 디스플레이) 박막 태양전지 생산(광발전) 광학 데이터 매체(CD, DVD, 광자기 디스크) 자기 저장 매체 표면 처리 광학 코팅(안과용, 정밀 광전자공학) 필름 또는 호일의 롤/웹 코팅 장치 가공: TV 및 모니터 브라운관 제조 램프 배출(고속도로 조명, 비머) X선관 및 전자 장치 일반 공정: 진공로 야금

Agilent Varian Turbo TwisTorr 84 FS AG 1/4 랙 마운트 컨트롤러(RS232/485 통신 인터페이스 포함). Agilent Varian 부품 번호 PN: X3508-64301. 이 TwisTorr 74 FS AG 랙 컨트롤러는 더 나은 제어 및 통신 기능을 허용하는 새로운 향상된 기능을 갖춘 마이크로프로세서 제어 주파수 변환기입니다. 이는 전 세계적으로 100-240VAC와 완벽하게 호환되도록 설계된 소형 1/4 랙 장치입니다. 이 컨트롤러에는 RS 232/485 통신 포트 연결이 있고, 냉각 팬에 전원을 공급하고, 배기 밸브 제어를 구동하고, 애질런트의 광범위한 게이지의 압력을 제공 및 획득하고, TwisTorr 74 FS 시리즈 터보 펌프의 펌프 작동 매개변수를 제어합니다. 또한 자가 진단 및 보호 기능도 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 10-3 ~ 10-9 Torr까지 측정하는 애질런트 활성 게이지를 자동으로 인식합니다. 이 74 FS AG 컨트롤러는 다음과 같은 애질런트 활성 압력 게이지를 지원합니다: FRG 700/702, FRG 720/730 IM 500, IMG 500 PVG 500/ 502 PCG 750/752 CDG 500 T1000, CDG 500 T0100 CDG 500 T0010, CDG 500 T0001 이 컨트롤러는 Agilent Varian TwisTorr 74 FS 터보 펌프와 호환됩니다. 전체 사양, 컨트롤러 기능 및 사용 지침을 보려면 아래 사용 설명서를 다운로드하십시오.

컴퓨터에 직렬 포트가 없는 경우 Agilent Varian T-Plus 소프트웨어용 RS232 직렬-USB 어댑터 케이블. 3피트 이 3피트 길이의 RS232-USB 어댑터 케이블을 사용하면 USB 포트는 있지만 직렬 포트는 없는 원격 컴퓨터에서 Agilent Varian T-plus 터보 펌프를 제어할 수 있습니다. T-Plus 소프트웨어에는 직렬 연결이 필요합니다. RS232 또는 RS485 직렬 통신 포트는 없고 USB 2 연결 포트만 있는 PC의 경우 이 케이블을 사용하면 T-plus 터보 펌프를 USB 2 포트에 연결하고 동일한 T-Plus 소프트웨어 기능을 가질 수 있습니다. 마치 PC에 직렬 통신 포트가 있는 것처럼 말이죠.

Varian Agilent AC 주 전원 케이블 NEMA 플러그, 터보 펌프 컨트롤러용, 3미터. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699958. 이 Agilent 터보분자 진공 펌프 AC 주 전원 케이블에는 NEMA 5-15 플러그 벽면 콘센트 연결이 있으며 대부분의 Agilent 터보 펌프 컨트롤러와 함께 작동합니다. 길이는 3m이고 Agilent Varian 부품 번호는 9699958이며 다음 터보 펌프 모델과 함께 작동합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent A-Plus 소프트웨어 무료 다운로드 및 3m 길이의 직렬 케이블은 모든 Agilent Turbo 및 Turbo 시스템을 PC(이전 T-Plus)에 연결합니다. 애질런트 부품 번호: 9699883 애질런트 A-Plus 소프트웨어(이전의 T-Plus 터보 펌프 제어 소프트웨어)와 LabVIEW 드라이버 팩은 이제 Ideal Vacuum에서 무료로 다운로드할 수 있습니다(아래 무료 다운로드 링크 참조). 다운로드에는 32비트 버전과 64비트 버전이 모두 포함됩니다. 이 목록은 A-Plus 소프트웨어를 사용할 때 터보 또는 터보 시스템을 PC에 연결하는 데 필요한 Agilent OEM 3미터 길이, DB9, 수-암 직렬 케이블의 판매용입니다. Agilent Technologies A-Plus 소프트웨어는 Agilent Varian 터보 분자 펌프와 Agilent Windows 직렬 프로토콜을 사용하는 기타 모든 Agilent 제품을 위한 사용자 친화적인 통신, 제어 및 모니터링 애플리케이션입니다. A-Plus 소프트웨어는 RS232 또는 RS485 직렬 통신 포트를 통해 PC에 연결된 하나 이상의 터보 펌프를 동시에 제어하고 구동할 수 있습니다. PC에 직렬 포트가 없는 경우 직렬-USB 케이블을 사용할 수 있습니다(부품 번호 P104165). A-Plus 소프트웨어에는 연결된 펌프의 자동 인식 기능이 포함되어 있으며 연결된 각 펌프의 동작을 표시합니다. 각 명령에 대한 설명은 사용 편의성을 위해 항상 화면에 표시됩니다. A-Plus 소프트웨어에는 진공 장치를 신속하게 구성하고 언제든지 진공 시스템 상태를 확인할 수 있도록 데이터 로깅, 차트 표시 및 네트워크 구성과 같은 옵션이 포함되어 있습니다. 소프트웨어 패키지에는 철저한 온라인 도움말이 포함되어 있습니다. A-Plus 소프트웨어용 3미터 길이의 Agilent 케이블의 부품 번호는 9699883입니다. Agilent A-Plus 소프트웨어는 다음 펌프 모델(및 기타)과 작동합니다: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS Varian TPS-Compact Varian TPS-MiniTask

Agilent Varian 터보 흡입구 스크린, KF-40, 스테인리스 스틸은 KF-40 흡입구가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 9699309. 이 Agilent Varian 주입구 스크린은 KF-40(NW-40) 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 74 FS 및 84 FS 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 이러한 터보 흡기 스플리터 쉴드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 스테인리스강으로 제작되고 Agilent Varian 부품 번호는 969-9309입니다. 흡입구 스크린은 Agilent Varian 모델을 포함하여 KF-40 흡입구 플랜지가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

Agilent Varian 터보 흡입구 스크린, Confat CF 2.75, 스테인리스 스틸, ConFlat CF 2.75인치 흡입구가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 9699328. 이 Agilent Varian 주입구 스크린은 Conflat CF 2.75인치 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 74 FS 및 84 FS 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 이러한 터보 흡기 스플리터 쉴드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 스테인리스강으로 제작되고 Agilent Varian 부품 번호는 969-9328입니다. 흡입구 스크린은 Agilent Varian 모델을 포함하여 ConfFlat CF 2.75인치 흡입 플랜지가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

Agilent Varian 터보 흡입구 스크린, ISO-63, 스테인리스 스틸은 ISO-63인치 흡입구가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 X3502-68001. 이러한 Agilent Varian 주입구 스크린은 ISO-63(LF-63) 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 74 FS 및 84 FS 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 이러한 터보 흡기 스플리터 쉴드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 스테인리스강으로 제작되고 Agilent Varian 부품 번호는 969-9309입니다. 주입구 스크린은 Agilent Varian 모델을 포함하여 ISO-63 주입구 플랜지가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

Agilent Varian 터보 흡입구 스크린, Confat CF 4.5인치, 스테인리스 스틸, CF 4.5인치 흡입구가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-68000. 이러한 Agilent Varian 주입구 스크린은 Conflat CF 4.5인치 흡입 플랜지가 있는 TwisTorr 74 FS 및 84 FS 터보 분자 진공 펌프를 보호하도록 설계되었습니다. 이러한 터보 흡기 스플리터 쉴드는 펌프를 이물질로부터 보호하는 데 도움이 되며 스테인리스 스틸로 제작되었으며 Agilent Varian 부품 번호는 X3502-68000입니다. 흡입구 스크린은 Agilent Varian 모델을 포함하여 ConfFlat CF 4.5인치 흡입 플랜지가 있는 대부분의 소형 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

금속 호스 바브가 포함된 Agilent Varian 터보 수냉식 키트는 대부분의 애질런트 소형 터보 분자 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 X3502-68002 이 Agilent Varian TwissTorr 터보 펌프 수냉식 키트는 플라스틱 물관 연결부가 있는 금속입니다. 이는 Agilent TwissTorr 터보분자 진공 펌프의 하단에 장착되도록 설계되었습니다. 수냉식 키트는 부하가 큰 조건이나 공냉식으로 충분하지 않은 경우에 사용됩니다. 조립된 키트는 5Nm(3.69ft/lb)의 권장 폐쇄 토크로 펌프 본체의 적절한 구멍에 나사로 고정되어야 합니다. 냉각은 최종적으로 물을 배출하는 개방 회로를 통해 수행되거나 폐쇄 회로 냉각 시스템을 사용하여 수행될 수 있습니다. 수온은 +15 °C ~ +25 °C 사이여야 하며 입구 압력은 2 ~ 4 bar 사이여야 합니다. 이는 65 l/h보다 높은 유량을 허용합니다. 참고: 물의 전기 전도도는 500μs/cm여야 합니다. 전도도가 더 높은 경우, 폐쇄형 수로에서는 에틸글리콜을 최대 20%까지 사용하는 것이 좋습니다. 이 키트에는 TwissTorr 터보 펌프에 대한 적절한 설치에 필요한 하드웨어가 포함되어 있으며 Agilent Varian 부품 번호 X3502-68002가 있습니다. 설치 지침은 아래 PDF 카탈로그와 문서를 다운로드하여 확인할 수 있습니다. 다음 모델을 포함한 대부분의 Agilent Varian 터보 펌프에 적합: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

플라스틱 호스 커넥터가 포함된 Agilent Varian 터보 수냉식 키트는 대부분의 Agilent 소형 터보 분자 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호: X3502-68003 이 Agilent Varian TwissTorr 터보 펌프 수냉식 키트는 플라스틱 물관 연결부가 있는 금속입니다. 이는 Agilent TwissTorr 터보분자 진공 펌프의 하단에 장착되도록 설계되었습니다. 수냉식 키트는 부하가 큰 조건이나 공냉식으로 충분하지 않은 경우에 사용됩니다. 조립된 키트는 5Nm(3.69ft/lb)의 권장 폐쇄 토크로 펌프 본체의 적절한 구멍에 나사로 고정되어야 합니다. 냉각은 최종적으로 물을 배출하는 개방 회로를 통해 수행되거나 폐쇄 회로 냉각 시스템을 사용하여 수행될 수 있습니다. 수온은 +15 °C ~ +25 °C 사이여야 하며 입구 압력은 2 ~ 4 bar 사이여야 합니다. 이는 65 l/h보다 높은 유량을 허용합니다. 참고: 물의 전기 전도도는 500μs/cm여야 합니다. 전도도가 더 높은 경우, 폐쇄형 수로에서는 에틸글리콜을 최대 20%까지 사용하는 것이 좋습니다. 이 키트에는 TwissTorr 터보 펌프를 올바르게 설치하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있으며 Agilent Varian 부품 번호 X3502-68003이 있습니다. 설치 지침은 아래 PDF 카탈로그와 문서를 다운로드하여 확인할 수 있습니다. 다음 모델을 포함한 대부분의 Agilent Varian 터보 펌프에 적합: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

Agilent Varian TwisTorr 74-FS, 84-FS 및 Turbo-V 81용 이상적인 진공 터보 펌프 팬 공기 냉각 키트는 9699290을 대체합니다. 이러한 이상적인 진공 방사형 공기 팬 냉각 키트는 모든 Agilent Varian Twistorr 74FS, 84FS 및 Turbo-V에 적합합니다. 81 터보분자 진공 펌프를 사용하여 펌프에 수직으로 공기 흐름을 제공합니다. 이 키트는 Agilent Varian 부품 번호 9699290을 직접 대체합니다. 팬은 포함된 M3 나사 8개를 사용하여 펌프 바닥에 장착되는 L자형 브래킷에 장착됩니다. 팬은 여러 위치에서 편리하게 방향을 지정할 수 있습니다. 팬에는 온보드 또는 랙 장착형 터보 컨트롤러에 연결되어 전원을 공급받는 USB-B 수 커넥터가 있는 50cm 케이블이 있습니다. 랙 장착형 컨트롤러와 함께 사용하려면 별도로 판매되는 5미터 팬 연장 케이블(PN: P1011992)이 필요합니다. 온보드 컨트롤러와 함께 사용할 경우 팬 브래킷이 펌프와 컨트롤러 사이에 끼워집니다. 온보드 컨트롤러에는 어댑터 플레이트와 필요한 모든 장착 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이 공기 냉각 팬 키트는 다음 Agilent Varian 터보 펌프에 적합합니다. TwisTorr 74-FS TwisTorr 84-FS Turbo-V 81 및 다음 컨트롤러: 74FS Navigator AG ¼ 랙 컨트롤러 74FS Navigator 온보드 컨트롤러 84FS Navigator AG ¼ 랙 컨트롤러 84FS Navigator 온- 보드 컨트롤러 Turbo-V 81 AG 랙 컨트롤러 자세한 설치 정보를 보려면 펌프의 사용 설명서를 다운로드하여 읽어 보십시오.

랙 마운트 컨트롤러가 포함된 Agilent Varian TwisTorr 터보 분자 펌프용 IVP 공기 냉각 팬 연장 케이블, 5M 길이, PN: 9699940 대체. 이 이상적인 진공 공기 냉각 팬 연장 케이블은 터보 펌프의 공기 냉각 팬을 원격 랙 장착 컨트롤러에 연결하는 데 사용됩니다. . 이는 Agilent Varian 부품 번호 9699940을 직접 대체합니다. Agilent Varian TwisTorr 74FS, 84FS, 304FS, 305FS, Turbo-V 81 및 V301 터보 펌프와 함께 사용할 수 있습니다. 이 케이블은 길이가 5m이며 한쪽 끝에는 수 USB-B, 다른 쪽에는 암 USB-B가 있습니다. 팬의 전원 케이블은 케이블의 한쪽 끝에 연결됩니다. 다른 쪽 끝은 랙 마운트 컨트롤러 뒷면에 있는 J6 암 USB-B 커넥터에 연결됩니다.

Agilent Varian 터보 펌프 배기 밸브 키트, 지연 배기, 평상시 열림(NO), 0.5mm 오리피스, TwisTorr 랙 장착 컨트롤러용. Agilent Varian 부품 번호 PN 9699844. 이 Agilent Varian 터보 펌프 배기 밸브 키트에는 0.5mm 오리피스가 있고 상시 열림(NO)이며 터보 컨트롤러의 전원이 켜지면 닫힙니다. 전력이 손실되는 경우 이 벤트 밸브가 열리고 터보가 안전하게 정지할 수 있는 속도로 공기가 유입되기 시작합니다. 이는 펌프의 베어링에 부담을 주는 공진 주파수를 통과하는 동안 소요되는 시간을 제한하여 터보의 수명을 연장하는 데 도움이 됩니다(이 공진을 통과할 때 펌프가 실제로 더 크게 들리는 것을 들을 수 있습니다). 정전 후 배기는 배킹 펌프의 역류를 방지하는 데에도 중요합니다. 정전 후 터보에 진공이 남아 있으면 배킹 펌프의 오일이나 잔해물이 터보 펌프로 다시 흡입될 수 있습니다. 정전 시 터보를 보호하기 위해 벤트 밸브 및/또는 러핑 라인 NC(상시 폐쇄형) 차단 밸브를 권장합니다. 이 키트에는 Agilent Varian 터보 펌프 측면에 장착하는 데 필요한 하드웨어가 포함되어 있습니다. 이는 Agilent Varian 랙 마운트 터보 펌프 컨트롤러에 연결하도록 설계되었습니다(중앙 사진의 J7 참조). Agilent Varian 부품 번호는 9699844입니다. 또한 5m 환기 밸브 연장 케이블(Agilent Varian 부품 번호 9699941)도 판매합니다. 사용 가능한 제품을 참조하십시오. 아래 PDF 다운로드 섹션의 사용 설명서를 참조하세요. 다음 터보 펌프 모델과 함께 작동합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS

Agilent Varian 터보 펌프 환기 밸브 연장 케이블, 랙 마운트 컨트롤러와 함께 사용, 길이 5미터. Agilent Varian 부품 번호 9699941. 이 Agilent Varian 배기 밸브 연장 케이블은 배기 밸브와 터보 컨트롤러 사이의 거리를 연장하는 데 사용됩니다. 길이는 5m이며 랙 마운트 컨트롤러 뒷면의 J7에 연결됩니다(참조: 중앙 사진). 이 벤트 밸브 연장 케이블의 Agilent Varrain 부품 번호는 9699941이며 벤트 밸브 Agilent Varian 부품 번호 PN 9699844와 함께 자주 사용됩니다. 아래 다운로드 섹션에서 사용 가능한 지침 매뉴얼을 참조하십시오. 다음 터보 펌프 모델과 함께 작동합니다. TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS

터보분자 펌프용 Viton O-링이 포함된 Agilent Varian 수동 수동식 배기 밸브. Agilent Varian 부품 번호 PN: X3502-68005. 터보분자 진공 펌프용 Agilent Varian 수동 수동식 배기 밸브 장치에는 Viton O-링이 포함되어 있습니다. 쉽게 회전할 수 있도록 표면에 널링이 있습니다. 환기 밸브와 환기 장치를 사용하면 펌프의 원치 않는 환기를 방지할 수 있습니다. Agilent Varian 부품 번호 X3502-68005. 모델을 포함한 대부분의 Agilent Varian 터보 펌프에 적합: TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM에는 7/16 및 1/4 Swagelok 피팅이 있으며 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 맞습니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699236. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유속을 가지며 7/16 및 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 대부분의 중간 크기의 퍼지 가스 공급 라인에 삽입되도록 설계되었습니다. 터보분자 진공 펌프. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9236이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM 1/4 Swagelok x M12, 대부분의 중간 크기 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699240. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유속, 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 가지며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보 분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. . 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9240이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM KF-16 x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699241. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유량과 KF-16 가스 공급 장치를 갖추고 있으며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9241이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM 1/4 Swagelok x M12, 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 적합합니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699242. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유속, 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 가지며 M12 배출 포트 나사산이 있는 대부분의 중간 크기 터보 분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. . 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9242가 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 10 SCCM에는 7/16 및 1/4 Swagelok 피팅이 있으며 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 맞습니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699232. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 10 SCCM 유속을 가지며 7/16 및 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 대부분의 중간 크기의 퍼지 가스 공급 라인에 삽입되도록 설계되었습니다. 터보분자 진공 펌프. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9232가 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001

Agilent Varian 터보 퍼지 밸브, 20 SCCM에는 7/16 및 1/4 Swagelok 피팅이 있으며 대부분의 중형 애질런트 터보분자 진공 펌프에 맞습니다. Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699236. 이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유속을 가지며 7/16 및 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 대부분의 중간 크기의 퍼지 가스 공급 라인에 삽입되도록 설계되었습니다. 터보분자 진공 펌프. 환기 포트의 두 번째 및 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하십시오. 지침은 247페이지의 TwisTorr 305 FS 매뉴얼에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 미립자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 펌프로 이동합니다. 모든 밸브는 정확하고 작은 누출률을 제공하기 위해 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 만들어졌으며 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있습니다. 이는 미립자, 분말 및 액체가 얇은 구멍으로 들어와 막히는 것을 방지하기 위한 것입니다. 밸브의 각 버전은 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 부분 압력이 최대 10-5mbar일 때 약한 부식성 작동을 위한 작은 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm)(분석 기기, 이온 주입기) - 부식성 가스의 부분 압력이 >10-5mbar일 때 심한 부식 작업(에칭, CVD)에 대한 대규모 누출(1000mbar에서 ~ 20sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공측 압력에 의존하지 않으므로 주의해 주십시오. 이러한 터보 퍼지 밸브에는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9236이 있습니다. 다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다.TwisTorr 74 FS TwisTorr 84 FS TwisTorr 305 FS TwisTorr 305-IC TwisTorr 404 FS TwisTorr 704 FS TwisTorr 804 FS Turbo-V 1001