XGS-600 다중 게이지 진공 컨트롤러용 새로운 Varian Agilent Hot Filament Ion Gauge(HFIG) 카드, Agilent Varian 부품 번호 R3075301 이것은 핫 필라멘트 이온 게이지 HFIG 보드이며 모든 Varian 핫 필라멘트 게이지와 누드 UHV 유형을 포함하여 사용 가능한 대부분의 다른 Bayard-Alpert 유형 핫 필라멘트 이온화 게이지를 작동합니다. 이 보드는 모든 Varian 핫 필라멘트 게이지에 대해 설정할 수 있으며 게이지 방출 전류, 감도 값 및 가스 보정 계수를 설정할 수 있습니다. UHV 범위 및 E-빔 디가스(degas)는 이중 필라멘트 제어, 방출 및 필라멘트 선택에 대한 원격 I/O 제어, 0~10V 아날로그 출력과 마찬가지로 표준입니다. 이 이중 대류 카드와 함께 다른 카드도 사용할 수 있습니다.
10-3부터 10-10까지의 고진공부터 초고진공까지의 범위에서 다음 게이지와 호환됩니다.
- 563(HV)
- 564 (HV)
- 571 (HV)
- 572 (HV)
- MBA-100, MBA-200(HV)
- UHV-24, UHV-24p(UHV)
- 경쟁사 게이지와도 호환됩니다(아래 상호 참조는 XGS-600 지침/사용자 설명서 .pdf 페이지 2-4 참조).
이것은 HFIG(Hot Filament Ion Gauge) 전용입니다. 전체 보드 사양/설명은 아래 XGS-600 지침/사용자 설명서.pdf 페이지 A-3을 참조하십시오. XGS-600 컨트롤러, 기타 카드, 게이지 및 케이블은 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다.
PCB 보드/카드 설치: 추가 카드 설치 절차:
- XGS-600 컨트롤러 전면에서 볼 때 슬롯 번호는 왼쪽에서 오른쪽으로 지정됩니다.
- 옵션 슬롯 1-4는 길고 높은 프로필 슬롯이며 모든 카드/보드를 수용할 수 있습니다. HFIG 보드는 긴 하이 프로파일 카드이며 슬롯 1-4에만 설치할 수 있습니다.
- 옵션 슬롯 5-6은 짧고 로우 프로파일 슬롯이며 다음 제한 사항이 있는 대류 또는 IMG 보드만 수용할 수 있습니다. 슬롯 4에 다른 보드가 설치된 경우 슬롯 5에 IMG 보드를 설치할 수 없습니다. 슬롯 5에 다른 보드가 설치된 경우 슬롯 6에 IMG 보드를 설치할 수 없습니다.
추가 카드의 현장 설치에 대한 자세한 설명은 사용 가능한 다운로드로 스크롤하여 .pdf(교체 카드 지침 시트 .pdf 및 진공 측정 브로셔 .pdf 11페이지)를 참조하세요.