iH 펌프 및 기타 시리즈 Edwards 펌프용 Edwards iTIM MCM 및 L1 게이트 밸브 제어.
PN D37422000
iTIM은 병렬 디지털 인터페이스를 사용하여 공정 도구로 iH 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. iTIM에는 다양한 고급 기능이 있습니다.
• 각 iTIM에서 최대 3가지 유형의 도구 인터페이스를 위한 디지털 연결.
• 펌프 후면에 편리하게 장착할 수 있으며 신속한 2점 고정이 가능합니다.
• AUC 기능을 쉽게 사용자 정의할 수 있도록 구성 가능한 연결성.
• 이 모듈에는 게이트 밸브 제어가 표준으로 포함되어 있습니다.
• iTIM에는 특정 공정이나 레시피와 관련된 펌프 설정점을 저장할 수 있는 설정점 저장소가 있습니다. 이러한 설정값은 전원을 켤 때 펌프에 자동으로 로드되며, 펌프 교체 시 새 펌프도 포함됩니다.
이러한 모듈이 이미 존재하는 경우 프로세스 도구 또는 기타 제어 장비를 통해 펌프를 제어하고 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 예를 들어 인터페이스 모듈을 변경하지 않고도 펌프를 iH에서 iHs로 업그레이드할 수 있습니다. 그러나 iTIM은 iM 모듈에 비해 향상된 성능을 제공합니다. 예를 들어 전체 AUC 기능은 iTIM을 통해서만 사용할 수 있습니다. iTIM은 모든 신규 설치에 권장됩니다. 자세한 지침은 505-872-0037로 전화해 주세요.