MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 피에조 변환기, KF16, RS485, PN 910-12030 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/절대 피에조 진공 변환기는 광범위한 압력 측정 응용 분야를 위해 특별히 설계되었으며 크기는 NW16 ISO- KF 플랜지 피팅. 결합된 출력은 기존 열전도율 게이지보다 훨씬 더 높은 정확도, 안정성, 반복성 및 더 빠른 응답 시간을 제공합니다. 910은 두 가지 압력 측정 기술을 결합하여 뛰어난 성능과 기능을 제공합니다. 910은 열전도율 센서에 비해 정확도가 향상된 11~1500Torr의 가스 독립적인 절대 압력 측정 기능을 제공합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani의 센서 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. MicroPirani 기술의 결과로 910은 표준 Pirani 센서보다 20년 낮은 10-5 Torr까지 압력을 읽을 수 있습니다. 센서 설계는 대류 영향을 최소화하므로 910은 정확성을 저하시키지 않고 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다. 피에조(Piezo)는 절대 압력 센서로, 직접 압력 판독값을 제공하여 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 피에조 센서는 1Torr 미만에서 1500Torr까지 측정합니다. 910에는 변환기 매개변수를 설정하고 실시간 압력 측정을 제공하기 위한 RS485 디지털 통신 인터페이스가 있습니다. 910에는 압력 판독 또는 제어를 위해 외부 아날로그 장비와 인터페이스할 수 있는 1VDC/10년의 아날로그 압력 출력도 있습니다. 다른 아날로그 출력 및 곡선은 디지털 사용자 인터페이스를 통해 선택할 수 있습니다. 910에는 프로세스 제어에 사용할 수 있는 세 개의 기계적 릴레이(예: 연동 차단 밸브 및 진공 펌프)가 있습니다. 각 설정점은 압전 측정 또는 결합된 절대 MicroPirani/Piezo 측정에 할당될 수 있습니다. 910의 컴팩트한 디자인은 진공 게이지가 차지하는 공간을 크게 줄여줍니다. 이는 시스템 설계자에게 특히 매력적이며 보다 컴팩트한 진공 시스템을 가능하게 합니다.

MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani 절대 피에조 변환기, KF16, RS232, PN 910-11 HPS® 시리즈 910은 Pirani 및 Piezo의 압력 측정 기술과 통합 전자 제어 회로를 결합한 이중 센서 변환기입니다. 변환기 측정 범위는 10-5 ~ 1,500 Torr입니다. Piezo는 직접 판독 가능한 절대 압력 센서로, 가스와 무관하게 측정할 수 있습니다. 센서에는 고유한 온도 보상 기능이 포함되어 있어 넓은 측정 범위에 걸쳐 높은 정확도를 제공합니다. Piezo는 10-1에서 1,500 Torr까지 측정합니다. MicroPirani는 압력이 10-2 Torr 미만일 때 Piezo에 자동 영점 기능을 수행합니다. 기존 Pirani 게이지와 달리 MicroPirani™의 요소는 1mm 정사각형 실리콘 칩으로 만들어져 매우 작은 부피로 측정이 가능합니다. 기존 Pirani 센서의 측정 범위는 10-3 ~ 약 100Torr이며, 10Torr 이상에서는 감도가 급격히 떨어집니다. MicroPirani™의 감지 부분 크기가 매우 작기 때문에 감지 범위는 10-5 Torr까지입니다. 대류 영향을 최소화하도록 설계되어 정확성을 저하시키지 않고 어느 위치에서든 작동이 가능하므로 설치가 간편합니다. 변환기에는 압력이 10-5 Torr 미만일 때 사용할 수 있는 푸시 버튼 영점 제어 기능이 포함되어 있습니다. Series 910 디지털 통신을 사용하면 호스트 컴퓨터를 통해 모든 조정 및 모니터링을 실시간으로 전달할 수 있습니다. 910에는 RS485 또는 RS232 통신이 표준 기능으로 포함되어 있습니다. Series 910은 수형 15핀 고밀도 D-sub 커넥터에서 1~9V DC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 변환기 출력은 두 센서 사이에서 평활화되고 5~15Torr 범위의 두 센서에서 판독됩니다. 프로세스 제어를 위해 910에는 3개의 독립적인 릴레이 설정점이 있습니다. 디지털 포트를 통해 설정점의 기능을 설정, 조정 및 모니터링할 수 있습니다. 모든 열전도 센서와 마찬가지로 MicroPiraniTM은 가스 유형에 민감합니다. Piezo는 가스 유형에 관계없이 측정합니다. 910은 Piezo와 MicroPirani™ 간의 차등 판독값을 측정하는 디지털 누출 감지 출력을 제공합니다. 이는 진공 시스템에서 중간 정도에서 미세한 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 전원 공급 장치와 디스플레이가 모두 필요한 고객은 이 웹사이트에서 판매되는 PDR900 시리즈 컨트롤러와 함께 910 DualTrans를 사용할 수 있습니다. 전체 사양 및 작동 정보는 아래의 사용 가능한 다운로드를 참조하세요. 사양 및 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다. HPS® 및 MicroPirani™는 등록 상표입니다. MKS Instruments, Inc.Options, (PN) 부품 번호 및 가격: NEW MKS HPS® 시리즈 910 DualTrans™ Micropirani Absolute Piezo 변환기 PN 910-11ISO-KF NW 16, RS-232, PN 910-11, 2009 가격 $635ISO-KF NW 16, RS-485, PN 910-12, 2009 가격 $6354 VCR-F, RS-232, PN 910-41, 2009 가격 $6654 VCR-F, RS-485, PN 910-42, 2009 가격 $6658 VCR-F, RS-232, PN 910-51, 2009 가격 $6708 VCR-F, RS-485, PN 910-52, 2009 가격 $670 모든 가격은 예고 없이 변경될 수 있습니다.

시리즈 900 변환기용 MKS PDR900 진공 게이지 컨트롤러 MKS PDR900 전원 공급 장치 및 판독 장치는 시리즈 900 디지털 진공 변환기와 함께 사용하기 위한 독립형 단일 채널 컨트롤러입니다. 이 기기는 진공 게이지 컨트롤러에 대한 새로운 표준을 설정하고 독립형 전원 공급 장치 판독 장치로 사용하거나 OEM 애플리케이션에서 시스템 통합 변환기의 구성, 교정 및 진단을 위한 도구로 사용할 수 있습니다. PDR900 컨트롤러는 진공 측정, 디지털 변환기 구성 및 고급 시스템 진단을 위한 이상적인 솔루션입니다. 컨트롤러는 원격 변환기 매개변수의 설정 및 구성을 통해 사용자를 안내하는 사용하기 쉬운 메뉴 기반 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 판독 장치는 변환기 케이블을 통해 아날로그 측정 노이즈 커플링을 제거하는 변환기와 디지털 방식으로 통신합니다. 장치는 900 시리즈 변환기 유형을 자동으로 감지하며 RS232 및 RS485 변환기와 함께 사용할 수 있습니다(909/909A 또는 903 아날로그 변환기와 호환되지 않음). 전체 사양 및 작동 정보는 아래에서 사용 가능한 다운로드를 참조하세요.

MKS 910 및 925 MicroPirani 변환기에 이상적인 진공 AC 전원 공급 장치 어댑터, 120VAC를 12VDC로 변환, 15핀 연결, 6피트(1.8m) 케이블 길이. 이러한 Ideal Vacuum AC 범용 전원 공급 장치 벽 변압기는 MKS Granville-Phillips® 275 Mini-Convectron® 모듈식 진공 압력 변환기용 또는 디스플레이가 내장된 MKS Granville-Phillips 900 시리즈 변환기용입니다. 이 케이블은 50-60Hz, 120-240VAC를 12VDC로 변환하고 15핀 연결을 통해 연결됩니다. 케이블 길이는 1.8m(6피트)입니다.