예어 부품 번호:
Sale: $11,008,148.02
12"x12"x20" 챔버 사양 | |
내부 챔버 크기 | 약 12x12x20인치(약 30.5x30.5x50.8cm) |
포트에는 다음이 포함됩니다. | 1x ISO100 1x ISO63, 1x KF40, 2x KF25, 1x KF16 |
챔버 재료 | 304 스테인레스 스틸 |
무게 | 도어 제외 48kg(105파운드) |
용량 | 1.66큐빅 피트(47리터) |
힌지형 전면 도어 | 스테인레스 스틸 |
궁극의 압력 | 1x10 -7 Torr(적절한 컨디셔닝을 통해 3x10 -8 Torr까지 감소) |
누출 테스트 완료 | (헬륨) ~ 1x10 -8 atm cc/sec |
작동 온도 범위(Viton 씰) | -15°~150°C(5°~302°F) |
리드타임 | 1~2주(7~14일) |
추가 포팅 옵션 또는 확장된 온도 범위에 대한 문의 추가 코팅 옵션 요청 |
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