예어 부품 번호:
Sale: $20,672,952.85
20"x20"x28" 챔버 사양 | |
내부 챔버 크기 | 약 20x20x28인치(약 51x51x71cm) |
포트에는 다음이 포함됩니다. | 1x ISO160 1x ISO63, 2x KF40, 2x KF25, 1x KF16 |
챔버 재료 | 304 스테인레스 스틸 |
무게 | 166kg(365파운드)(도어 제외) |
용량 | 6.48큐빅 피트(184리터) |
힌지형 전면 도어 | 알루미늄, 스테인레스 스틸 또는 내장형 관측 포트 |
궁극의 압력 | 1x10 -7 Torr(적절한 컨디셔닝을 통해 3x10 -8 Torr까지 감소) |
누출 테스트 완료 | (헬륨) ~ 1x10 -8 atm cc/sec |
작동 온도 범위(Viton 씰) | -15°~150°C(5°~302°F) |
리드타임 | 1~2주(7~14일) |
추가 포팅 옵션 또는 확장된 온도 범위에 대한 문의 추가 코팅 옵션 요청 |
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