새로운 Edwards EPX 500LE 고진공 1차 건식 진공 펌프 400VAC 3PH. 3/8인치 워터 커넥터 ISO 160 입구 - 부품 번호 A41953714 - MCM TIM 포함

도구 인터페이스 모듈(TIM) 고진공 드라이펌프를 갖춘 새로운 소형 EPX500LE는 소유 비용을 절감하면서 향상된 성능을 제공합니다. 고유한 특허 보호 메커니즘을 사용하여 EPX500LE는 대기에서 7 x 10-7 Torr 미만의 최종 압력까지 펌핑할 수 있습니다. 정말 놀라운 펌프입니다. Edwards EPX 펌프는 대기에서 터보분자 압력 범위까지 펌프다운할 수 있으며 모든 입구 압력에서 지속적으로 작동할 수 있습니다. 수상 경력이 있는 성공적인 IPX 제품군을 기반으로 하는 모듈형 EPX500은 IPX보다 20% 더 가볍고, 30% 더 작고, 40% 더 적은 전력을 필요로 하는 패키지로 뛰어난 성능을 제공합니다. EPX LE 시리즈 펌프에는 최종 사용자 컨트롤러(EUC)가 있습니다. 최종 사용자 컨트롤러를 사용하면 독립형 사용을 위한 로컬 제어는 물론 원격 제어 및 모니터링을 위해 Fab 전체 네트워크에 연결할 수 있습니다. EPX 펌프 시스템은 펌핑 챔버에 윤활유 또는 밀봉 유체 없이 대기압과 최대 진공 사이의 압력에서 작동합니다. 이는 오일이나 유체가 대피 중인 시스템으로 역이동하지 않고 깨끗한 펌핑 시스템을 보장합니다.

펌프의 고정자와 밀폐된 모터는 통합된 수냉식 회로에 의해 냉각됩니다. 따라서 EPX 펌프는 팬 냉각이 허용되지 않는 클린룸 환경의 응용 분야에 적합합니다. 냉각수 공급 및 회수 파이프라인은 물 커넥터(고객 지정)를 통해 펌프에 연결됩니다. 냉각수는 이슬점에 도달하지 않도록 환경 조건(습도 및 온도)에 비례해야 합니다. 펌프에는 EMC 공급 필터와 펌프-모터에 대한 전기 공급을 제공하고 제어하는 인버터 드라이브가 통합되어 있습니다. 전면 커버의 LED는 EPX 펌프의 상태를 식별합니다. 모터 속도는 펌프 흡입구의 압력에 따라 달라집니다. 펌프가 대기압 또는 대기압에 가까운 입구 압력으로 시동되면 모터는 인버터 드라이브에서 공급할 수 있는 전류에 의해 제한되는 속도까지 가속됩니다. 흡입구의 압력이 감소함에 따라 모터 속도는 결국 미리 설정된 최대 속도에 도달할 때까지 증가합니다. 흡입구의 압력이 증가하면 모터 속도가 다시 느려집니다.

EPX LE 펌프 시리즈는 EUC(최종 사용자 제어) 로컬 디스플레이 및 키패드를 사용하여 수동으로 작동하거나, 장착된 경우 PDT(펌프 디스플레이 터미널)를 사용하여 원격으로 작동할 수 있습니다. 또한 네트워크 커넥터를 통해 EPX 펌프에 연결되는 네트워크를 통해 제어 및 모니터링할 수도 있습니다. EPX LE 시리즈 펌프가 도구 인터페이스 모듈(TIM)을 통해 제어되면 EUC는 단순히 펌프의 상태를 모니터링합니다. EPX 펌프는 Fabworks 32와 호환됩니다. EPX에는 4개의 진동 절연 장치가 있습니다. 펌프 보호 센서는 결함 상태가 발생하면 자동으로 펌프를 차단합니다. EPX 시리즈는 웨이퍼 핸들링부터 중간 작업 프로세스까지 광범위한 응용 분야를 포괄합니다. EPX 'LE' 시리즈는 로드록과 같은 불활성 가스 혼합물을 펌핑하는 청정 작업 응용 분야에 사용하도록 설계되었으며, 이에 따라 프로세스 도구 인터페이스에서 제어가 제공됩니다. 옆면에 있는 사용 설명서를 다운로드하세요.