식각기, CVD, PVD 및 이온 주입기용 Galden HT-270 열 전달 유체, PFPE 유체, 5kg 병. GALDEN HT는 끓는점이 55°C ~ 270°C 범위인 유전체 유체 제품군입니다. 뛰어난 유전 특성, 높은 화학적 안정성과 매우 낮은 온도 및 높은 온도에서 작동할 수 있는 능력이 결합되어 반도체 및 전자 산업에서 사용되는 열악한 조건에 가장 적합한 열 전달 유체입니다. 여기에서 5kg(11lbs) 용기로 판매되는 Galden HT-270은 부품 침지, 웨이퍼 에칭, 이온 주입, 레이더 장비, 변압기, 전원 공급 장치, UF6 생산, 냉각기, 냉각탑 및 동결 건조기와 관련된 응용 분야에 사용됩니다. Galden HT-270의 작동 온도 범위는 최대 섭씨 270도(°C)입니다.
특징
- 유체에는 끓는점이 70°C에서 270°C 사이인 9개의 냉각제가 포함되어 있습니다.
- 과불소화 불활성 폴리에테르는 산화 및 열 분해에 대한 저항성이 높습니다.
- 금속, 세라믹, 플라스틱, 엘라스토머와 호환 가능
- 유체는 점도가 낮고 분자 구조에 수소가 없으며 수분 흡수율이 낮습니다.
- 직접 침수 냉각 및 간접 냉각 응용 분야에 사용하기에 탁월합니다.
- 불연성, 무독성이며 환경에 안전합니다.