에칭기, CVD, PVD 및 이온 임플란트용 Galden HT-110 열전달 유체, 5kg 병, PFPE 유체, 비등점 110도 C. Galden HT는 비등점이 110°C인 유전체 유체 계열입니다. 탁월한 유전 특성, 높은 화학적 안정성과 매우 낮은 온도와 높은 온도에서 작동할 수 있는 용량이 결합되어 반도체 및 전자 산업에서 사용되는 공격적인 조건에 가장 적합한 열 전달 유체입니다. 5kg(11.0파운드) 용기로 판매되는 Galden HT-110은 구성 요소 침지, 웨이퍼 에칭, 이온 이식, 레이더 장비, 변압기, 전원 공급 장치, UF6 생산, 냉각기, 냉각탑 및 동결 건조기가 있는 응용 분야에 사용됩니다. Galden HT-110의 작동 온도 범위는 -60~110도 섭씨(°C)입니다.
특징
- 유체에는 끓는점이 70°C~270°C인 9가지 냉각수가 포함되어 있습니다.
- 과불화 불활성 폴리에테르는 산화 및 열 분해에 대한 높은 저항성을 가지고 있습니다.
- 금속, 세라믹, 플라스틱, 엘라스토머와 호환 가능
- 유체는 점도가 낮고 분자 구조에 수소가 없으며 수분 흡수율이 낮습니다.
- 직접 침지 냉각 및 간접 냉각 응용 분야에서 사용하기에 매우 좋습니다.
- 불연성, 무독성이며 환경에 안전합니다.