설명

이것은 고진공 공정에 이상적이며 안정성과 사용 편의성을 위해 최적화된 고진공 ExploraVAC TVAC 진공 테스트 챔버 시스템입니다. 이는 대형 20인치 큐브 용접 스테인리스 스틸 진공 챔버, 뷰포트가 있는 힌지 스테인리스 스틸 도어, 4.6입방피트의 부피를 특징으로 하는 완전히 통합된 턴키 방식의 고진공 시스템입니다. 이 시스템에는 Pfeiffer HiPace 300 터보분자 펌프, Edwards nXDS20i 건식 스크롤 진공 펌프, 황삭 및 고진공 챔버 압력 측정을 제공하는 통합 마이크로 이온 및 Convectron 게이지 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 이 고진공 ExploraVAC TVAC 시스템은 1x10 ^-7 Torr의 최종 압력에 도달할 수 있고 무게는 862lbs.이며 단상 208-240VAC, 50/60Hz, 19A가 필요합니다.

고진공 챔버는 많은 과학 및 산업 공정에 사용됩니다. 특히 전자 또는 기타 하전 입자 빔이 사용될 때 많은 과학적 계측이 진공 상태에서 수행됩니다. 진공 스퍼터링, 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD)과 같은 정밀 진공 코팅 공정은 반도체나 정밀 연삭 광학 기판에 매우 얇은 광학 코팅이나 보호 코팅을 적용하는 데 사용됩니다. 정밀한 반도체 식각 공정에도 고진공이 필요합니다. 고진공을 사용하면 이미징 목적을 위한 동결 건조 생물학적 시료와 같이 극도로 차가운 시료에서 변형 없이 물이나 기타 잔류 증기를 제거할 수 있습니다. 우주 공간에서 느껴지는 극저압에 노출되었을 때 가스가 배출되지 않는지 확인하기 위해 우주용 구성 요소나 장치를 테스트하려면 고진공이 필요합니다. 모든 옵션의 성능 데이터는 아래 성능 그래프 PDF 다운로드를 참조하세요.

ExploraVAC 고진공 시스템 구성:

20인치 큐브 용접 스테인레스 스틸 챔버
뷰포트가 있는 스테인레스 스틸 전면 챔버 도어
Pfeiffer HiPace 300 터보분자 펌프
Edwards nXDS20i 건식 스크롤 진공 펌프
QTY2 LF-200 측면 포트(챔버 양쪽에서 다양한 피드스루 추가 가능)

TVAC 열진공 챔버 프로세스 및 테스트 장비의 ExploraVAC 시리즈는 작업자가 내부 챔버 압력과 온도를 완벽하게 제어할 수 있는 정밀한 환경을 조성합니다. 혁신을 염두에 두고 제작되었습니다. 이를 통해 제품 연구 및 개발 단계에서 진공 상태에서 프로토타입 장치를 탐색하고 소규모 배치 처리에서 정밀한 공정 제어가 가능합니다. 이러한 열진공 테스트 챔버 장비는 제품이 진공 및 온도라는 극심한 스트레스 요인에 노출될 때 사용자가 제품 분석 및 진단 데이터를 수집하기 위해 실험을 신속하게 맞춤화할 수 있도록 설계되었습니다.

ExploraVAC TVAC 열진공 테스트 챔버는 사용 가능한 다양한 시스템 옵션으로 완벽하게 구성 가능합니다(위의 제품 구성 참조).

ExploraVAC 시스템 구성 옵션:

러핑 펌프(건식 스크롤 또는 건식 다단계 루트, 다양한 속도)
고진공(다양한 속도)
완전 진공 압력 제어
가열 및 냉각 압반
챔버 벽 가열
통합 챔버 조명
폐쇄 루프 냉동 또는 LN ₂ 극저온 냉각 시스템
자동화된 소프트웨어 제어
원격 제어 작동
퍼지 포트, 챔버 선반 등

(내부) 입방 크기(12, 16, 20 또는 24인치)의 용접 스테인리스 스틸 챔버 또는 (내부) 입방 크기(9, 12인치)의 Ideal Vacuum Cube™ 모듈식 챔버를 포함하여 ExploraVAC 에 다양한 진공 챔버를 사용할 수 있습니다. , 또는 24인치). 챔버는 뷰포트 유무에 관계없이 알루미늄 또는 스테인리스강 도어로 구성될 수 있습니다.

ExploraVAC TVAC 시스템 캐비닛에는 모든 챔버 기능을 제어하는 컬러 LED 푸시버튼 인터페이스가 있는 편리한 각도의 전면 패널 제어 표면이 있습니다. PID 컨트롤러와 게이지는 사용자가 선택한 옵션에 따라 필요에 따라 설치됩니다. PLC는 효율적인 펌프 다운 사이클을 위한 펌프 및 밸브 시퀀싱과 장비 손상 방지를 위한 안전 인터록을 포함한 시스템 기능을 관리합니다. 전면 접근이 가능한 내장형 NEMA 스타일 인클로저에는 시스템 작동에 필요한 전자 장치가 들어 있습니다.

넓은 LF-200 측면 포트는 장치 모니터링 또는 충격 테스트를 위한 전자 피드스루, 복사 가열 또는 온도 차이 테스트를 위한 적외선 램프 어레이 또는 이온화 방사선 테스트를 위한 자외선 램프 어레이와 같이 사용자가 선택하거나 설계한 액세서리에 사용할 수 있습니다. . 이 시스템은 캐비닛 외부에 장착된 추가 진공 펌프를 추가하여 원하는 상승률을 얻도록 맞춤화할 수 있습니다.

캐비닛 뒷면에는 챔버 환기, 펌프 배기 및 퍼지 가스 옵션을 위한 격벽 피드스루 패널이 있습니다. 디지털 피드스루 후면 패널에는 Auto Explorer ™ 소프트웨어를 사용하여 Microsoft Windows 10 또는 11을 실행하는 워크스테이션이나 노트북에서 원격으로 시스템을 실행하기 위한 DB9 커넥터를 포함한 여러 포트가 있습니다.

만료되지 않는 AutoExplor 기본 버전(P1012102)을 사용하면 사용자는 시스템을 보호하면서 장치를 수동으로 제어할 수 있습니다. AutoExplor는 펌프의 순서를 적절하게 지정하고 주어진 요청에 맞는 밸브를 자동으로 작동합니다. 사용자는 압력 및 온도 설정점, 램프 속도, 흡수 시간 및 환기(시스템에 해당 하드웨어 옵션이 장착된 경우)를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자가 시스템 동작을 시각화할 수 있도록 실시간 그래픽 데이터 스트리밍을 제공합니다. AutoExplor는 내부 예방 유지 관리 일정을 유지하고 시스템 서비스가 만료되면 사용자에게 알립니다. 예를 들어, 스크롤 펌프 팁 씰 교체가 필요한 시기와 센서 교정이 필요한 시기를 알려줍니다. 이는 시스템을 최고의 작동 성능으로 유지하는 데 도움이 됩니다. 또한 장치 오류가 발생한 경우 특정 문제 해결 정보와 함께 오류 및 오류 메시지를 제공하므로 문제가 최대한 빨리 해결될 수 있습니다.

AutoExplor 의 프리미엄 버전(P1012100)에는 기본 소프트웨어 패키지(위)의 모든 기능이 포함되어 있으며 자동화된 레시피 제어, 데이터 로깅 및 로그 내보내기 기능이 추가되었습니다. 복잡한 테스트 레시피는 단계별 프로세스로 생성할 수 있으며, 각 단계에서는 여러 장치의 켜짐/꺼짐 상태, 설정점 및 램프 속도를 제어할 수 있습니다. 논리 연산자를 사용하여 각 레시피 단계에 대한 하나 또는 여러 개의 종료 조건을 설정할 수 있습니다. 프리미엄 버전을 사용하면 사용자는 레시피 데이터 로그 파일에서 환경 TVAC 테스트 보고서를 빠르게 생성할 수 있습니다. 목표 프로세스 매개변수가 달성되었는지 확인하기 위해 로그를 검토할 수 있습니다. 프리미엄 버전에는 소프트웨어에 여러 외부 네트워크 클라이언트를 관리할 수 있는 호스트로 사용할 수 있는 기능을 제공하는 AutoExplor IP 클라이언트 와 과학자나 프로그래머가 ExploraVac 장비를 통합할 수 있는 AutoExplor API (응용 프로그래밍 인터페이스)도 포함되어 있습니다. AutoExplor의 소프트웨어 인터페이스를 사용하지 않고도 기존 소프트웨어 테스트 제품군을 사용할 수 있습니다. 프리미엄 버전은 매년 갱신해야 하며, 그렇지 않으면 기본 버전으로 되돌아갑니다.

TVAC 압력 및 온도 제어 테스트 챔버의 ExploraVAC 시리즈는 다양한 제품 테스트 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션입니다.

샘플 애플리케이션