이 소형 Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 인라인 밸브에는 회전 가능한 플랜지가 있는 CF 2-1/8" 입구 및 출구 포트가 있습니다. 주로 초고진공 범위(10 ^-10 Torr)에서 사용하도록 설계되었습니다. 누출률은 10 ^-11 Torr l/s(He)이지만 최대 60-80 psi의 양압까지 사용할 수 있습니다. 이 밸브는 304L 스테인레스 스틸 밸브 본체 및 메커니즘, 알루미늄 액추에이터로 구성되며 구리 보닛 씰이 있습니다. Super-Seal 밸브는 최대 100°C까지 구울 수 있습니다(밸브 본체만 해당).이 밸브는 어떤 방향으로도 장착할 수 있습니다.

이러한 소형 Super-Seal 밸브는 열려면 공기가 필요하며 스프링 폐쇄 메커니즘이 있습니다. 60~80psi 범위의 저용량 건조 압축 공기가 필요합니다. 자동으로 닫히기 때문에 안전 밸브로 유용하며 전원 또는 공기 공급이 중단될 경우 챔버 진공을 유지하기 위한 고장 방지 기능을 제공합니다.

밸브를 여는 공기 흐름은 단동 전기 작동 솔레노이드에 의해 제어됩니다. 12VDC, 24VDC, 110VAC 및 220VAC의 4가지 솔레노이드 전압 중에서 선택할 수 있습니다.

기계식 리드 스위치와 두 가지 트랜지스터 유형(NPN 및 PNP)을 포함하여 Super-Seal 밸브에 세 가지 위치 표시 센서를 사용할 수 있습니다. 각 센서에는 밸브 상태(열림 또는 닫힘)를 시각적으로 확인할 수 있는 LED가 있습니다. 이러한 센서는 보조 장치를 전환하거나 트리거하는 데에도 사용할 수 있습니다.

Super-Seal 밸브 제품군에는 3/4" OD 튜브(KF-16)부터 10" OD 튜브(ISO-K 250)까지 용접 가능한 튜브, KF, ISO-K 및 ConfFlat(CF) 플랜지 옵션이 포함됩니다. 많은 제품이 직각(90°) 및 인라인 버전으로 제공됩니다.

이 밸브는 가치가 높고 신뢰성이 매우 높아 반도체 제조, 플라즈마 물리학 연구, 핵 가속기와 같은 응용 분야에 유용합니다. 이는 진공 공정 자동화의 주요 구성 요소이며 평균 고장률(MTTF)이 100만 주기 이상입니다.

솔레노이드 및 위치 표시 센서는 별도로 판매됩니다.

기술 사양은 아래를 참조하고 공압 벨로우즈 밸브 및 액세서리의 Ideal Vacuum Super-Seal 제품군에 대한 전체 정보는 사용자 설명서를 다운로드하십시오.