MKS 937B 하프랙 조합 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동하며 카드, RS232 및 RS485(내장)가 없습니다. MKS 부품 번호: 937B-US-NANANA-NA. MKS 937B 디지털 조합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 937B 컨트롤러는 다양성, 신뢰성 및 경제성을 위해 설계되었습니다. 크고 읽기 쉬운 액정 디스플레이는 최대 6개의 센서에 대한 판독을 동시에 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 컨트롤러를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에 있는 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다. 설정점: 독립적으로 조정 가능한 12개의 설정점이 표준입니다. 이를 통해 프로세스 관련 기능을 자동화할 수 있습니다. 설정점 값은 비휘발성이며 전원이 꺼지거나 정전된 후에도 변경되지 않습니다. 채널 설정 화면에서 쉽게 확인하고 구성할 수 있습니다. 937B에는 또한 원하는 압력에서 냉음극 또는 열음극 게이지의 전원을 끄거나 켜서 센서의 수명을 연장하는 조정 가능한 제어 설정점이 포함되어 있습니다. 누출 테스트: 누출 테스트 모드에는 시스템 내 누출 위치를 찾는 데 도움이 되는 막대 그래프와 가변 음향 경고가 포함되어 있습니다. 이 기능은 냉음극, 열음극, 피라니 및 대류 센서와 함께 작동합니다. 이는 추적 가스 감도의 차이를 활용함으로써 대규모 시스템 누출 위치를 찾는 데 도움이 되는 탁월한 도구를 제공합니다. 아날로그 출력 신호: 컨트롤러는 후면 패널 커넥터에서 액세스할 수 있는 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 세 가지 유형의 아날로그 신호를 사용할 수 있습니다. 가장 빠른 응답 시간을 제공하기 위해 처리되지 않은 아날로그 신호가 사용됩니다. 로그 출력 전압은 0.6V가 10년 압력과 동일하도록 조정됩니다. 조합 출력은 10-11 ~ 20,000 Torr의 결합 범위로 최대 3개의 센서를 결합하여 생성할 수 있습니다. 디지털 신호: 아날로그 출력 외에도 937B는 RS232 또는 RS485용 내장 연결을 통해 직접적인 컴퓨터 통신을 위해 디지털 방식으로 통신합니다. 937B 섀시의 통신 슬롯에는 옵션 Profibus DPV1 보드를 수용합니다. 937B는 이들 포트 중 하나를 사용하여 호스트 컴퓨터와 통신할 수 있습니다. 설정점 원격 제어 및 냉음극 고전압 비활성화는 통신 옵션에서 사용할 수 있는 많은 기능 중 일부입니다. MKS 937B용 신호 케이블과 옵션 카드는 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 정전용량 압력계 및 피에조, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100015267. MKS 진공 센서 카드는 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러가 있는 정전용량 압력계 및 피에조 센서를 지원합니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16, PN 626D.1TDEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, KF-16 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 626D.1TDE인 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 ConFlat CF 1.33인치 플랜지, 626D.1TCEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. . ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 626D.1TCE. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 1 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16, PN 626D01TDEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, KF-16 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 626D01TDE인 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 10 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16, PN 626D11TDEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 10Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, KF-16 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 626D11TDE인 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 10 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR 8 암, PN 626D11TBEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 10Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 626D11TBE가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 20 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR 8 암, PN: 626D21TBEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 20Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 626D21TBE가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 100 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16. MKS 부품 번호: 626D12TDE. MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전용량 압력계는 최신 아날로그 정전용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 100Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, KF-16 진공 플랜지 연결을 갖추고 MKS 부품 번호가 626D12TDE인 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 100 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR 8 암, PN 626D12TBEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 100Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 626D12TBE가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 1000 Torr Baratron 절대 정전용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16, PN 626D13TDE. MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전용량 압력계는 최신 아날로그 정전용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1000Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, KF-16 진공 플랜지 연결을 갖추고 MKS 부품 번호 626D13TDE를 갖는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 1000 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR 8 암, PN 626D13TBEMKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조절 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1000Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 626D13TBE가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 626D 1000 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 ConFlat CF 1.33인치 플랜지, PN 626D13TCE MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1000Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 626D13TCE. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 627H 0.02 Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.25%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627HU2TBE1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.02Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암형 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.25%, MKS 부품 번호 627HU2TBE1B가 있습니다. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 0.05 Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.15%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627HU5TBD1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.05Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암형 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.15%, MKS 부품 번호 627HU5TBD1B가 있습니다. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 0.1Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.15%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: : 627H.1TBD1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 0.1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.15%, MKS 부품 번호: 627H.1TBD1B. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 1 Torr 가열 45 °C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.12%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H01TBC1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.12%, MKS 부품 번호 627H01TBC1B가 있습니다. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 10 Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.12%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H11TBC1B. 627H Baratron® 정전식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 10Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.12%, MKS 부품 번호 627H11TBC1B가 있습니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 100Torr 가열 45°C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.12%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H12TBC1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C로 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 100Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암형 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.12%, MKS 부품 번호 627H12TBC1B가 있습니다. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 627H 1,000 Torr 가열 45 °C, 절대 바라트론 용량 압력계, 진공 피팅 VCR 8 암, 판독 정확도 0.12%, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H13TBC1B. 627H Baratron® 용량식 압력계는 45°C까지 가열되고 판독값의 0.12%까지 정확하며 업데이트된 온도 제어 전자 장치를 포함하여 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전용량 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용할 수 있도록 최대 20mTorr(0.03mbar)까지의 전체 규모 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 용량식 압력계 기술을 기반으로 센서의 젖은 표면은 부식성 가스에 대한 탁월한 내성을 위해 Inconel®로 제작되었습니다. 현대적인 스테인레스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 상호 교환 가능하며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 이 목록은 45°C까지 가열되고 스레드 잠금 기능이 있는 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1,000Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, VCR 8 암형 진공 플랜지 연결이 있는 MKS 유형 627H 정전용량 압력계용입니다. , 수직 교정을 통해 판독 정확도 0.12%, MKS 부품 번호 627H13TBC1B가 있습니다. 호환 가능한 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 탁월한 장기 안정성 낮은 압력 범위에서 보다 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도(%) 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 낮은 전체 스케일 범위 모든 인코넬 부식 방지 습식 표면 더 빠른 예열 시간 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환 가능 총 압력을 독립적으로 직접 측정 향상된 신뢰성을 위한 높은 과압 등급 클린룸 호환 스테인리스강 패키지

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100007555. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계에 연결합니다. 9핀 유형 D 초소형 커넥터와 15핀 유형 D 초소형 커넥터가 있습니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계(7.5m)에 연결합니다. 긴. MKS 부품 번호: 100007556. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계에 연결합니다. 9핀 유형 D 초소형 커넥터와 15핀 유형 D 초소형 커넥터가 있습니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전용량 압력계, 압력 범위 1 Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C01TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어를 통해 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 1Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 722C01TCD2FA인 MKS 유형 722C 범용 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능의 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전용량 압력계, 압력 범위 10 Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C11TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어로 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10 Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 10Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 722C11TCD2FA인 MKS 유형 722C 범용 정전 용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능의 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 100Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C12TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어로 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10 Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 100Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 722C12TCD2FA인 MKS 유형 722C 범용 정전 용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능의 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 1,000Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C13TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어를 통해 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 1,000Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 722C13TCD2FA가 있는 MKS 유형 722C 범용 정전 용량 압력계에 대한 것입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전용량 압력계, 압력 범위 5,000Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C53TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어로 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10 Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 5,000Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 722C53TCD2FA인 MKS 유형 722C 범용 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 10,000Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C14TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어를 통해 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 10,000Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 722C14TCD2FA가 있는 MKS 유형 722C 범용 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능의 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 722C 범용 Baratron 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 20,000Torr, VCR 4 진공 피팅, 9핀 유형 D 커넥터, PN 722C24TCD2FA. 오늘날의 프로세스 환경에는 더 저렴한 비용으로 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 제공하는 소형 압력 측정 장비가 필요합니다. MKS는 정전용량 압력계 설계 및 제조 기술에 대한 전문 지식을 소형 722C 범용 절대 Baratron® 정전용량 압력계 개발에 적용했습니다. 722C의 유연한 설계 덕분에 개조 애플리케이션은 물론 새로운 장비 설계에도 이상적인 솔루션이 됩니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 스파이크로 인한 오류를 줄입니다. 모든 센서 접촉 표면은 Inconel®로 제작되어 다양한 공정 가스와의 호환성을 극대화합니다1. 정교한 기술과 엄격한 프로세스 제어를 통해 모든 젖은 표면에서 깨끗하고 매끄러운 마감(=10Ra)을 보장합니다. 신호 조절 회로는 표면 실장 기술의 최신 기술을 사용하여 조립됩니다. 모든 변환기에는 2년 보증이 제공됩니다. 이 목록은 9핀 D 초소형 신호 커넥터, 20,000Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독값, VCR 4 암 진공 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호 722C24TCD2FA가 있는 MKS 유형 722C 범용 정전용량 압력계용입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적인 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM) , 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0 ~ 10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도 45psia의 과압 한계 또는 2x 풀 스케일(둘 중 더 큰 것)은 제로 반복성 또는 성능 저하가 없음을 보장합니다. 모든 젖은 센서 표면은 =10 Ra로 미세 마감되어 부식 성장을 위한 포함 부위가 제거됩니다. 더 작은 압력계 크기는 전체 시스템 크기 감소에 도움이 됩니다. 금속, 전체 용접 구조로 인코넬과 스테인리스강만 매체에 노출됨 이전 722 Baratron 용량식 압력계와 호환되는 드롭인 교체

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 722 압력계에 연결하고, DB9 수 - DB9 암, 길이 10피트(3m)입니다. MKS 부품 번호: 100016951. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 시리즈 722 정전용량 압력계에 연결합니다. 9핀 타입 D 초소형 커넥터가 있습니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 722 압력계에 연결하고, DB9 수-DB9 암, 25피트(7.5m)를 연결합니다. 긴. MKS 부품 번호: 100016952. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 Series 722 압력계에, DB9 Male을 DB9 Female에 연결합니다. 9핀 타입 D 초소형 커넥터가 있습니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 이중 대류 피라니, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100015132. MKS 진공 센서 카드는 이중 피라니 대류 센서를 지원하며 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 센서 KF16 NW16(PN 103170010SH)(MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환 가능) MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서의 측정 한계보다 100Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 KF16 NW16 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 센서 KF25 NW25(PN 103170027SH)(MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환 가능) MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서의 측정 한계보다 100Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 KF25 NW25 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 진공 센서는 0.001 ~ 1000 Torr, Conflat CF 1.33인치를 특징으로 합니다. MKS 부품 번호: 103170013SH. MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공하며 MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서에 비해 0.001Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 CF 1.33인치 Mini-CF 플랜지 피팅과 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 진공 센서는 0.001~1000 Torr, Confat CF 2.75인치를 특징으로 합니다. MKS 부품 번호: 103170014SH. MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공하며 MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서에 비해 0.001Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 CF 2.75 Conflat 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

345 또는 317용 MKS 진공 게이지 케이블, 937B 및 946 컨트롤러에 연결, 10 Ft. (3m) 길다. MKS 부품 번호: 103170006SH. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 345 또는 317 진공 게이지 센서를 945, 947, 937B 및 946 컨트롤러에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 MKS 345 또는 317 Pirani 센서의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. Series 947 대류 강화 피라니 컨트롤러는 다양한 표준 기능을 제공하며 사용이 쉽습니다. 압력에 비례하는 아날로그 출력 신호는 표준이며 컨트롤러 후면에서 이 케이블이 연결된 곳에서 접근할 수 있습니다. 프로세스는 이 단일 채널 컨트롤러의 표준인 두 개의 독립적인 릴레이 설정점을 통해 제어됩니다. 릴레이는 컨트롤러의 설정점 범위 내 어디에서나 작동하도록 설정할 수 있습니다. 전원 켜기/끄기 스위치를 포함하여 모든 작동 제어 장치는 컨트롤러 전면 패널에서 편리하게 접근할 수 있습니다. 읽기 쉬운 대형 디스플레이를 보면서 전면 패널에서 설정점을 조정하세요. 설정점 활성화는 빨간색 LED 표시기로 표시됩니다. 프로세스 제어 중단 없이 언제든지 설정값을 확인할 수 있습니다.

345 또는 317용 MKS 진공 게이지 케이블, 945, 947, 937B 또는 946 컨트롤러에 연결, 길이 25피트(7.5m). MKS 부품 번호: 103170007SH. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 345 또는 317 진공 게이지 센서를 945, 947, 937B 또는 946 컨트롤러에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 MKS 345 또는 317 Pirani 센서의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. Series 947 대류 강화 피라니 컨트롤러는 다양한 표준 기능을 제공하며 사용이 쉽습니다. 압력에 비례하는 아날로그 출력 신호는 표준이며 컨트롤러 후면에서 이 케이블이 연결된 곳에서 접근할 수 있습니다. 프로세스는 이 단일 채널 컨트롤러의 표준인 두 개의 독립적인 릴레이 설정점을 통해 제어됩니다. 릴레이는 컨트롤러의 설정점 범위 내 어디에서나 작동하도록 설정할 수 있습니다. 전원 켜기/끄기 스위치를 포함하여 모든 작동 제어 장치는 컨트롤러 전면 패널에서 편리하게 접근할 수 있습니다. 읽기 쉬운 대형 디스플레이를 보면서 전면 패널에서 설정점을 조정하세요. 설정점 활성화는 빨간색 LED 표시기로 표시됩니다. 프로세스 제어 중단 없이 언제든지 설정값을 확인할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/8 수 NPT MKS Granville Phillips 부품 번호 275071 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/4인치 암 4 VCR 피팅 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275185 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron Controller는 사용할 수 없으며 MKS Granville Phillips 475로 교체되었습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 2.75인치 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275238 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 8 VCR 1/2인치 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275282 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 MKS Granville Phillips 475로 대체되며 포함되지 않음)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 1.33 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275256 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 16 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275203 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 25 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275196 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 대류 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 40 플랜지 MKS Granville Phillips 부품 번호: 275316 275 MKS Granville Phillips 대류 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기에서 1x10-4 Torr까지의 진공 압력을 측정하며 황삭 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지의 경우처럼 몇 초가 아닌 밀리초 단위로 신뢰할 수 있고 빠른 응답 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 Convectron 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 프로세스가 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장하는 데 도움이 됩니다. 그러나 이는 측정되는 가스의 화학적 조성에 민감하며 상대 압력 측정 방법이라고 합니다. 즉, 가스 매질의 열전도 특성으로부터 간접적으로 압력을 결정합니다. (사진에 표시된 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 사용 가능하지만 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 컨트롤러를 GP275 진공 게이지(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016980. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 컨트롤러를 GP275 진공 게이지에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 GP275 진공 게이지의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 컨트롤러를 GP275 진공 게이지(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016981. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 컨트롤러를 GP275 진공 게이지에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 GP275 진공 게이지의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 냉음극, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100018446. MKS 진공 센서 카드 냉음극은 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS HPS® 423 I-Mag® 센서 냉음극 진공 게이지 KF25, NW25, MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능. MKS 부품 번호: 104230004 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 냉음극 센서 전용입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS 423 I-Mag 센서 냉음극 진공 게이지 컨플랫 2.75 입구. MKS 부품 번호: 104230002. (MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능) 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag 센서는 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 적절한 컨트롤러. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 새로운 냉음극 센서입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러만 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag® 냉음극 센서(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016295. MKS 압력계 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 조합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag 냉음극 센서(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016296. MKS 압력계 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 431 냉음극 진공 센서, 1x10-11 ~ 1x10-2 Torr, CF-2.75인치 플랜지 피팅. MKS 부품 번호: 104310002. MKS 431 냉음극 진공 센서는 1x10-11 ~ 1x10-2 Torr 진공 측정 범위, 높은 작동 온도 및 2.75인치 크기 CF 플랜지 피팅을 갖추고 있습니다. 이는 전자의 고전압 방전으로 인한 이온화와 함께 가스의 이온화 확률을 기반으로 합니다. 이 냉음극 압력 진공 센서는 측정 범위를 확대하기 위해 역자전관 설계를 기반으로 합니다. 이온 수집을 위한 이중 피드스루는 다른 냉음극 진공 및 압력 센서보다 압력 판독값을 더 정확하게 만드는 고유한 기능입니다. 이 냉음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016217. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016218. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 열음극, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100015641. MKS 진공 센서 카드 냉음극은 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS 열음극 진공 센서 누드 튜브, 1x10-2 ~ 1x10-11 Torr용 이리듐 필라멘트, 플랜지 피팅의 CF-2.75. MKS 부품 번호: 100006842. MKS 누드 튜브 진공 센서는 1x10-2 ~ 1x10-11 Torr 진공 측정 범위를 위한 Yttria 코팅 이리듐 필라멘트와 2.75인치 CF 플랜지 피팅을 갖추고 있습니다. 이 Bayard-Alpert 스타일 이온화 진공 센서는 그리드 중앙에 위치한 미세한 와이어 수집기를 사용합니다. 면적이 작기 때문에 수집기에 닿는 X선이 거의 없으며 진공 게이지는 매우 낮은 수준까지 압력을 측정할 수 있습니다. 튜브의 감지 부분이 진공 시스템 내에 위치하고 시스템 실제 압력을 경험하기 때문에 누드 튜브는 대표적인 압력 측정을 제공하고 유리 봉투 센서보다 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 이 냉음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구할 수 있습니다.

MKS 열음극 진공 센서 누드 튜브, 1x10-2 ~ 1x10-11 Torr용 텅스텐 필라멘트, 플랜지 피팅의 CF-2.75. MKS 부품 번호: 100005980. MKS 누드 튜브 진공 센서는 1x10-2 ~ 1x10-11 Torr 진공 측정 범위를 위한 텅스텐 필라멘트와 2.75인치 CF 플랜지 피팅을 갖추고 있습니다. 이 Bayard-Alpert 스타일 이온화 진공 센서는 그리드 중앙에 위치한 미세한 와이어 수집기를 사용합니다. 면적이 작기 때문에 수집기에 닿는 X선이 거의 없으며 진공 게이지는 매우 낮은 수준까지 압력을 측정할 수 있습니다. 튜브의 감지 부분이 진공 시스템 내에 위치하고 시스템 실제 압력을 경험하기 때문에 누드 튜브는 대표적인 압력 측정을 제공하고 유리 봉투 센서보다 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 이 냉음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 또는 946을 3m(10피트) 길이의 열음극 저전력 누드에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100010909. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드, 25피트(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100010910. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러용 MKS 하프 랙 장착 키트. MKS 부품 번호: RM-13. MKS 하프 랙 장착 키트는 시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 이것은 하드웨어 전용입니다. MKS 946은 다목적 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 압력 제어 옵션과 함께 최대 6개의 서로 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독값을 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6개 채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.