진공 챔버에서 사용하기 적합한 K형 열전대, 캡톤 듀플렉스 와이어, 24게이지, 길이 6피트. 이 K형 열전대는 길이가 6피트이고 Kapton 절연 열전대 듀플렉스 와이어로 만들어졌습니다. 폴리이미드 절연은 증기압이 매우 낮고 고진공 상태에서는 가스가 발생하지 않습니다. 한쪽 끝에 (용접된) 열전대가 있습니다. 다른 쪽 끝은 필요한 길이로 자르고, 벗기고, 피드스루 나사형 또는 세라믹 미니어처 열전대 커넥터에 연결할 수 있습니다. 마지막 이미지는 챔버 내부의 KF-40, 4쌍 피드스루에 있는 세라믹 커넥터에 연결된 4개의 Kapton 열전대 와이어를 보여줍니다.
이 와이어는 24 ga이며 0~260°C(32~500°F)의 온도 범위에 대해 정격이 지정되었습니다. 열전대 용접은 당사 시설에서 수행되며 배송 전에 테스트됩니다. 더 긴 스풀에서 잘라낸 이 열전대는 코일로 배송됩니다.
피드스루(또는 진공 피드스루)는 여러 형태로 제공되며, 진공 외부(공기 측)에서 진공 챔버 내부(진공 측)로 전류, 신호, 유체, 가스 또는 기계적 움직임을 챔버 내부의 장비로 전달합니다. 피드스루의 진입 지점은 적합한 관통 구멍을 통해 진공 밀봉되어야 합니다. 피드스루는 용접(용접)이 가능하거나 CF, KF 또는 ISO 진공 플랜지로 진공 챔버에 연결할 수 있습니다.
CF 컨플랫 플랜지는 일반적으로 10-12 Torr까지의 초고진공 압력이 필요한 공정에 사용되며, 구리 개스킷이 있는 너트와 볼트를 통해 진공 밀봉됩니다. 1.33인치(미니 컨플랫), 2.75, 4.5, 6, 8, 10, 12, 13.25, 14 및 16.5인치 OD 외경 크기로 제공됩니다.
KF 또는 퀵 플랜지는 10-9 Torr까지의 높은 진공 압력에 사용되며 클램프와 엘라스토머 O-링을 통해 진공 밀봉됩니다. KF10, KF16, KF25, KF40 및 KF50 크기로 제공됩니다.
ISO 또는 대형 플랜지는 10-6 Torr까지의 높은 진공 압력에 사용되며 너트와 볼트(볼트 구멍이 있는 플랜지의 경우) 또는 클로 클램프(매끄러운 면이 있고 볼트 구멍이 없는 플랜지의 경우)를 통해 진공 밀봉됩니다. 진공 밀봉에는 엘라스토머 O-링을 사용합니다. 크기는 63mm, 80, 100, 160, 200, 250, 320, 400, 500, 630mm입니다. 모든 플랜지는 부식 방지 스테인리스 스틸로 만들어집니다.
피드스루는 수천 개가 있으며 특정 진공 공정에 대한 선택은 매우 어려울 수 있습니다. 요구 사항에 대해 의문 사항이 있는 경우 직원 엔지니어에게 문의하여 진공 공정에 적합한 피드스루를 찾는 데 도움을 받으세요. 당사는 일반적이지 않은 맞춤형 피드스루, 진공 챔버 및 액세서리를 전문으로 합니다. 505-872-0037로 전화해 주세요.
피드스루의 종류 힘: 전력 피드스루는 대기(외부)에서 진공(내부)으로 전기를 전송하는 전기 피드스루의 한 유형입니다. 전력 피드스루에는 진공 장치 챔버 벽에 들어가는 하나 이상의 도체가 있습니다. 도체는 진공 플랜지 또는 베이스 플레이트를 통해 용접되거나 연결된 전기 절연체에 밀봉됩니다. 도체 금속은 와이어, 막대 또는 튜브로 제공됩니다. 도체 재료는 전류, 내식성 및 자성에 따라 결정됩니다. 선택을 위해 고려해야 할 사항은 작동 전압, 최대 전류, 기본 압력 및 작업 환경입니다. 전압이나 전류를 절대로 낮게 지정하지 마십시오. 아크, 용융 또는 절연체 파손이 발생할 수 있습니다. 선택에 의문이 있으면 당사에 전화하십시오.
열전대: 열전대 피드스루는 광범위한 온도 측정 프로세스에 사용되는 견고하고 비용 효율적인 온도 센서입니다. 서로 다른 금속으로 구성된 두 개의 와이어가 양쪽 끝에서 연결되고 한쪽 끝이 가열되면 열전 회로에 연속 전류가 흐릅니다. 이 회로가 중앙에서 끊어지면 순 개방 회로 전압(제벡 전압)은 접합 온도와 두 금속의 구성의 함수입니다. 즉, 두 금속의 접합부가 가열되거나 냉각되면 온도와 상관 관계가 있는 전압이 생성됩니다. 열전대는 적절하게 구성된 경우 광범위한 온도에서 측정을 제공할 수 있습니다.
이들은 한 쌍 이상의 와이어를 포함할 수 있으며, 성형 플러그, 푸시온, 분할 커넥터를 가질 수 있으며, 내부(진공) 또는 외부(대기)에 러그 또는 나사 커넥터를 가질 수 있습니다. 고려해야 할 사항은 온도 범위, 온도 위치 수, 덮개 재료, 와이어 직경, 금속 유형 및 동일한 피드스루 내의 전원 도체입니다. 다양한 온도 범위를 갖는 다양한 금속으로 만들어진 많은 유형의 열전대 피드스루가 있습니다. 선택에 의문이 있으면 저희에게 전화하십시오.
수단: 계측 피드스루는 멀티핀 피드스루라고도 하며 진공 벽을 통해 전기 신호 및/또는 저전력 애플리케이션을 전송합니다. 전자 현미경, 표면 분석 및 반도체 공정 제어와 같은 계측 애플리케이션에 사용됩니다. 진공 벽의 양쪽, 내부(진공) 또는 외부(대기)에 핀 또는 동축이 있는 전기 커넥터로 구성될 수 있습니다. 선택하기 전에 고려해야 할 사항은 최대 전압 케이블 대 차폐, 최대 전압 차폐 대 접지, 신호 전압, 접지, 임피던스, 온도 범위, 연결 수, 커넥터 유형 등입니다. 주문 시 올바른 커넥터가 주문과 함께 제공되거나 제공되지 않는지 확인하는 것이 매우 중요합니다. 다양한 유형의 계측 연결 피드스루, 의심스러운 경우 당사에 전화해 주십시오.
액체 또는 가스: 액체 또는 가스 피드스루는 진공 장착 장치 또는 챔버에 가스 또는 액체를 공급합니다. 이 가스 또는 액체는 진공 챔버 내에서 특정 온도를 유지할 수 있습니다. CF 또는 KF 플랜지 또는 하나 이상의 튜브가 관통 구멍에 용접되어 있고 튜브가 플랜지/베이스포트의 양쪽으로 확장되는 베이스플레이트 포트로 주문할 수 있습니다. 튜브는 다양한 직경을 가지고 있으며 종종 작은 플랜지 또는 가스 피팅으로 종단됩니다. 고려해야 할 사항은 장치 벽의 사용되지 않는 플랜지와 일치하는 플랜지, 피드스루 수, 튜브 직경, 피드스루 진입 포트 크기 및 양쪽 구성 요소와 일치하는 종단입니다. 의심스러운 경우 당사에 전화하십시오.
회전 운동: 회전 모션 피드스루는 진공 측 샤프트를 회전시키는 공기 측 샤프트입니다. 액추에이터 메커니즘, 진공 밀봉, 호환 압력 범위 및 응용 프로그램에 따라 구분되는 여러 유형의 회전 드라이브가 있습니다. 두 가지 유형은 밀봉을 위해 백투백 더블 O-링을 사용하는 엘라스토머 밀봉과 높은 RPM 및 높은 토크 용량을 위해 페로플루이드 O-링 기술을 사용하는 페로 밀봉입니다. 피드스루는 반복 가능한 움직임 또는 거친 위치 지정을 제공할 수 있으며 회전 운동, 선형 운동 또는 두 가지의 조합을 제공할 수 있습니다. 수동 회전에서 공압, 전기 모터화에 이르기까지 다양한 작동 설계가 제공됩니다. 의심스러운 경우 당사에 전화해 주십시오.
부속품: 피드스루에는 필요한 연결을 하기 위해 추가 하드웨어가 필요할 수 있습니다. 우리는 케이블, 전기/동축 커넥터, 진공 챔버 내부 및 외부용 핀을 제공합니다. 어떤 액세서리를 구매해야 할지 잘 모르겠다면 저희에게 전화해 주세요.
사용자 지정 피드스루: 진공 공정에 적합한 피드스루를 선택하는 것은 매우 어려운 작업일 수 있습니다. 저희는 귀하가 그 선택을 하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 저희는 또한 귀하의 특정 진공 공정을 위한 고유한 피드스루를 설계하고 제조하는 데 특화되어 있습니다. 선택 지원이든 새로운 피드스루 제조이든, 저희 기술자/엔지니어가 귀하의 진공 공정 목표를 신속히 달성하는 방법을 활용하도록 하세요. 오늘 505-872-0037로 전화하세요.
