Alvos de pulverização catódica circular de magnetron de vácuo ideal, alvo de pulverização catódica de cromo - Cr, 3'' de diâmetro x 0,25" de espessura, 99,95 por cento de pureza
Produtos de vácuo ideais, LLC. Este produto é um alvo de pulverização catódica de magnetron circular de CROMO - Cr, com 3'' de diâmetro x 0,25" de espessura. É 99,95% puro.
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CROMO - Cr
Alvos de pulverização catódica de cromo (Cr) são amplamente usados em revestimentos de película fina devido às excelentes propriedades mecânicas, químicas e ópticas do cromo. Aqui está um resumo conciso de alvos de pulverização catódica de cromo em revestimentos de película fina:
1. Propriedades do material:
Alta dureza: o cromo é um material muito duro, o que o torna ideal para filmes finos que exigem resistência ao desgaste e durabilidade.
Resistência à corrosão: O cromo tem excelente resistência à corrosão, especialmente em ambientes agressivos, o que o torna útil para revestimentos de proteção.
Promotor de adesão: filmes finos de cromo são frequentemente usados para melhorar a adesão entre diferentes camadas, particularmente em revestimentos multicamadas.
2. Métodos de deposição:
Pulverização catódica CC: o cromo é um material condutor, portanto a pulverização catódica magnetron CC é comumente usada para deposição, garantindo altas taxas de deposição e filmes uniformes.
Pulverização catódica de RF: A pulverização catódica de RF pode ser usada em aplicações especializadas, particularmente em ambientes reativos para formar compostos de cromo.
Pulverização catódica reativa: o cromo é frequentemente pulverizado na presença de gases reativos (por exemplo, oxigênio ou nitrogênio) para formar óxido de cromo (Cr2O3) ou nitreto de cromo (CrN), que têm usos específicos.
3. Aplicações:
Revestimentos decorativos: o cromo é usado em películas finas decorativas para itens como relógios, joias e acabamentos automotivos devido ao seu acabamento brilhante e refletivo e à sua durabilidade.
Revestimentos de proteção: filmes finos de cromo oferecem resistência ao desgaste e proteção contra corrosão, tornando-os ideais para ferramentas, peças de máquinas e equipamentos de processamento químico.
Microeletrônica: O cromo é usado em resistores de película fina, contatos elétricos e barreiras de difusão em dispositivos semicondutores devido à sua estabilidade e condutividade.
Revestimentos ópticos: filmes finos de cromo são usados em revestimentos refletivos e antirreflexos para dispositivos ópticos, espelhos e filtros.
Revestimentos duros: compostos de cromo, como nitreto de cromo (CrN), são usados em revestimentos duros para ferramentas de corte, superfícies resistentes ao desgaste e peças mecânicas.
4. Propriedades do filme:
Resistência mecânica: Os filmes finos de cromo são duros e duráveis, proporcionando excelente proteção em aplicações exigentes, como ferramentas e equipamentos industriais.
Resistência à corrosão: os filmes de cromo resistem à oxidação e à corrosão, o que os torna ideais para revestimentos de proteção em ambientes químicos agressivos.
Adesão: O cromo é frequentemente usado como uma camada de adesão em revestimentos multicamadas, ajudando a unir metais, vidro e outros materiais.
Refletividade óptica: filmes finos de cromo oferecem boa refletividade e são usados em revestimentos ópticos e decorativos por sua aparência metálica brilhante.
5. Deposição reativa:
Óxido de cromo (Cr2O3): formado por pulverização catódica reativa em um ambiente de oxigênio, o óxido de cromo é usado por sua dureza, resistência ao desgaste e proteção contra corrosão em aplicações de alto desempenho.
Nitreto de cromo (CrN): formado pela pulverização catódica de cromo em uma atmosfera de nitrogênio, o CrN é usado em revestimentos duros para ferramentas de corte e outras aplicações resistentes ao desgaste.
6. Desafios:
Envenenamento do alvo: Em processos de pulverização catódica reativa (por exemplo, formação de Cr2O3 ou CrN), pode ocorrer envenenamento do alvo, reduzindo a eficiência da pulverização catódica pela formação de compostos não metálicos na superfície do alvo.
Estresse do filme: filmes de cromo podem desenvolver estresse interno durante a deposição, afetando a adesão do filme e as propriedades mecânicas, especialmente em camadas espessas.
Resumo:
Alvos de pulverização catódica de cromo (Cr) são amplamente usados em revestimentos de película fina para camadas protetoras, acabamentos decorativos, revestimentos ópticos e microeletrônicos devido à sua alta dureza, resistência à corrosão e excelentes propriedades de adesão. A pulverização catódica DC é normalmente usada para deposição eficiente de cromo, enquanto a pulverização catódica reativa permite a formação de compostos como óxido de cromo (Cr2O3) e nitreto de cromo (CrN), que são usados em revestimentos duros para ferramentas de corte e outras aplicações exigentes. Os filmes de cromo fornecem uma combinação de durabilidade, proteção e propriedades reflexivas, tornando-os versáteis para uma ampla gama de indústrias.
Notas: A colagem de placas de suporte metálicas ou elastoméricas é recomendada para todos os materiais de alvo dielétricos porque esses materiais têm características que não são passíveis de pulverização catódica, como fragilidade e baixa condutividade térmica. Esses alvos são mais suscetíveis a choque térmico devido à sua baixa condutividade térmica e, portanto, podem exigir procedimentos específicos de rampa de aumento e redução de potência durante as etapas de inicialização e desligamento.