Bomba de vácuo seco Edwards iXM 200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de peça Edwards A56106958 O Edwards iXM 200 é uma nova linha de bombas secas construídas para fabricação ecológica. Usando energia muito baixa, o eficiente mecanismo de raízes foi desenvolvido para reduzir drasticamente a potência de entrada para 1,3 kW, 60% menor do que a geração anterior de bombas secas, reduzindo o impacto ambiental e diminuindo o custo de propriedade. A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem uma resistência à corrosão quatro vezes maior do que o produto da série iH. Os recursos avançados de manuseio de pó significam que o iXM fornecerá confiabilidade máxima e vida útil prolongada da bomba para processos de corrosão multicamada e consumo de energia reduzido para processos CVD. As bombas da série iXM 200 da Edwards são compactas e de design leve, combinadas com ruído e vibração excepcionalmente baixos, tornando a iXM a bomba seca mais versátil da linha Edwards. O iXM transformará suas expectativas em relação à tecnologia de bomba de vácuo seco, oferecendo benefícios reais e maior tempo de atividade, com impacto ambiental mínimo. As bombas iXM são projetadas para uso na maioria dos processos de semicondutores, proporcionando reduções significativas na energia de entrada. Para o Manual de Instruções completo veja Downloads ao lado. CARACTERÍSTICAS e BENEFÍCIOS: Principalmente para aplicações químicas limpas a leves (veja o espectro de aplicação abaixo) Velocidade de pico de bombeamento 200 m3/h-1 (118 CFM) Pressão máxima 1,5 X 10-2 Torr Contém apenas bomba primária Não requer manutenção preventiva 3/8 polegadas Conexão rápida Enchimentos de água Conexão de água e energia Metades de acoplamento SS Sistema de resfriamento de água Varimode Módulo de gás APLICAÇÕES: Bloqueio de carga Meteorologia Litografia Deposição de vapor físico Processo PVD Deposição de vapor físico PVD Pré-limpeza Recozimento térmico rápido Tira RTA/Gravação de cinzas Fonte de implante de alta densidade Deposição de vapor químico de plasma HDP CVD Processamento térmico rápido RTP Deposição de vapor químico subatmosférico SACVD Deposição de vapor químico de tungstênio WCVD Deposição de vapor químico modificado MCVD Deposição de vapor químico aprimorada por plasma PECVD Deposição de vapor químico de baixa pressão LPCVD

Bomba de vácuo seco Edwards iXM 600 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de peça Edwards A56126958 O Edwards iXM 600 é uma nova linha de bombas secas construídas para fabricação ecológica. Usando energia muito baixa, o eficiente mecanismo de raízes foi desenvolvido para reduzir drasticamente a potência de entrada para 1,3 kW, 60% menor do que a geração anterior de bombas secas, reduzindo o impacto ambiental e diminuindo o custo de propriedade. A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem uma resistência à corrosão quatro vezes maior do que o produto da série iH. Os recursos avançados de manuseio de pó significam que o iXM fornecerá confiabilidade máxima e vida útil prolongada da bomba para processos de corrosão multicamada e consumo de energia reduzido para processos CVD. As bombas da série iXM 600 da Edwards são compactas e de design leve, combinadas com ruído e vibração excepcionalmente baixos, tornando a iXM a bomba seca mais versátil da linha Edwards. O iXM transformará suas expectativas em relação à tecnologia de bomba de vácuo seco, oferecendo benefícios reais e maior tempo de atividade, com impacto ambiental mínimo. As bombas iXM são projetadas para uso na maioria dos processos de semicondutores, proporcionando reduções significativas na energia de entrada. Para o Manual de Instruções completo veja Downloads ao lado. CARACTERÍSTICAS e BENEFÍCIOS: Principalmente para aplicações químicas limpas a leves (veja o espectro de aplicação abaixo) Velocidade de bombeamento de pico 600 m3/h-1 (353 CFM) Pressão final 3,75 X 10-3 Torr Nenhuma manutenção preventiva necessária Água de conexão rápida de 3/8 polegadas Recheios Conexão de água e energia Metades de acoplamento SS Sistema de resfriamento de água Varimode Módulo de gás APLICAÇÕES: Bloqueio de carga Meteorologia Litografia Deposição de vapor físico Processo PVD Deposição de vapor físico PVD Pré-limpeza Recozimento térmico rápido Faixa RTA/Gravação de cinza Fonte de implante Plasma de alta densidade Deposição química de vapor HDP CVD Processamento térmico rápido RTP Deposição de vapor químico subatmosférico SACVD Deposição de vapor químico de tungstênio WCVD Deposição de vapor químico modificado MCVD Deposição de vapor químico aprimorada por plasma PECVD Deposição de vapor químico de baixa pressão LPCVD

Bomba de vácuo seco Edwards iXM 1200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de peça Edwards A56146958 O Edwards iXM 1200 é uma nova linha de bombas secas construídas para fabricação ecológica. Usando energia muito baixa, o eficiente mecanismo de raízes foi desenvolvido para reduzir drasticamente a potência de entrada para 1,3 kW, 60% menor do que a geração anterior de bombas secas, reduzindo o impacto ambiental e diminuindo o custo de propriedade. A tecnologia de barreira de gás e as melhorias no design térmico permitem uma resistência à corrosão quatro vezes maior do que o produto da série iH. Os recursos avançados de manuseio de pó significam que o iXM fornecerá confiabilidade máxima e vida útil prolongada da bomba para processos de corrosão multicamada e consumo de energia reduzido para processos CVD. As bombas da série iXM 1200 da Edwards são compactas e de design leve, combinadas com ruído e vibração excepcionalmente baixos, tornando a iXM a bomba seca mais versátil da linha Edwards. O iXM transformará suas expectativas em relação à tecnologia de bomba de vácuo seco, oferecendo benefícios reais e maior tempo de atividade, com impacto ambiental mínimo. As bombas iXM são projetadas para uso na maioria dos processos de semicondutores, proporcionando reduções significativas na energia de entrada. Para o Manual de Instruções completo veja Downloads ao lado. CARACTERÍSTICAS e BENEFÍCIOS: Principalmente para aplicações químicas limpas a leves (veja o espectro de aplicação abaixo) Velocidade de bombeamento de pico 1030 m3/h-1 (606 CFM) Pressão final 5,0 X 10-3 Torr Nenhuma manutenção preventiva necessária Água de conexão rápida de 3/8 polegadas Recheios Conexão de água e energia Metades de acoplamento SS Sistema de resfriamento de água Varimode Módulo de gás APLICAÇÕES: Bloqueio de carga Meteorologia Litografia Deposição de vapor físico Processo PVD Deposição de vapor físico PVD Pré-limpeza Recozimento térmico rápido Faixa RTA/Gravação de cinza Fonte de implante Plasma de alta densidade Deposição química de vapor HDP CVD Processamento térmico rápido RTP Deposição de vapor químico subatmosférico SACVD Deposição de vapor químico de tungstênio WCVD Deposição de vapor químico modificado MCVD Deposição de vapor químico aprimorada por plasma PECVD Deposição de vapor químico de baixa pressão LPCVD

Terminal de exibição de bombas Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vias, plugue XLR, módulo de exibição de teclado portátil. Número da peça Edwards: D37280700 Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Terminal de exibição da bomba Plugue XLR de 5 vias. Visor portátil para sistemas de bombas secas das séries Edwards GX, iGX e iXL120 com conexão XLR de 5 vias. Número da peça de vácuo Edwards D37280700.

Módulo Edwards SPI Micro TIMD37360310O módulo SPI Micro TIM fornece interface de ferramenta Edwards SPI para bombas secas com um slot Micro TIM. Um módulo SPI Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O SPI Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Módulo Edwards MCM Micro TIMD37360320MCM O módulo MicroTIM fornece interface de ferramenta Edwards MCM para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo MCM Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando uma interface digital paralela. O MCM Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Série GXS (somente versão MCM) Série CXS (somente versão MCM) Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Por exemplo, uma bomba pode ser atualizada de iH para iHs sem alterar o módulo de interface. O MCM Micro TIM tem compatibilidade AUC com as bombas das séries GXS e CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Módulo Edwards TEL Micro TIMD37360330TEL O módulo Micro TIM fornece interface de ferramenta Edwards TEL para bombas secas com um slot Micro TIM. Um módulo TEL Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O TEL Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Semi E73 Micro TIM ModuleD37360340Semi E73 Micro TIM module fornece interface de ferramenta compatível com Semi E73 para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Semi E73 Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Semi E73 Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM fornece uma interface de ferramenta para plataformas LAM Alliance para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo LAM Alliance Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O LAM Alliance Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Novellus C3 Micro TIM ModuleD37360360Novellus C3 Micro TIM fornece uma interface de ferramenta para plataformas Novellus C3 para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Novellus C3 Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Novellus C3 Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Edwards Hitachi Micro TIM ModuleD37360370Hitachi MicroTIM fornece interface de ferramenta Hitachi para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Hitachi Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Hitachi Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards. Série EPX Série iGX Série GX Série iXH Série iXL Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema. Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle. Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.

Cabo EMO da Edwards para instalação de uma nova bomba semicondutora seca de estilo iXL ou iXH em uma ferramenta com bombas existentes de estilo antigo da série iH. A Ideal Vacuum fornece nosso próprio cabo de interface, que permite a substituição de uma bomba de estilo antigo da série iH pelo estilo IXL120N, iXH100 ou iXH610. Esse cabeamento EMO é útil para aplicações em que uma ferramenta de semicondutor possui várias bombas iH de estilo antigo conectadas à subfabricação. Este cabo do módulo de interface continua o circuito EMO nas bombas iH de estilo antigo remanescentes e através da bomba de substituição iXL120N de estilo novo. As conexões e diferentes módulos de interface são descritos em detalhes abaixo. Este cabo é normalmente conectado de P2 (saída) do iTIM no lado esquerdo iH, ao conector de parada de emergência (EMS) no iXL120N, ao J1 (entrada) do iTIM na bomba iH do lado direito (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação em formato pdf) . A questão é que as bombas da série Edwards iH foram descontinuadas e não estão mais disponíveis. A Ideal Vacuum estoca as bombas de reposição, iXL120N para bloqueio de carga, iXH100 (substitui iH80), iXH610 (substitui iH600) e assim por diante. A nova bomba iXL120N não tem um botão EMO na frente como as bombas IH de estilo antigo (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação). O Edwards iTIM era frequentemente configurado com bombas de vácuo de semicondutores secos da série Edwards iH de estilo antigo, onde várias bombas são conectadas a uma única ferramenta de semicondutor na sub-fabricação. O cabeamento EMO é configurado para desligar a ferramenta se um EMO for pressionado em qualquer uma das bombas da série iH, eles são normalmente cabeados em série, em uma configuração em cadeia.