Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F Ultra-High Vacuum Semiconductor Cryopump, LF ISO 250, Trifásico, Reconstruído, 6500 l/s Água, 2200 l/s Ar, 1800 l/s Argônio, Reconstruído.
Número da peça Edwards CTI Brooks: 8116086G002. A bomba criogênica CTI-Cryogenics (agora Edwards) Cryo-Torr OB250F, trifásica (3) foi especialmente projetada e construída para desempenho aprimorado e requisitos de espaço apertados para uso na indústria de semicondutores.
Esta criobomba possui um flange de entrada ISO 250 e um flange de bomba de desbaste padrão KF-25. É capaz de ultra-alto vácuo (UHV) de 10-8 Torr com velocidades de bombeamento nominais de:
- Água ………. 6500 l/seg
- Ar ………..…. 2200 l/seg
- Hidrogênio ..…. 3200 l/seg
- Argônio ………. 1800 l/seg
Esta bomba trifásica Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F funciona SOMENTE com energia trifásica (3). A energia elétrica é fornecida por um controlador de motor trifásico CTI especial.
A criobomba CTI trifásica Cryo-Torr 250F não expõe peças móveis, fluidos operacionais ou bombas de apoio ao vácuo, o que elimina a possibilidade de fluxo inverso do sistema ou contaminação do processo pela própria criobomba.