Evaporador térmico MBraun, MB Evap S/A, sistema de codeposição de película fina, câmara tipo sino de aço inoxidável, 13 x 17 polegadas, 4 fontes térmicas e 2 monitores de espessura Inficon QCM com nova bomba turbo Pfeiffer HiPace 300, reformado

Esta câmara de revestimento a vácuo Mbraun Evap S/A reformada (ano de fabricação 2012) é equipada com uma nova bomba turbo HiPace 300 e uma nova bomba de desbaste rotativa Edwards 12. A ferramenta está em excelentes condições de funcionamento. O interior da câmara foi jateado para remover todos os possíveis contaminantes do uso anterior. A ferramenta é adequada para evaporação térmica de metais de alto ponto de fusão e dielétricos como ouro, titânio e óxidos. Ela tem uma câmara de sino de aço inoxidável com 13" de diâmetro x 17" de altura. A distância máxima de projeção de evaporação é de 10" com rotação do suporte do substrato, pode ser aumentada para 12" sem conjunto de rotação do substrato, adequada para deposição de metal de elevação. O suporte do substrato pode receber no máximo 4" x 4" de tamanhos de amostra com rotação durante a deposição ou amostras de 6" x 6" sem rotação. A câmara tem 4 fontes de evaporação térmica que têm uma capacidade de carga de cerca de 1 cc cada.

Este Evaporador Térmico MBraun é equipado com muitos recursos, incluindo um novo suporte de substrato rotativo de 4 polegadas feito sob medida. Ele tem 2 sensores Inficon QCM e dois novos cristais de quartzo instalados, um controlador de codeposição Inficon SQC-310C com modos de processo manual e automático. O processo de deposição pode ser sequencial ou codeposição. Outros recursos incluem uma janela de visualização de 6" para observar o progresso do revestimento, fonte pneumática e obturadores de substrato, mecanismos de segurança contra falhas, uma cortina de segurança óptica, indicadores de status visuais e de áudio em alarmes de formulário.