O Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA é um espectrômetro de massa compacto que pode auxiliar na determinação da identidade e concentração de gases residuais dentro de uma câmara de vácuo. Ele pode ser usado para detecção de vazamentos, análise de desgaseificação, controle de qualidade de gás de alimentação em aplicações de revestimento e corrosão, solução de problemas de processo e muito mais.

Conectado diretamente a uma câmara, o RGA é projetado para operação contínua em pressões totais abaixo de 1×10 ^-6 Torr, e idealmente em torno de 2×10 ^-7 Torr. A operação do RGA em pressões mais altas leva a uma redução drástica na vida útil do ionizador, filamento e quadrupolo. Os medidores de pressão integrados do AnalyzaVAC são usados internamente e no software AutoZ ⁺ incluído para evitar danos fatais ao RGA (na maioria dos casos).

Para medir gases em uma câmara em vácuo médio para pressão atmosférica, o RGA deve ser colocado em uma câmara pequena e separada com seu próprio sistema de bombeamento de alto vácuo. O sistema de vácuo do RGA é então conectado à câmara por meio de uma válvula de vazamento que permite que o RGA colete amostras de gases na câmara principal enquanto ainda mantém alto vácuo ao redor da delicada sonda quadripolar.

Este kit contém tudo o que você precisa para usar um RGA para medir gases em pressões mais altas.

Componentes e recursos:

• Análise de vácuo idealVAC RGA.
• Faixa de varredura de 1-200 AMU.
• Detector de copo de Faraday.
• O medidor Pirani integrado evita que o RGA seja ligado em altas pressões.
• Medidor de íons de cátodo quente integrado para medição rápida de alta pressão de vácuo.
• Estação de bombeamento turbomolecular Agilent Varian TPS-Mini TwisTorr 74 FS com operação de alto vácuo com um único interruptor.
• A válvula de vazamento variável manual Agilent permite amostragem RGA de câmaras de 1000 Torr a alto vácuo.
• Coletor soldado com vedações totalmente metálicas para contaminação mínima da medição por outras fontes de gás.
• Ideal Vacuum AutoZ ⁺ software versão básica.

A combinação da estação de bombeamento Agilent Varian TPS-mini com a válvula de vazamento variável manual Agilent permite amostragem precisa de gás de câmaras abrangendo pelo menos 9 ordens de magnitude de pressão. No entanto, um único ponto de rachadura da válvula de isolamento não é adequado para todas as pressões dentro do intervalo. Para melhores resultados, a válvula deve ser reiniciada manualmente sempre que a pressão da câmara for alterada. Se a pressão da câmara for aumentar mais de 1 ordem de magnitude em comparação com a pressão operacional atual (ou seja, durante uma ventilação da câmara), a válvula de vazamento deve ser fechada primeiro para evitar danos ao RGA e ao sistema de bombeamento. Após a câmara atingir uma pressão estável, o ionizador RGA deve ser desligado e a válvula reaberta até que a pressão desejada dentro do subsistema RGA seja atingida. O ionizador RGA pode então ser ligado novamente e a medição retomada.

Para manter a válvula de vazamento em um determinado ponto de fissura durante os ciclos de pressão, o RGA pode ser isolado da câmara usando uma válvula de fole manual adicional.

Sobre o Ideal Vacuum AnalyzaVac RGA:

O AnalyzaVAC opera ionizando os gases presentes na ponta da sonda usando elétrons emitidos termionicamente por filamentos de irídio toriados substituíveis em campo duplo. Os cátions resultantes são separados pela razão massa-carga usando uma combinação de frequências de rádio variáveis e tensões CC aplicadas ao filtro quadrupolo. Os íons carregados positivamente viajam pelo centro do quadrupolo e são amplificados por um multiplicador de elétrons ou detectados diretamente pelo detector de copo de Faraday no final da sonda. Cada gás produz uma impressão digital espectral única que é uma combinação da abundância isotópica natural de seus elementos e fragmentação molecular causada pela ionização de elétrons de alta energia do RGA.

Todas as sondas AnalyzaVAC vêm com um detector de copo de Faraday que fornece detecção quantitativa, altamente linear e repetível até 1,5×10 ^-12 Torr ^* . O multiplicador de elétrons opcional aumenta a sensibilidade para um impressionante 6×10 ^-15 Torr ^* para medições qualitativas. Tanto os detectores padrão quanto os equipados com multiplicador de elétrons têm resolução de 0,5 AMU a 10% de altura de pico (ou melhor) quando calibrados corretamente.

O software básico AutoZ ⁺ não expirante da Ideal Vacuum é um aplicativo do Windows 10 que pode controlar qualquer sistema AnalyzaVAC RGA de um computador desktop ou laptop. O AutoZ ⁺ dá ao operador o poder de controlar todos os parâmetros de aquisição. O AutoZ ⁺ fornece streaming de dados em tempo real e permite que os usuários visualizem os dados coletados como um espectro analógico, um histograma de massa e tendências ao longo do tempo. Para remover picos indesejados e contribuições espectrais, um usuário pode usar espectros coletados anteriormente para dados de linha de base.

A atualização opcional do software AutoZ ⁺ premium da Ideal Vacuum inclui todos os recursos do software básico e adiciona registro de dados avançado, média, ajuste espectral com acesso à biblioteca de substâncias da Ideal Vacuum e a capacidade de adicionar compostos adicionais à biblioteca. O Premium AutoZ ⁺ usa um poderoso algoritmo de mínimos quadrados para calcular as pressões parciais de gases residuais comuns, identifica sua contribuição para o espectro exibido atualmente e isola picos desconhecidos. O software premium deve ser renovado anualmente ou ele reverte para a versão básica.

Algumas aplicações RGA:

• Teste de vazamento
• Monitoramento de processos
• Monitoramento de bombeamento e bakeout
• Diagnóstico de vácuo
• Controle de qualidade do gás de alimentação
• Identificação de gases e contaminantes

* A sonda AnalyzaVAC é um instrumento delicado. Uso inapropriado, manuseio incorreto da sonda ou operação em pressões elevadas por períodos prolongados podem contaminá-la e danificá-la. Portanto, a sonda não tem garantia após a remoção de sua embalagem original.
O Agilent TPS Mini Turbo tem garantia total do fabricante. A garantia de qualquer outro componente é contra defeito do produto.

A pressão operacional total ideal do RGA é 2×10 ^-7 Torr para a maioria dos gases. A pressão externa pode ser muito maior, desde que seja reduzida dentro do sistema RGA usando a válvula de vazamento variável e o sistema de bomba turbo. A operação em pressões mais altas do sistema RGA por longos períodos de tempo resultará em envelhecimento prematuro da sonda, perda de ganho, desvio espectral e queima do filamento e do ionizador. O RGA pode ser usado nas seguintes regiões de pressão pelos períodos de tempo correspondentes:
10 ^-4 Torr, várias horas
10 ^-5 Torr, vários dias
10 ^-6 Torr, vários meses
10 ^-7 Torr, vários anos
10 ^-8 Torr, indefinidamente
Vapores orgânicos devem ser mantidos a uma pressão 2x menor que os gases atmosféricos para evitar contaminação por fuligem do filamento e do ionizador. Vapores de silicone devem ser mantidos a pressões pelo menos 10x menores que os gases atmosféricos para evitar acúmulo de vidro no filamento e no ionizador. Vapores corrosivos também são mais prejudiciais ao RGA do que gases normais. Ao gerenciar adequadamente a pressão, o RGA pode ser usado para medir esses gases sem incorrer em reparos dispendiosos.

* Medido com gás nitrogênio, tempo de permanência de 5 segundos, largura de pico total de 1 amu, altura de 10%, energia de elétrons de 70 eV, energia de íons de 6 eV e emissão de elétrons de 2 mA, e calculando três desvios padrão do ruído de base.