Medidor do módulo Micro ATM MKS Granville Phillips série 390, 2,75 pol.
Medição de pressão de 1x10-9 Torr. Para Monitor de Qualidade de Vácuo (VQM) 830 ou 835. PN: 390802-2-YG-T Este módulo de microíon de pressão total 390802 funciona com o medidor de espectrômetro de massa de potência MKS Granville Phillips (VQM) 830 ou 835. VQM.
O módulo MKS Granville-Phillips Micro-Ion ATM combina a tecnologia comprovada de medidor de ionização Micro-Ion com um sensor miniatura de perda de calor Conductron e dois sensores piezoresistivos para fornecer medição de pressão contínua e precisa, do alto vácuo à atmosfera. Usando seus sensores de diafragma, este produto é capaz de fornecer pressão absoluta precisa até a atmosfera, juntamente com indicação precisa da pressão diferencial da câmara de vácuo em relação ao ambiente. O design exclusivo do sensor elimina os efeitos térmicos que podem influenciar o desempenho do sensor de perda de calor em pressões mais altas. Este pequeno módulo combina todos os quatro sensores e componentes eletrônicos de controle em um design modular compacto, reduzindo o número de medidores necessários em uma câmara e minimizando o espaço necessário. A medição de pressão de faixa completa é emitida como um único sinal analógico ou disponível por meio de interfaces digitais serial RS-485 ou DeviceNet opcionais. As versões RS-485 e DeviceNet têm até três relés de ponto de ajuste opcionais que podem ser configurados para controle de processo, com a capacidade de atribuir os relés a qualquer pressão na faixa de pressão de vácuo ou a um valor de pressão diferencial específico.
OS BENEFÍCIOS INCLUEM:
•Medição de pressão contínua de 1 x 10-9 de alto vácuo para a atmosfera.
• Medição de pressão diferencial de precisão na atmosfera.
• Elimina a necessidade de interruptores atmosféricos discretos.
• Elimina a necessidade de três sensores separados.
• Filamentos de medidores de ionização duplos aumentam o tempo de atividade do equipamento.
• Automação da ativação e desativação do medidor de ionização.
• Relés de ponto de ajuste opcionais para controle de processo.
• Conjunto de medidores substituíveis em campo.
• Saída analógica, RS-485 ou DeviceNet disponível.
• Visor LCD gráfico opcional.
Os medidores de vácuo modulares são uma solução ideal para aplicações que não precisam de visores e controles no painel frontal. Esses módulos compactos, convenientes, confiáveis e econômicos têm a eletrônica de controle montada diretamente no medidor. O pacote todo em metal fornece um invólucro robusto e um alto nível de imunidade ao ruído elétrico. Os módulos Mini-Convectron usam a mais recente tecnologia eletrônica para operar o MKS Granville-Phillips®Convectron®Gauge. O medidor de convectron tornou-se um padrão da indústria. É uma variação única de medidores de condutividade térmica em que a medição de pressão é baseada na taxa de perda de calor de um fio sensor. Ao contrário dos medidores de termopar e Pirani tradicionais que usam apenas perda de calor condutiva, os medidores de convectron aproveitam a perda de calor devido à convecção em pressões mais altas. Isso amplia a faixa de medição precisa e repetível para a atmosfera.