MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Absolute Piezo Transdutor KF16 RS485, 10-5 a 1500 Torr 910-12030

O Transdutor de Vácuo Absoluto/MicroPirani™ DualTrans™ 910-12030 foi projetado especificamente para aplicações de medição de pressão de ampla faixa e possui um encaixe de flange ISO-KF de tamanho NW16. A saída combinada fornece precisão, estabilidade, repetibilidade significativamente maiores e um tempo de resposta mais rápido do que os medidores de condutividade térmica convencionais. O 910 combina duas tecnologias de medição de pressão para fornecer desempenho e funcionalidade superiores. O 910 fornece medição de pressão absoluta independente de gás de 11 a 1500 Torr com maior precisão em sensores de condutividade térmica. Ao contrário dos medidores Pirani tradicionais, o elemento sensor do MicroPirani é feito de um chip de silício de um milímetro quadrado, permitindo que as medições sejam feitas em um volume muito pequeno. Como resultado da tecnologia MicroPirani, o 910 pode ler pressões de até 10-5 Torr, duas décadas abaixo de um sensor Pirani padrão. O design do sensor minimiza os efeitos da convecção, subsequentemente o 910 pode ser montado em qualquer orientação sem comprometer a precisão.

O Piezo é um sensor de pressão absoluta, fornecendo uma leitura direta da pressão, permitindo que a medição seja independente do gás. O sensor Piezo mede de menos de 1 Torr a 1500 Torr. O 910 possui interface de comunicação digital RS485 para configuração dos parâmetros do transdutor e para fornecer medição de pressão em tempo real. O 910 também possui uma saída de pressão analógica de 1VCC/década que pode ser conectada a um equipamento analógico externo para controle ou leitura de pressão. Outras saídas analógicas e curvas podem ser selecionadas através da interface de usuário digital. O 910 possui três relés mecânicos que podem ser usados para controle de processo, por exemplo, válvulas de isolamento de intertravamento e bombas de vácuo. Cada ponto de ajuste pode ser atribuído à medição piezo ou à medição absoluta combinada MicroPirani/Piezo. O design compacto do 910 reduz significativamente a quantidade de espaço ocupado por um medidor de vácuo. Isso é particularmente atraente para os projetistas de sistemas e permite um sistema de vácuo mais compacto.