Cabo EMO da Edwards para instalação de uma nova bomba semicondutora seca de estilo iXL ou iXH em uma ferramenta com bombas existentes de estilo antigo da série iH

A Ideal Vacuum fornece nosso próprio cabo de interface, que permite a substituição de uma bomba de estilo antigo da série iH pelo estilo IXL120N, iXH100 ou iXH610. Esse cabeamento EMO é útil para aplicações em que uma ferramenta de semicondutor possui várias bombas iH de estilo antigo conectadas à subfabricação. Este cabo do módulo de interface continua o circuito EMO nas bombas iH de estilo antigo remanescentes e através da bomba de substituição iXL120N de estilo novo. As conexões e diferentes módulos de interface são descritos em detalhes abaixo. Este cabo é normalmente conectado de P2 (saída) do iTIM no lado esquerdo iH, ao conector de parada de emergência (EMS) no iXL120N, ao J1 (entrada) do iTIM na bomba iH do lado direito (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação em formato pdf) .

A questão é que as bombas da série Edwards iH foram descontinuadas e não estão mais disponíveis. A Ideal Vacuum estoca as bombas de reposição, iXL120N para bloqueio de carga, iXH100 (substitui iH80), iXH610 (substitui iH600) e assim por diante. A nova bomba iXL120N não tem um botão EMO na frente como as bombas IH de estilo antigo (consulte os detalhes em nossa Nota de aplicação). O Edwards iTIM era frequentemente configurado com bombas de vácuo de semicondutores secos da série Edwards iH de estilo antigo, onde várias bombas são conectadas a uma única ferramenta de semicondutor na sub-fabricação. O cabeamento EMO é configurado para desligar a ferramenta se um EMO for pressionado em qualquer uma das bombas da série iH, eles são normalmente cabeados em série, em uma configuração em cadeia.