Módulo Micro TIM Edwards Novellus C3
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Novellus C3 Micro TIM fornece uma interface de ferramenta para plataformas Novellus C3 para bombas secas com um slot MicroTIM. Um módulo Novellus C3 Micro TIM pode ser usado para fornecer controle e monitoramento de uma variedade de bombas Edwards por sua ferramenta de processo, usando a interface digital paralela. O Novellus C3 Micro TIM é compatível com as seguintes bombas Edwards.
- Série EPX
- Série iGX
- Série GX
- Série iXH
- Série iXL
- Também para uso em sistemas de bombas múltiplas com um controlador de sistema.
Onde esses módulos já existem, eles podem ser utilizados para fornecer controle e monitoramento da bomba por sua ferramenta de processo ou outro equipamento de controle.
Verifique os manuais.pdf do Micro TIM ou iTIM em nossa seção de downloads à esquerda para entrada de conexão paralela e informações de compatibilidade.