NOVA Bomba de vácuo primária a seco Edwards EPX 500LE de alto vácuo 400 VAC 3PH. Conector de água de 3/8 pol. Entrada ISO 160 - Número da peça A41953714 - Com MCM TIM

A nova bomba seca de alto vácuo compacta EPX500LE COM Módulo de Interface de Ferramenta (TIM) oferece desempenho aprimorado com custo de propriedade reduzido. Usando um mecanismo exclusivo protegido por patente, o EPX500LE é capaz de bombear da atmosfera até pressões finais inferiores a 7 x 10-7 Torr. Estas são bombas verdadeiramente incríveis; a bomba Edwards EPX pode bombear da atmosfera para a faixa de pressão turbomolecular e pode operar continuamente em todas as pressões de entrada. Com base na bem-sucedida e premiada linha IPX, o EPX500 modular oferece excelente desempenho em um pacote que é 20% mais leve, 30% menor e requer 40% menos energia do que o IPX. A série de bombas EPX LE possui um controlador de usuário final (EUC). O controlador de usuário final permite o controle local para uso autônomo, bem como a capacidade de conectar-se a uma rede ampla para controle remoto e monitoramento. O sistema de bomba EPX opera em pressões entre o vácuo atmosférico e o vácuo final, sem lubrificação ou fluido de vedação na câmara de bombeamento. Isso garante um sistema de bombeamento limpo sem retromigração de óleo ou fluido para o sistema que está sendo evacuado.

O estator da bomba e o motor fechado são resfriados por um circuito integrado de refrigeração a água. A bomba EPX é, portanto, adequada para aplicações em ambientes de sala limpa onde o resfriamento por ventilador é inaceitável. O abastecimento de água de resfriamento e as tubulações de retorno são conectados à bomba por conectores de água (especificados pelo cliente). A água de resfriamento deve ser compatível com as condições ambientais (umidade e temperatura) de forma que o ponto de orvalho não seja atingido. A bomba incorpora um filtro de alimentação EMC e um inversor, que fornece e controla a alimentação elétrica para o motor da bomba. Os LEDs na tampa frontal identificam o status da bomba EPX. A velocidade do motor depende da pressão na entrada da bomba. Quando a bomba é iniciada com a pressão de entrada igual ou próxima à pressão atmosférica, o motor acelera até uma velocidade limitada pela corrente que pode ser fornecida pelo acionamento do inversor. À medida que a pressão na entrada é reduzida, a velocidade do motor aumenta, até atingir a velocidade máxima predefinida. Se a pressão na entrada aumentar, o motor desacelerará novamente.

A série de bombas EPX LE pode ser operada manualmente usando o visor e teclado local do controle do usuário final (EUC), ou remotamente usando um terminal de exibição da bomba (PDT), se instalado; ele também pode ser controlado e monitorado pela rede, que se conecta à bomba EPX por meio do conector de rede. Quando a série de bombas EPX LE é controlada por meio do Tool Interface Module (TIM), o EUC simplesmente monitora o status da bomba. A bomba EPX é compatível com Fabworks 32. A EPX possui quatro isoladores de vibração. Os sensores de proteção da bomba desligam automaticamente a bomba se surgir uma condição de falha. A série EPX abrange uma ampla gama de aplicações, desde o manuseio de wafer até processos de serviço médio. A série EPX 'LE' foi projetada para uso em aplicações de serviço limpo bombeando misturas de gases inertes, como loadlock, em que o controle é fornecido pela interface da ferramenta de processo. Baixe um Manual de Instruções ao lado.