Agilent Varian HS-20, ASA, HALO, 400 V, G1/2 TW, Diffusions-Vakuum-Pumpen, Diffusions Vakuum Pumpen, PN 84341363
Diese Agilent Varian HS-20, ASA, HALO, 400 V, G1/2 TW Teilenummer haben 84341363, sind neu und werden komplett geliefert Agilent Varian Garantie. Die Diffusionspumpe ist der gebräuchlichste Pumpentyp für den Einsatz in Hochvakuumanwendungen. Diese Dampfstrahlpumpen gehören zu den ältesten und zuverlässigsten Methoden zur Vakuumerzeugung. Da die Kammer selbst außer den Öltröpfchen keine beweglichen Teile aufweist, kann eine Vakuumdiffusionspumpe über lange Zeiträume stabil arbeiten. Bei allen Diffusionspumpen kommt es zu einer geringen Rückströmung. Beim Rückströmen handelt es sich um die Wanderung winziger Ölmengen, die sich in die entgegengesetzte Richtung zum Einlass der Pumpe und in den Prozessstrom bewegen, der der Tisch eines Elektronenmikroskops oder einer Schweißkammer sein kann. In einigen Anwendungen hat ein geringfügiges Backstreaming keine Auswirkungen. In anderen Fällen, in denen die Reinheit der Materialien von entscheidender Bedeutung ist, kann eine Rückströmung nicht toleriert werden. Aus diesem Grund fügen Systeme typischerweise eine optisch dichte Ablenkwand unterschiedlicher Bauart hinzu, um Ölpartikel abzulenken, bevor sie den Prozessstrom erreichen können. Diffusionspumpen sind weit verbreitet, weil sie mehrere Vorteile haben: Sie sind zuverlässig, einfach im Aufbau, arbeiten ohne Lärm oder Vibrationen und sind relativ kostengünstig in Betrieb und Wartung. Tatsächlich ist Diffusionspumpen immer noch die wirtschaftlichste Methode zur Schaffung von Hochvakuumumgebungen. Diese Pumpen tolerieren auch Betriebsbedingungen wie überschüssige Partikel und reaktive Gase, die andere Arten von Hochvakuumpumpen zerstören würden.
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