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GE50A デジタル制御マスフロー コントローラーは、RS485、Profibus、EtherCAT、または DeviceNet I/O のいずれかで使用できます。デジタル制御電子機器は、最新の MKS 制御アルゴリズムを利用して、デバイスの制御範囲全体にわたって設定値に対して高速かつ再現性のある応答を実現しました。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の精度が 1 になります。 I/O プロトコルは、GE50A が MKS の 1179A MFC の RS485 および DeviceNet バージョンを簡単にコーディングするだけで簡単に置き換えられるように設計されています。標準の 3 インチの設置面積により、既存のガスライン構成を変更することなく使用できます。 GE50A には、外部エラストマー シールとエラストマー バルブ プラグが 1 つだけ組み込まれています。接液面はすべて金属です。 GE50A には、さまざまなガス要件をサポートするために、Viton シールまたはオプションの Buna、ネオプレン、または Kalrez が標準装備されています。

これらに関する詳細情報
319296.75825
MKS Instruments MFC、N2、1.6K SCCM、15 ピン アナログ、NC VITON、LCEA23CD1BV20, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー,  PN  GE50A013163DBV020
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説明

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MKS Instruments MFC、N2、1.6K SCCM、15 ピン アナログ、NC VITON、LCEA23CD1BV20, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー,  PN  GE50A013163DBV020

これら MKS Instruments MFC、N2、1.6K SCCM、15 ピン アナログ、NC VITON、LCEA23CD1BV20  部品番号がある GE50A013163DBV020, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 GE50A デジタル制御マスフロー コントローラーは、RS485、Profibus、EtherCAT、または DeviceNet I/O のいずれかで使用できます。デジタル制御電子機器は、最新の MKS 制御アルゴリズムを利用して、デバイスの制御範囲全体にわたって設定値に対して高速かつ再現性のある応答を実現しました。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル校正では、校正ガスの設定値の精度が 1 になります。 I/O プロトコルは、GE50A が MKS の 1179A MFC の RS485 および DeviceNet バージョンを簡単にコーディングするだけで簡単に置き換えられるように設計されています。標準の 3 インチの設置面積により、既存のガスライン構成を変更することなく使用できます。 GE50A には、外部エラストマー シールとエラストマー バルブ プラグが 1 つだけ組み込まれています。接液面はすべて金属です。 GE50A には、さまざまなガス要件をサポートするために、Viton シールまたはオプションの Buna、ネオプレン、または Kalrez が標準装備されています。

これらに関する詳細情報MKS Instruments MFC、N2、1.6K SCCM、15 ピン アナログ、NC VITON、LCEA23CD1BV20  以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 GE50A013163DBV020.

価格

製品: MKS Instruments MFC、N2、1.6K SCCM、15 ピン アナログ、NC VITON、LCEA23CD1BV20, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー, 金属およびエラストマーで密閉されたマスフロー コントローラー,  PN  GE50A013163DBV020

状態: New
保証: MKS Instruments 保証
部品番号: GE50A013163DBV020
セールスプライス: ¥319,296.76

通貨 Japanese Yen (JPY)

QTY:   

マニュアル



利用可能なダウンロード:
  MKS 1179A、2179A、179 Mass-Flo コントローラーおよびメーター取扱説明書.pdf (0.32 MB)
  MKS 1179C 汎用 Mass-Flo コントローラー 2021 データシート.pdf (2.17 MB)
  MKS 1479A 金属密閉型 Mass-Flo コントローラー データシート.pdf (0.93 MB)
  MKS 1579 高流量用デジタル マスフロー コントローラー データシート.pdf (0.17 MB)
  MKS 1579A/B、579A/B デジタルマスフローコントローラーおよびメーター取扱説明書.pdf (0.48 MB)
  MKS 179C オールメタル質量流量計データシート.pdf (0.23 MB)
  MKS 179C マスフロー コントローラー データシート.pdf (1.33 MB)
  MKS 2179A 汎用 Mass-Flo コントローラー データシート.pdf (1 MB)
  MKS 246、247 マスフローコントローラー/メーター用電源/読み出しデータシート.pdf (0)
  MKS 640B、641B 圧力コントローラー取扱説明書.pdf (0)
  MKS 640B、641B 電子圧力コントローラー データシート.pdf (0)
  MKS 937B 真空システム コントローラー データ シート.pdf (0.94 MB)
  MKS 937B 真空システム コントローラー マニュアル.pdf (3.11 MB)
  MKS 946 ハーフ ラック ゲージ コントローラーの電源および読み出しデータ シート.pdf (0.44 MB)
  MKS 946 ハーフラックゲージコントローラー操作およびメンテナンスマニュアル.pdf (1.89 MB)
  MKS G & I シリーズ デジタル サーマル ベース マス フロー コントローラー テクノロジー マニュアル.pdf (2.26 MB)
  MKS G シリーズ Web ブラウザ設定チュートリアル.pdf (5.89 MB)
  MKS GE250A マルチガス/マルチレンジ マスフロー コントローラー データシート.pdf (0.26 MB)
  MKS GE300A マルチガス/マルチレンジ マスフロー コントローラー データシート.pdf (0.26 MB)
  MKS GE-50 エラストマー密閉型デジタル マスフロー コントローラー データ シート.pdf (0.5 MB)
  MKS GM50A シリーズ データシート.pdf (2.45 MB)
  MKS M330H、AH 高温アプリケーション用加熱可能マスフロー コントローラー データシート.pdf (0.26 MB)
  MKS Pi MFC マスフロー コントローラー データ シート.pdf (0)
  MKS Pi MFC マスフロー コントローラー取扱説明書 (暫定版).pdf (0)
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お問い合わせ
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5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
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