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245 バルブは、Grainville-Philips シリーズ 216 全金属製のベーク可能な制御バルブの改良版です。 245 バルブは、10-11 から 6000 Torr までの圧力を制御でき、最大スループットは 2500 Torr-リットル/秒 (200 slm) です。このバルブは、他のバルブの使用を妨げる多くの腐食性ガスで使用できます。バルブ ドライバー アセンブリを取り外した状態で、UHV 用途向けにバルブを 450°C までベークすることができます。タイプ 245 の駆動に使用されるステッピング モーターは、圧力または設定値の変化に数分の一で応答することができ、バルブを完全に閉じた位置から完全に開いた位置までわずか 15 秒で駆動します。 Type 244 コントローラーによってシステムが完成します。 244/245 圧力/流量制御システムは、広範囲の圧力または流量制御のために全金属製のベーク可能な制御バルブを必要とする真空プロセスに使用する閉ループ フィードバック制御システムです。 244/345 システムは、制御モジュールとサーボ制御リークバルブで構成され、スパッタリング、スパッタエッチング、イオン源制御、イオン注入、真空計校正などの単一ガスプロセスに最適です。

これらに関する詳細情報
89189.754381
MKS Instruments ラウンドボディ ロプロ, 上流バルブおよび圧力コントローラー, 上流バルブおよび圧力コントローラー,  PN  LPV-25-AK-C0VS
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説明

  
MKS Instruments ラウンドボディ ロプロ, 上流バルブおよび圧力コントローラー, 上流バルブおよび圧力コントローラー,  PN  LPV-25-AK-C0VS

これら MKS Instruments ラウンドボディ ロプロ  部品番号がある LPV-25-AK-C0VS, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 245 バルブは、Grainville-Philips シリーズ 216 全金属製のベーク可能な制御バルブの改良版です。 245 バルブは、10-11 から 6000 Torr までの圧力を制御でき、最大スループットは 2500 Torr-リットル/秒 (200 slm) です。このバルブは、他のバルブの使用を妨げる多くの腐食性ガスで使用できます。バルブ ドライバー アセンブリを取り外した状態で、UHV 用途向けにバルブを 450°C までベークすることができます。タイプ 245 の駆動に使用されるステッピング モーターは、圧力または設定値の変化に数分の一で応答することができ、バルブを完全に閉じた位置から完全に開いた位置までわずか 15 秒で駆動します。 Type 244 コントローラーによってシステムが完成します。 244/245 圧力/流量制御システムは、広範囲の圧力または流量制御のために全金属製のベーク可能な制御バルブを必要とする真空プロセスに使用する閉ループ フィードバック制御システムです。 244/345 システムは、制御モジュールとサーボ制御リークバルブで構成され、スパッタリング、スパッタエッチング、イオン源制御、イオン注入、真空計校正などの単一ガスプロセスに最適です。

これらに関する詳細情報MKS Instruments ラウンドボディ ロプロ  以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 LPV-25-AK-C0VS.

価格

製品: MKS Instruments ラウンドボディ ロプロ, 上流バルブおよび圧力コントローラー, 上流バルブおよび圧力コントローラー,  PN  LPV-25-AK-C0VS

状態: New
保証: MKS Instruments 保証
部品番号: LPV-25-AK-C0VS
セールスプライス: ¥89,189.75

通貨 Japanese Yen (JPY)

QTY:   

マニュアル



利用可能なダウンロード:
  MKS 1249 ソレノイド コントロール バルブ ドライバー データ シート.pdf (0.12 MB)
  MKS 148J 圧力および流量制御バルブ取扱説明書.pdf (0.27 MB)
  MKS 244、245 圧力/流量制御システム データシート.pdf (0.26 MB)
  MKS 244E、245 圧力/流量コントローラー、コントロールバルブ取扱説明書.pdf (0.22 MB)
  MKS 245 Granville Phillips 圧力/流量制御バルブ アセンブリ取扱説明書.pdf (0.9 MB)
  MKS 245 Granville Phillips 圧力/流量制御バルブ クイック スタート ガイド.pdf (0.8 MB)
  MKS 248A/B/C コントロールバルブ取扱説明書.pdf (0.11 MB)
  MKS 248D 汎用流量制御バルブ.pdf (1.77 MB)
  MKS 250E 圧力/流量コントローラー取扱説明書.pdf (0.12 MB)
  MKS 250E 圧力/流量制御モジュール データシート.pdf (0.16 MB)
  MKS 250E 圧力/流量制御モジュール データシート.pdf (0.16 MB)
  MKS R シリーズ ゲート バルブ データシート.pdf (0.58 MB)
  MKS R シリーズ ゲート バルブ テクニカル ノート.pdf (0.27 MB)
  MKS R シリーズ ゲート バルブの寸法.pdf (0.33 MB)
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お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com