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× 真空ポンプ モジュール式真空チャンバー ステンレス真空チャンバー アルミニウム真空チャンバー ExploraVAC 無制限チャンバー ExploraVAC 真空チャンバー 継手とフランジ フィードスルー 真空バルブ リビルドキット、パーツ、モーター 真空流体、オイル、グリース ターボポンプとコントローラー フィルター、トラップ、サイレンサー 対流式および真空式オーブン リーク検出とRGA 真空圧力測定 循環チラーおよびウォーターバス
T3B 高速排気スロットル バルブは、半導体および薄膜プロセスにおける高性能圧力制御用に特別に設計されています。 T3B は、幅広いサイズ、構成、および I/O プロトコルで利用できます。 T3B は、最も困難な用途でも堅牢で信頼性が高く、正確な圧力制御を提供します。 T3B バルブは、半導体、ソーラー、ディスプレイ、または薄膜アプリケーションにおける CVD、RTP、またはロードロック圧力制御に適しています。

これらに関する詳細情報
631199.99124
MKS Instruments スロットルバルブ 1/KF-40 ノンシールダイレクトドライブ, 下流側バルブおよび圧力コントローラー, 下流側バルブおよび圧力コントローラー,  PN  T3BIA01K21V9112
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説明

  
MKS Instruments スロットルバルブ 1/KF-40 ノンシールダイレクトドライブ, 下流側バルブおよび圧力コントローラー, 下流側バルブおよび圧力コントローラー,  PN  T3BIA01K21V9112

これら MKS Instruments スロットルバルブ 1/KF-40 ノンシールダイレクトドライブ  部品番号がある T3BIA01K21V9112, 新品で、フル装備です MKS Instruments 保証。 T3B 高速排気スロットル バルブは、半導体および薄膜プロセスにおける高性能圧力制御用に特別に設計されています。 T3B は、幅広いサイズ、構成、および I/O プロトコルで利用できます。 T3B は、最も困難な用途でも堅牢で信頼性が高く、正確な圧力制御を提供します。 T3B バルブは、半導体、ソーラー、ディスプレイ、または薄膜アプリケーションにおける CVD、RTP、またはロードロック圧力制御に適しています。

これらに関する詳細情報MKS Instruments スロットルバルブ 1/KF-40 ノンシールダイレクトドライブ  以下のPDFカタログと資料をダウンロードしてご覧ください。 PDFを開くだけです 以下のカタログで、PDF 検索 (Ctrl F) を実行して、 T3BIA01K21V9112.

価格

製品: MKS Instruments スロットルバルブ 1/KF-40 ノンシールダイレクトドライブ, 下流側バルブおよび圧力コントローラー, 下流側バルブおよび圧力コントローラー,  PN  T3BIA01K21V9112

状態: New
保証: MKS Instruments 保証
部品番号: T3BIA01K21V9112
セールスプライス: ¥631,199.99

通貨 Japanese Yen (JPY)

QTY:   

マニュアル



利用可能なダウンロード:
  MKS 1651C 圧力コントローラー取扱説明書.pdf (0.46 MB)
  MKS 253B スロットリングバルブ取扱説明書.pdf (0.21 MB)
  MKS 651、1651、153、253、653 下流側圧力コントローラーおよびバルブ データ シート.pdf (0.48 MB)
  MKS 651C 圧力コントローラー操作マニュアル.pdf (0.69 MB)
  MKS 653B エキゾースト スロット バルブ取扱説明書.pdf (0.17 MB)
  MKS 683B DeviceNet ネットワーク用デジタル排気スロットル バルブ データ シート.pdf (0.2 MB)
  MKS T3B バタフライ バルブ、DeviceNet インターフェイス付き取扱説明書.pdf (0.57 MB)
  MKS T3B 高速排気スロットル バルブ データシート.pdf (0.2 MB)
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お問い合わせ
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, ニューメキシコ州 87109-5805 USA

電話: (505) 872-0037
ファックス: (505) 872-9001
info@idealvac.com