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245 阀门是 Grainville-Philips 系列 216 全金属可烘烤控制阀的改进版本。 245 阀门能够控制 10-11 至 6000 Torr 的压力,最大吞吐量高达 2500 托升/秒 (200 slm):该阀门可用于许多腐蚀性气体,而无法使用其他阀门。拆除阀门驱动器组件后,可将阀门烘烤至 450°C,以用于 UHV 应用。用于驱动 245 型的步进电机可以在几分之一秒内响应压力或设定点变化,并且只需 15 秒即可将阀门从完全关闭位置驱动到完全打开位置。 244 型控制器完善了系统。 244/245 压力/流量控制系统是一种闭环反馈控制系统,适用于需要全金属、可烘烤控制阀的真空工艺,用于宽范围压力或流量控制。 244/345 系统由控制模块和伺服控制泄漏阀组成,非常适合溅射、溅射蚀刻、离子源控制、离子注入、真空计校准等单一气体工艺。

有关这些的更多信息
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MKS Instruments 圆形LOPRO, 上游阀门和压力控制器, 上游阀门和压力控制器,  PN  LPV-25-IK-CLVS
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描述

  
MKS Instruments 圆形LOPRO, 上游阀门和压力控制器, 上游阀门和压力控制器,  PN  LPV-25-IK-CLVS

这些 MKS Instruments 圆形LOPRO  有零件号 LPV-25-IK-CLVS, 都是新的,并且配备齐全 MKS Instruments 保修单。 245 阀门是 Grainville-Philips 系列 216 全金属可烘烤控制阀的改进版本。 245 阀门能够控制 10-11 至 6000 Torr 的压力,最大吞吐量高达 2500 托升/秒 (200 slm):该阀门可用于许多腐蚀性气体,而无法使用其他阀门。拆除阀门驱动器组件后,可将阀门烘烤至 450°C,以用于 UHV 应用。用于驱动 245 型的步进电机可以在几分之一秒内响应压力或设定点变化,并且只需 15 秒即可将阀门从完全关闭位置驱动到完全打开位置。 244 型控制器完善了系统。 244/245 压力/流量控制系统是一种闭环反馈控制系统,适用于需要全金属、可烘烤控制阀的真空工艺,用于宽范围压力或流量控制。 244/345 系统由控制模块和伺服控制泄漏阀组成,非常适合溅射、溅射蚀刻、离子源控制、离子注入、真空计校准等单一气体工艺。

有关这些的更多信息MKS Instruments 圆形LOPRO  可以通过下载下面的 pdf 目录和文档来找到。只需打开 pdf 下面的目录,运行 pdf 搜索 (ctrl F) 并搜索 LPV-25-IK-CLVS.

价格

产品: MKS Instruments 圆形LOPRO, 上游阀门和压力控制器, 上游阀门和压力控制器,  PN  LPV-25-IK-CLVS

健康)状况: New
保修单: MKS Instruments 保修单
零件号: LPV-25-IK-CLVS
销售价格: NT$25,794.70

货币 New Taiwan Dollar (TWD)

QTY:   

手册



可供下载:
  MKS 1249 电磁控制驱动阀数据表.pdf (0.12 MB)
  MKS 148J压力和流量控制阀使用说明书.pdf (0.27 MB)
  MKS 244、245压力/流量控制系统数据表.pdf (0.26 MB)
  MKS 244E, 245压力/流量控制器,控制阀使用说明书.pdf (0.22 MB)
  MKS 245 Granville Phillips 压力/流量控制阀快速入门指南.pdf (0.8 MB)
  MKS 245 Granville Phillips 压力/流量控制阀装配说明手册.pdf (0.9 MB)
  MKS 248A/B/C调节阀使用说明书.pdf (0.11 MB)
  MKS 248D 通用流量控制阀.pdf (1.77 MB)
  MKS 250E 压力/流量控制器使用说明书.pdf (0.12 MB)
  MKS 250E压力/流量控制模块数据表.pdf (0.16 MB)
  MKS 250E压力/流量控制模块数据表.pdf (0.16 MB)
  MKS R 系列闸阀尺寸.pdf (0.33 MB)
  MKS R 系列闸阀数据表.pdf (0.58 MB)
  MKS R系列闸阀技术说明.pdf (0.27 MB)
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