Leybold 可变泄漏阀 DN KF16 ISO-KF - 带隔离阀 PN：215010 带隔离阀的 Leybold 可变泄漏阀。用于与等离子工艺（溅射、蚀刻和辉光放电清洁）相关的手动控制气体进入。请参阅下面的规格图。

适用于瓦里安安捷伦可变泄漏阀的工具套件。包括蓝宝石去除工具。部件号：9620014 该安捷伦工具和维修套件是安捷伦可变泄漏阀 CF 2.75 X 1.33（部件号：951-5106）的可选项目。工具套件（如下图所示）包括带轴环调节旋钮的手柄 (15)、杆组件 (18)、微调驱动螺钉组件 (16)、垫圈组件 (1)、蓝宝石拆卸工具、刷子、润滑剂、1/4 和 5 /16 六角扳手、三个弹簧垫圈 (6) 和一张说明手册 CD。我们在下面的相关产品部分中提供了对可变泄漏阀进行维修和调整所需的所有工具，包括更换零件，例如完整的维修/工具套件和垫圈组件。安捷伦可变泄漏阀维修和工具套件，部件号：9620014

安捷伦拆卸工具，用于安捷伦可变泄漏阀中的 Shapire 密封件。拆卸工具 PN SR0061417400。这是一款安捷伦工具，用于帮助从安捷伦可变泄漏阀（PN：951-5106）上拆除 Shapire 密封件。该工具也可在可变泄漏阀的维修套件中找到，如下图所示。我们在下面的相关产品部分中提供了对可变泄漏阀进行维修和调整所需的所有工具，包括更换零件，例如完整的维修/工具套件和垫圈组件。拆卸工具零件号：SR0061417400

用于安捷伦可变泄漏阀的安捷伦替换光学平面蓝宝石组件。部件号：9530072 这是安捷伦可变泄漏阀（部件号：951-5106）的光学平面蓝宝石组件替代品。蓝宝石组件设计为使用同样由安捷伦制造的特殊拆卸工具进行更换。组件到达时应没有任何缺口、划痕或裂纹，以确保安捷伦可变泄漏阀正常运行。我们在下面的相关产品部分中提供了对可变泄漏阀进行维修和调整所需的所有工具，包括更换零件，例如完整的维修/工具套件和垫圈组件。替换蓝宝石组件，PN 9530072

安捷伦可变泄漏阀的垫片组件更换部件 PN：9535050这是安捷伦可变泄漏阀的新型垫片组件更换部件（部件号 951-5106）。请按照以下说明检查、清洁或更换垫圈组件。如何检查、清洁或更换垫圈组件：检查铜合金垫圈，确保其清洁、光滑、无氧化物，并且突出垫圈套环表面至少 0.002 英寸。手持式镜头或显微镜将有助于检查表面。如果垫圈的顶面有划痕、划痕或缺口，则必须更换垫圈组件。如果组件的铜部分未突出至垫圈上方至少 0.002 英寸。轴环，必须更换垫圈组件。应使用丙酮去除油膜或其他残留物。氧化物或其他轻微的表面缺陷通常可以通过使用非常细的胭脂纸抛光来去除。抛光时，绕其中心轴旋转垫片组件，以避免在密封表面上留下划痕。抛光后用丙酮清洗垫圈。在等待重新组装时，保持垫圈不受污染。我们在相关产品部分提供了对可变泄漏阀进行维修和调整所需的所有工具，包括更换零件，例如完整的维修/工具套件和垫圈组件。垫片组件替换零件，PN：9535050