适用于 250 型水冷排气疏水阀的全新 Edwards 一次性衬里(Edwards PN A53115020)这些一次性内衬设计用于安装 250 型水冷排气疏水阀。排气捕集器冷却泵排出的废气,并使颗粒物聚集在捕集器内衬上。这可以最大限度地减少排气系统中颗粒物的收集,这些颗粒物可能会导致堵塞,从而导致泵送系统停机。完全涂覆后,可以轻松地将内衬从捕集器上取下并更换新的内衬。水冷式排气疏水阀和一次性衬管特别适合与用于 LPCVD 氮化物工艺的泵一起使用,例如 Edwards QDP 干泵。如需完整规格,请下载说明手册(请参阅下面的“可用下载”)。
Edwards 250 型一次性陷阱内衬规格:适合 Edwards 水冷排气疏水阀型号:
250材质:
镀锌低碳钢