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安捷伦瓦里安 VHS-10 扩散泵。分机。冷帽，480V，ISO 320K，14.5 英寸外径，5100W

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安捷伦瓦里安 VHS-10 扩散泵。分机。冷帽，480V，ISO 320K，14.5 英寸外径，5100W

健康）状况：

新的

零件号：

P106931

保修单：

As-Stated*

缺货

~~NT$546,815.15~~

在销售： NT$464,793.00

货币： New Taiwan Dollar (TWD)

描述

Agilent Varian VHS-10 水冷真空扩散泵，ISO 320K 入口法兰，14.5 英寸外径，最大抽速 4200 l/s
扩展冷帽，(2) 480 VAC 2550 瓦加热器，Agilent Varian。

Agilent Varian VHS-10 专为满足需要高抽速和空间限制而需要紧凑型泵的应用的特殊需求而设计。 VHS-10 泵是一款坚固耐用的通用装置，4400W 时的工作范围为 1.7 x 10-3 至 <5 x 10-9 Torr。安捷伦瓦里安 VHS-10 具有高抽气速度（标准冷帽时的最大额定值为 5300 升/秒）以及高前压耐受性（空载时为 0.65 Torr，在空载时为 0.55 Torr），因此非常适合需要快速循环的应用。满气体负载）。该装置的回流速率为5x10-4 mg/cm ² /分钟，不使用任何冷却的冷帽。

该 Agilent Varian VHS-10 扩散泵包括：

ISO 320K 入口法兰（14.5 英寸外径法兰，无螺栓孔）
ISO 63K 出口前级法兰，（3.75 英寸外径法兰，无螺栓孔）
延长冷帽
推荐的粗抽前级泵：30 CFM
4200 l/s 最大抽速空气
480 VAC 3 相 (5100W)，带 (2) 个 2550 瓦加热器
水连接 1/8 英寸 FPT 三通
设计用于与 Santovac 5 或 IVP 704 扩散泵油一起使用，1000cc（1.056 夸脱）充满电

扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导至泵底部并从出口流出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空（更低的压力）。 Agilent Varian VHS-10 可以抽气至 <5x10-9 Torr 的压力。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用机械前级泵、低真空泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。

这些安捷伦瓦里安扩散泵非常可靠、设计简单且运行时无噪音或振动。扩散泵仍然是产生高真空压力的最经济的手段。扩散泵还可以承受过量颗粒和反应气体等操作条件，这些条件会破坏其他类型的高真空泵。它们可以与三相 208、240、380、480 VAC 加热器线束以及标准或扩展冷帽一起订购。我们库存并销售适用于该泵的 Santovac 5 扩散泵油。请参阅下面的“相关”部分，了解可能有利于您的真空应用和维护需求的其他附件。我们提供各种真空润滑脂、油、真空配件、软管、真空计、传感器/转换器、零件和配件，在本网站上单独出售。

这些 Agilent Varian VHS-10 扩散泵具有 ISO 320K 入口法兰，在三相 480 VAC 下运行，具有扩展冷帽，并且具有 Agilent Varian 部件号 L5920339。 Agilent Varian VHS-10 扩散泵用户说明手册可在下面以 PDF 格式下载。这些是典型的库存商品，通常在下订单的当天发货。

下载

P106931 3D CAD SOLIDWORKS Model.sldprt

SLDPRT

P106931 3D CAD Parasolid Model.step

STEP

安捷伦瓦里安 VHS-10、VHS-400 高真空扩散泵手册.pdf

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安捷伦扩散泵目录.pdf

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宣传册

Specifications
Specification	Value
Pumping Speed, Operating Range	3,650 l/s air, 4,560 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed	5,300 l/s air w/standard cold cap; 4,200 w/extended cold cap
Maximum Throughput	6.3 T-l/s (8.4 mbar-l/s) in operating range, 7.5 T-l/s (10.0 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range	1.7x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr at 4,400 W. (2.3 x 10⁻³ to < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure	No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar) Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump	≥ 30 cfm (51 m³/hr)
Backstreaming Rate	< 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time	15 minutes
Cooldown Time	25 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge	1,000 cc
Electrical Requirements	3 ph, 50/60 Hz, 208/240/380/480 VAC
Pump Power	4,400 Watts
Cooling Water Requirements	0.40 gpm (80 l/h)
Water Connections	⅛ in. FPT Tee

VHS-10 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description	Part No.	Item
Standard Cold Cap Assembly	F0429301	1
Extended Cold Cap Assembly	L8917301	2
Sight Glass Repair Kit consisting of:	L8908301	3
Sight Glass	L8816001	5.1
Gasket, Teflon	L9694001	5.1
O-ring, Viton, Parker No. 2-113	CommI	5.1
O-ring, Viton, Parker No. 2-226	CommI	5.1
Jet Assembly	F0428401	4
Jet Coupling	L6367301	5
Splash Baffle	F0431301	6
Foreline Baffle Assembly	F0435301	7
Thermal Switch Includes:	L8912301	8
Switch (set at 300 °F – 147 °C)	642906025	8a
Lug	648056680	8b
Wire	656179100	8c
Box Insulator	89867001	8d
Heater wire, 10 AWG, 42 inches (3 per pump required)	X3901-68003	9
Heater Wiring Kit, Includes:	L8913301	9
15 ft. wire	L8913301	5.1
Nickel lug	648056680	5.1
Terminal Strip Molex 39100-1512	648091065	5.1
Heaters (two heaters required per pump)		10
208 V / 2200 watt Heater Element	647310140	5.1
240 V / 2200 watt Heater Element, 1Ph	647310150	5.1
380 V / 2200 watt Heater Element	647310160	5.1
480 V / 2200 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load	647310170	5.1
208 V / 2550 watt Heater Element	647310145	5.1
240 V / 2550 watt Heater Element, 1Ph	647310155	5.1
380 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load	647310165	5.1
480 V / 2550 watt Heater Element, wired open Delta, unbalanced load	647310175	5.1
Heater Crush Plate (replace when either heater is replaced)	K7667001	11
Heater Clamping Plate A36 Steel	K4928001	12
Heater Clamping Plate Retrofit, Slotted	R2667301	12
Heater Insulation Blanket	L8914001	13
Heater Cover	L8903301	14
O-Ring Kit includes:	K0377185	15
1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385	F0430001
1 foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338	660893338
10 Viton fill and drain O-rings (Old style), Viton No. 2-112		5.1
10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113		5.1
1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226		5.1
1 PTFE gasket		5.1
Viton Centering ring for ISO inlet flange, 320K		16
Centering ring for ISO foreline flange ISO-63K	IC063SV	17
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel	Screw	18
Centering ring for ISO inlet flange, 160K	IC160SV	19
Centering ring for ISO foreline flange, KF40	KC40SV	20
Included with the pump:		5.1
1 inlet flange O-ring, Butyl No. 2-385	F0430001	5.1
1 Butyl foreline flange O-ring, Butyl No. 2-338	660893338	5.1
13/8 Hose 1/8 Pipe Barbed Connectors	264301102	5.1
		5.1
DC-702 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required)	695472005
DC-704 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required)	695474005
DC-705 diffusion pump fluid, 500 cc (2 required)	695475005
Installation and Operation Manual	699901021